EDS原理及应用ppt课件_第1页
EDS原理及应用ppt课件_第2页
EDS原理及应用ppt课件_第3页
EDS原理及应用ppt课件_第4页
EDS原理及应用ppt课件_第5页
已阅读5页，还剩3页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

EDS原理及应用,1,能量分散谱仪：EDS(EnergyDispersiveSpectrometer),EDS是能快速地分析各种试样的微区内Be-U的所有元素的一种设备。EDS可以与EPMA，SEM，TEM等组合，其中SEMEDS组合是应用最广的显微分析仪器。,2,EDS检测原理,光子能量检测过程X射线光子进入锂漂移硅Si(Li)探测器后，在晶体内产生电子一空穴对。在低温下，产生一个电子空穴对平均消耗能量为3.8ev。能量为E的X射线光子产生的电子空穴对为NE/3.8。例如：MnKa能量E为5.895KeV，形成的电子空穴对为1550个。Cak:3.7KeV，约产生1,000电子空穴对。电子-空穴对形成电压脉冲信号，探测器输出的电压脉冲高度对应X射线的能量。,3,定性分析原理,X射线的能量为Ehh为普朗克常数，为光子振动频率。不同元素发出的特征X射线具有不同频率，即具有不同能量，只要检测不同光子的能量（频率）,即可确定元素定性分析.可分为定点，线扫描，面扫描分析,特征X射线的产生：物质原子内层的某些电子被轰击，或跃迁到外部壳层，或使该原子电离，而在内层留下空位。然后，处在较外层的电子便跃入内层以填补这个空位。跃迁中多余的能量以特定波长的X射线光量子的形式放出。,4,定量分析,1.有标样定量分析：在相同条件下，同时测量标样和试样中各元素的X射线强度，通过强度比，再经过修正后可求出各元素的百分含量。有标样分析准确度高。2.无标样定量分析：标样X射线强度是通过理论计算或者数据库进行定量计算,5,EDS特点,能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元素，元素定性、定量分析，几分钟即可完成。对试样与探测器的几何位置要求低，可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果。能谱所需探针电流小：对电子束照射后易损伤的试样，例如生物试样、快离子导体试样、玻璃等损伤小。检测限一般为0.1%0.5%，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差约为2%EDS定量分析的相对误差(含量20%wt）的元素，允许的相对误差5%(3%wt含量20%wt的元素，允许的相对误差10%(1%wt含量3%wt的元素，允许的相对误差30%(0.5%wt含量1%wt的元素，允许的相对误差50%能量分辨率低（130eV）工作条件要求严格。Si(Li)探头必须始终保持在液氦冷却的低温状态，即使是在不工作时也不能中断，否则晶体内Li的浓度分布状态就会因扩散而变化，导致
人人文库> 全部分类> 教育资料 > 作文作品

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论