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文档简介

X射线光电子能谱（XPS）分析及软件应用,报告人：汪鹏,环境学院,1,-,1.XPS,X射线光电子能谱（X-rayPhotoelectronspectroscopy）：以一定能量的X射线作为激发源，照射在检测物质表面，激发出光电子，通过对光电子的能量分布进行检测，获取的电子能谱图。,获取信息：电子结合能（元素定性）原子结合状态（化学价态）半定量分析（峰面积比例）,技术特点：样品用量少（0.1g）分析范围广（3-92号元素）不需要预处理,2,-,XPS分析示意图,3,-,2.XPS数据分析,2.1数据处理,在分析的所有元素中，选择C1S,4,-,在284.6ev附近找到最大的峰，将其标定为284.6ev，对结合能进行修正,峰值,背景值,结合能,5,-,以O元素为例，将修正后的结合能与峰值复制至新建的空白TXT文件中，保存,6,-,2.2峰拟合,打开XPSPeak软件，在XPSPeakFit对话框中选择Data-Import（ASC），输入上步骤保存的TXT文件,7,-,点击Background，弹出对话框，调整High/LowBE值，Type，然后Accept-Close,背景起止数值,背景类型（Shirley，Linear，Tougaard）,加背景后,8,-,点击AddPeak，弹出对话框，调整Position（峰位置），点击Accept后对话框消失，选择OptimiseRegion自动拟合，,峰位置,拟合后,9,-,拟合结果不满意，继续上一步骤（添加峰），点击AddPeak，弹出对话框，调整Position（峰位置），点击Accept，选择OptimiseRegion自动拟合（可多次点击）,添加峰拟合后,添加峰拟合前,10,-,自动拟合结果不满意，那就自己动手吧！调整不同添加峰的Position（峰位置），FWHM（半峰宽），Area（峰面积）,切换不同的拟合峰,峰位置，、半峰宽和峰面积,11,-,拟合后的结果,12,-,选择存为xps文件,输出XPS文件,13,-,选择Data-Export（Spectrum），输出为dat文件，可用origin重新作图,14,-,2.3半定量分析,通过查阅不
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