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文档简介
廠務系統概述,莊士正,1,整廠系統,2,1.廠務系統功能,3,1.1水系統在製程中的功能,4,1.2氣體系統在製程中的功能,5,1.3化學系統在製程中的功能,6,1.4真空系統在製程中的功能,7,1.5排氣/排水系統在製程中的功能,8,2.廠務系統使用材質,9,2.1水系統使用材質,10,2.2氣體系統使用材質-(除特氣外機台端都可能用Teflon軟管),11,2.3化學系統使用材質,12,2.4真空系統使用材質,13,PumpLine製程高真空,SUS316BA/EP,GEX一般排氣,鍍鋅螺旋風管,2.5排氣系統使用材質,Solvent有機排氣,SUS304全焊式不銹鋼風管,Acid/Ak酸鹼排氣,不銹鋼TeflonCoating風管(Tefpass),14,2.6排水系統使用材質,Drain一般排水,PVC/PVCSCH80,Solvent有機排氣水,SUS304不銹鋼管,Acid/Ak酸鹼排氣水,PVCSCH80/PVDF/PTFE/PFA,15,3.廠務系統流程,16,3.1製程冷卻水系統簡略流程,17,3.2冰水系統簡略流程,18,3.3純水系統簡略流程,19,3.4自來水/回收水系統簡略流程,20,3.5CDA/GN2/PN2系統簡略流程,21,3.6其他大宗氣體/特氣系統簡略流程,22,3.7高真空/排氣系統簡略流程,23,3.8真空系統簡略流程,24,3.9化學系統簡略流程,25,3.10廢水收集系統簡略
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