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文档简介

厂务系统概述,1,一、厂务系统功能,目录,三、厂务系统流程,二、厂务系统使用材质,2,一、厂务系统功能,3,1.1水系统在制程中的功能,4,1.2气体系统在制程中的功能,5,1.3化学系统在制程中的功能,6,1.4真空系统在制程中的功能,7,1.5排气/排水系统在制程中的功能,8,二、厂务系统使用材质,9,2.1水系统使用材质,10,2.2气体系统使用材质,11,2.3化学系统使用材质,12,2.4真空系统使用材质,13,2.5排气系统使用材质,14,2.6排水系统使用材质,15,三、厂务系统流程,16,3.1制程冷却水系统简略流程,17,3.2冰水系统简略流程,18,3.3纯水系统简略流程,19,3.4自来水/回收水系统简略流程,20,3.5CDA/GN2/PN2系统简略流程,21,3.6其他大宗气体/特气系统简略流程,22,3.7高真空/排气系统简略流程,23,3.8真空系统简略流程,24,3.9化学系统简略流程,25,3.10废水收集系统简略流程,26,3.11废水处理系统简略流程,WasteWaterTreatment,27,英文缩写对照,28,
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