半导体生产过程控制程序

半导体生产2部过程控制程序自由职业者分发部门总经理管费旅行政治部人力资源部生产部门两份生产生产三部品质检查部研究开发部市场营业部采购部会计部项目部动力保障部文理中心档案室分发范围分发份数本文件为中镓半导体技术有限公司的专有财产，未经书面许可，严禁复制或转换为其他形式文件代码SNS-QP-S2-02生产二部过程控制程序页面八分之九版本号A0制定日期2010年至2012年组成部门两份生产生效日期2011年至2012年1 .目的使生产两部分生产的各个阶段处于控制状态，确保生产过程及其结果满足要求。2 .适用范围本程序文件适用于生产2部生产的所有过程的控制。3 .参考文件3.1 生产二部生产过程控制程序3.2 采购部及供应商开发管理控制程序3.3 仓库物料控制程序3.4 品质控制程序3.5 不合格控制程序4 .责任4.1生产管理人员全面负责本部门工艺、生产、设备、动力等正常运行和生产能力的有效匹配，工艺改善生产管理，改善一切异常情况处理和协调处理，本部门人力资源组织安排和管理，主持日常会议和其他日常管理工作，协调内部各方面的关系， 实时跟踪所有注重利润和团队作用的材料使用情况信息和初步成本核算，进行有效的材料管理。 分析供应商信息、采购、运输、储存、使用、规格和有效期管理等技术、生产、设备、动力数据信息，分析问题，定期向公司总经理汇总报告总公司人事、技术、生产、设备、动力、材料、供应商、客户等信息的月报，包括内部和市场部、采购部、行政人事部、 与会计部等部门联系，调整部门间的关系，与外部和供应商联系，处理设备、材料的质量、期限、维护等信息，监督、检查顾客和产品的质量、规格、生产进度等的生产主管、生产事务员、生产领导、生产站长、技术负责人、技术技术技术人员、技术技术技术人员、设备负责人、设备技术人员、设备技术人员的工作4.2生产主管组织相关生产操作规范和相关制度、负责制定表格的组织管理人员管理培训、新员工制度培训相关人员技术难关和技术改进，提高产品质量和劳动生产率，改善劳动条件，减少消费的组织解决生产现场出现的问题，分析避难因素，制定对策， 组织实施，统计控制保证生产正常进行的生产进度，组织生产，安排加班、延误点和人员配置，统计记录确保生产任务完成的生产数据、质量异常及改进处理方法。4.3生产文员定期不定期地向各站长了解材料的使用情况，进行收据的材料投入作业，详细掌握各材料的使用信息(包括数量、规格、有效期等)。 每周五上午收集各报告书(生产、表演、会议PPT等)，除了整理总结报告书之外，还有市场部和采购部的交流和文字处理(关联表的制作)等。4.4生产领导班负责接管工作，负责组织提交注意事项的各班上班前约10分钟的会议，会议内容包括工作任务、规律、注意事项、解决问题分析，及时向相关工程师或经理报告异常情况，协调相关工程师分析处理问题的整条生产线的正常生产全班上班记录、纪律记录、异常情况记录、异常处理情况记录等。4.5生产站长负责调整本站工作人员的工作安排、替换安排等，本站工作训练负责包括设备操作、技术注意事项、工作记录在内的本站物料管理(包括数量、有效期、库存、供应商联系等)，并定期反映本站事务人员的每日本站设备、水电、 负责检查环境等状态，如有异常立即向领导及相关工程师报告的流程、生产、设备使用情况、材料使用情况的记录以及上述异常情况的记录和处理方法。4.6技术负责人制定相关技术生产规范和相关制度、表，包括制定生产作业指导书的制度规范培训、技术技能培训在内，组织新员工培训的技术改善、技术纠正预防措施、质量保证、技术生产过程安排研发部进行过程开发和过程改善， 深入能够不断提出工艺实验合作的高业务水平和组织技术、技术难关的生产现场，与质量部门合作进行不合格品审理，及时有效处理相关技术问题、技术难点，通过技术改革等措施提高生产效率的工艺实验数据、步骤4.7设备主管制定相关设备制度，负责生产线整体设备的维护，包括设备使用维护制度、维护制度(检修、周检、月检、季检、年检计划等)、备品仓库建设(包括数量、规格、供应商信息、价格等)、操作规范等，定期或不定期进行设备和水的电气检查， 发现记录信息异常前兆防患于未然，及时处理站长报告的设备水电相关问题，制定设备维护时间表，及时与供应商联系，充分联系善于处理相关问题的工艺生产工序，调整工艺生产正常进行的设备使用情况、异常情况及处理4.8仓库管理员按发票负责原材料原料，按入库单负责成品或半成品发票，要求发票、物品、数量一致。5.PPS制造环境要求和控制流程5.1工作(生产环境)要求如下：5.1.1温度要求： 2215.1.2湿度要求： 45%5%5.1.3洁净度要求：黄光室1000级、ICP、清洗间、检查等为10000级。5.2 PSS制造(控制)流程如下图所示6 .生产过程的控制流程6.1COA作业控制6.1.1作业要求道路20分钟内未进行COA作业时，清空光刻胶3秒以上后再进行作业根据coating作业指导书选择必要的COA程序进行作业。6.1.2检查和作业内容作业时间台无异常声音，要求每周均匀测量和校正Chuck的转速光致抗蚀剂未过期均化后，要求对晶片外观颜色均匀、目视观察无其他异常的3张/1箱(依次为第1、10、20张)进行抽样检查在显微镜下检查晶片表面有无损伤或横向悬挂1mm； 要求抽取检查3张/1箱要求对晶片表面的无抗蚀剂剥离或剥离的面积-2m cm进行目视的3张/1箱(依次为第1、10、22张)的抽取检查为了用膜厚计测定抗蚀剂工艺厚度，需要每8小时抽取3批，每张测定5点，分别为上、中、下、左、右的抗蚀剂的要求厚度为3.000.05um计算光致抗蚀剂均匀性的测量公式(max-min)/(max min )，wafer to wafer 2%； 的双曲馀弦值。6.2 EXP作业控制6.2.1作业要求不同曝光机选择正确的cassette和曝光时间进行曝光时，wafer的正面朝上作业中注意机台运行情况。6.2.2检查和作业内容曝光后，观察光刻胶的外观和颜色，外观完整，要求颜色均匀的每批检查一张，如有异常，改正后进行统一检查光致抗蚀剂无损伤或损伤1mm；晶圆表面应无污染未显影的晶片请勿带出黄光室或用显微镜检查。6.3DEV作业控制6.3.1、工作要求作业前确保DI水压正常严格按照作业要求选择必要的程序进行作业检查显影液回收罐有无装满。6.3.2检查和作业内容用共焦显微镜测量光刻胶显影后的尺寸的要求： Height:1.31.7umBottom:2.32.6um，每批提取2张目视显影后的抗蚀剂的边缘宽度为圆边2mm、平边4mm、3张/盒(依次为第1、10、20张)，故障是再加工目视检查/显微镜检查光刻胶表面无损伤，或每个损伤1mm 3张/盒子有不良时返工显影后无部分脱胶或脱胶显微镜下未观察到明显显影和显影不足用显微镜100倍观察曝光场和场的重叠、偏移、分离、色差显着的现象。6.4 BAKE作业控制6.4.1作业要求作业前确保oven温度为1305度，稳定电影流出黄光室应从传动箱流出定时器具有闹钟功能，不要忘记。6.4.2检查和作业内容每批抽一片，检查光刻胶表面有无异常。6.5 ICP作业控制6.5.1作业要求使橡胶圈均匀分布在底盘各小槽上将盖固定在托盘上，使螺钉力均匀根据要求选择适当的程序进行ICP程序注意到三氯化硼流量、腔室压力、氦流量、RF1功率、RF2功率的设定发生变化，异常情况必须及时解决每个run进行腔室清扫工作中，员工不得离开岗位。6.5.2检查和作业内容采用共焦显微镜9点检测法检测图案规格的B5C:Depth:1.850.1、Bottom:2.900.2、uniformity :5 %； BOA:Depth:1.31.7um、Bottom:2.32.6um、Uniformity:5%，要求每7张检查一张，不合格时通知技术工程师共焦显微镜检查5点图案深度，均匀性5%；用显微镜或共焦显微镜检查图案有无过蚀刻或蚀刻不足用显微镜检查晶片表面有无凹凸、凹陷、胶糊残留、其他异物异常需要详细记录。6.6 BATH和SRD作业控制6.6.1作业要求必须区别有机清洗、无机清洗和有机无机清洗检查溶液是否需要更新选择适当的程序进行脱水作业。6.6.2检查和作业内容清洗液的温度是否符合标准水洗时间是否充分水洗后放入SRD干燥器中脱水，详细操作请参照： SNS-WI-S2-501 A0干燥器的操作规范晶片表面顽固性(胶糊残留)污垢是否难以去除，有时用棉棒擦拭去除。6.7打包作业控制6.7.1任何产品必须在检验员确认检验合格后再包装。6.7.2产品包装前应进行前道工序复检6.7.3包装时应避免产品表面、接缝等隐蔽场所无灰尘、油污6.7.4包装时发现工件质量问题，如需重新修理，如不能立即补充，应立即反馈，以免延迟发货6.7.5包装中产品正常搬运时应保证冲击、严重倾斜6.7.6包装后，贴上物料标签入库。7 .生产审查7.1生产部负责生产小组计划完成率、工序一次合格率、产品出厂合格率的评估。7.2生产小组负责生产员工工资完成情况评估、劳动规律和技术规律评估。8 .批次管理8.1各工序的加工作业必须按照PSS作业记录单规定的品种批号批次数进行。8.2每批产品有对应的PSS作业记录单。8.3每日加工完成情况应忠实反映在生产二部生产报表。9 .特殊过程的质量控制9.1本公司的特别程序如下：9.1.1黄光工厂。9.1.2 ICP站。9.2特殊过程应实行三定：定技术、定设备、定人员。9.3特殊工艺质量保证主要通过工艺参数监测和测量仪器检测来保证，各有关系人员应当监测有关记录和设备上的仪器仪表。 发现问题，应立即报告生产负责人和工程师解决。10 .支助文件10.1 coating作业指导书 SNS-WI-S2-101-A010.2 TRACK换液（丙酮、PR、显液）规范 SNS-WI-S2-001-A010.3 stepper作业指导书 SNS-WI-S2-201-A010.4 Develop作业指导书 SNS-WI-S2-301-A010.5 Corial ICP作业指导书 SNS-WI-S2-401-A010.6 Corial ICP零部件清洗作业规范 SNS-WI-S2-402-A010.7 ELEDE ICP作业指导书 SNS-WI-S2-403-A010.8 ELEDE ICP零部件清洗作业规范 SNS-WI-S2-404-A010.9 SLR 作业指导书 SNS-WI-S2-405-A010.10 SLR 零部件清洗作业规范 SNS-WI-S2-406-A010.11 甩干机操作规范 SNS-WI-S2-501-A010