真空维护和维修

真空区的划分为了研究真空和便于实际应用，真空通常分为四个等级：粗真空、低真空、高真空和超高真空。随着真空度的增加，真空的性质将逐渐改变，并经历一个从气体分子数的定量变化到真空的定性变化的过程。1.粗真空(1105-l102Pa)在粗略的真空状态下，气体空间和大气的特征几乎没有区别，气体分子的数量很大，热运动仍然占主导地位，分子之间经常发生碰撞。气体分子的平均自由程非常短。一般来说，在这个真空区域，使用真空技术的主要目的是在不改变空间性质的情况下获得压差。电容器生产中使用的真空浸渍工艺所需的真空度就是在这一区域。2.低真空(1102-110-1Pa)此时，每立方厘米的气体分子数是1016-1013。气体分子的密度与大气的密度大不相同。气体中的带电粒子在电场的作用下会产生气体传导。此时。气体的流动也逐渐从粘性停滞状态过渡到分子状态。这时，气体分子的动力学性质明显，气体的对流现象完全消失。因此，如果在这种情况下加热金属，可以基本上避免与气体的结合，并且真空热处理通常在低真空区域中进行。此外，随着容器内压力的降低，液体的沸点也大大降低，从而导致严重的蒸发，实现所谓的“真空冷冻脱水”。在这个真空区域，由于气体分子的数量减少，分子的平均自由程可以与容器的尺寸相比较。并且分子之间的碰撞次数减少，而分子和容器壁之间的碰撞次数大大增加。3.高真空(110-1-110-6Pa)此时，气体分子的密度甚至更低，容器中的分子数量非常少。因此，在运动过程中分子之间很少有碰撞。气体分子的平均自由程比普通真空容器大。大多数分子与血管壁碰撞。因此，在高真空中蒸发的物质分子(或粒子)将会直线飞行。此外，由于容器中的高度真空，容器空间中的任何物体与残留气体分子之间的化学相互作用也非常弱。在这种状态下，气体的热传导和内摩擦变得与压力无关。4.超高真空(110-6Pa)此时，每立方厘米的气体分子数低于1010。分子间很少有碰撞。分子主要与容器壁碰撞。超高真空的一个用途是获得纯气体，另一个用途是获得纯固体表面。这时，气体分子主要停留在固体表面上吸附。真空技术可以用来获得不同于大气条件的真空状态。由于真空状态的特点，真空技术已经广泛应用于工业生产、科学实验和高科技研究等领域。电子材料、电子元件和半导体集成电路的开发和生产与真空技术密切相关。真空装置：1托=133.322帕1Pa=7.5m托1 Pa=1N/m21托=1毫米汞柱1毫米汞柱=101，325/760牛顿/平方米(1个大气压=101，325牛顿/平方米)维护科1.1、机械真空泵的维护和保养：(1)泵及其周围环境应经常保持清洁。(2)泵运行过程中，油箱内的油量不得低于油标中心。(3)不同类型和品牌的真空泵油不得混用。(4)在用泵的温升不得超过70。(5)新泵使用约100小时后应更换1 2次，更换后的油中不再有黑色金属粉末，换油周期可延长。换油周期应根据规格和实际使用情况确定。(6)新泵和修复后的泵应运行4 6 h，检查泵是否满足使用要求。(7)泵长时间使用(2-3年)后，极限真空度下降，应进行检修。与此同时，系统、管道、阀门和电机也应进行清洁和检修。(8)当泵在使用时，由于特殊事故，如s(10)当泵不使用时，应使用橡胶塞(帽)堵住进气口，以防赃物和硬物落入泵内。(11)时刻关注真空技术的发展趋势，引进新技术和新材料(如新泵油等)。)尽早提高原有系统的性能。以上各点可根据具体情况制定，相应的操作程序可严格执行。1.2。成套设备的日常维护：(1)操作人员应熟悉各种仪器、泵和设备部件。阅读并理解各种说明。(2)冷却水的水压应保持在0.1-0.2兆帕之间，出口温度应45。(3)压缩空气压力在0.4兆帕和0.5兆帕之间。(4)每炉启动前，检查保护气瓶的容量，避免充气不足，并更换气瓶。(5)开机后如有异常情况，应立即排除或停机查找原因。(6)定期检查各部件的回水，确保各部件工作时有足够的冷却水。(7)设备停止时，炉内气体应排空，并长时间不使用。应充入保护气体，并排空设备水冷套内的循环水，用气压冲洗。(8)机械泵和罗茨泵应定期换油。油应保存在罗茨泵的油杯中。换油时一定要清理废油。(9)扩散泵换油时，如果内部有氧化，扩散泵内部的氧化层应清洗干净，然后换上新油。(10)填充的保护气体的纯度不得低于99.99%。(11)易燃、易爆和腐蚀性气体不允许用作本设备的保护气氛。(12)设备表面和仪器表面应保持清洁。擦拭炉体内壁时，不得用水和非真空油用布擦拭。(13)气动系统三缸上的油水分离器应经常排水，空气压缩机也应经常排水。油雾装置应充满真空扩散泵油。(14)设备整机电压应在350 420伏范围内，三相必须平衡。(15)调节，将扩散泵油应用于电接触压力表、热电偶等。在它们和阀座之间形成一层油膜，防止空气泄漏。上述零件和法兰接头不允许长时间用真空密封泥密封。(16)应定期检查所有部件的螺栓。如果发现松动，及时拧紧。(17)设备工作时，注意各仪表的显示和各泵的声音，以便及时发现异常和问题。(18)设备运行环境相对湿度低于85%，温度为10 40。拆卸和修理设备时，不允许用重锤敲击各部件，不允许划伤密封面和凹槽。(19)设备工作时，操作人员不得长时间离开岗位。(20)提起目标时不要触摸目标，以防高压电击(600-800伏)。维护科2.1真空设备维护要点：维护真空设备的要点是判断故障。真空经常不能被抽上来。可能有几个原因。有必要找出原因。也许真空装置的抽吸能力不够，泄漏率太高，或者两者兼而有之。这时，我们应该耐心地观察和记录，找出故障。例如，如果排空时间相同且真空度较低，此时关闭主阀。例如，如果真空计的指针快速下降，在大多数情况下真空室会泄漏。此时，应首先检测泄漏点。例如，真空计的指针下降非常慢，在大多数情况下，真空装置的抽吸能力是不够的。此时，可以将焦点放在寻找真空泵和阀的问题上，以查看哪里有泄漏，或者扩散泵油被污染和氧化。或者前级管道密封不好，泵油不足；或泵油乳化、轴封漏油等故障。一、检测泄漏率：用户最头疼的是检测泄漏率。泄漏分为内部泄漏和外部泄漏。更好地检测外部泄漏小泄漏和轻微泄漏更难检查。常用的方法是通过使用电离管在高真空条件下对某些气体敏感来检测泄漏，例如丙酮或乙醇。用医用注射器将丙酮或乙醇注射到可疑的地方。当电离仪的指针喷到泄漏点时，会明显摆动。用这种方法进行泄漏检测时，要有耐心。有必要等待，直到电离计的指示值稳定在，即真空装置的泵送能力和泄漏率达到平衡，然后喷射。最好重复几次以确认泄漏。(2)寻找内部泄漏和外部泄漏：大部分内部泄漏发生在带水冷套的设备上。外漏检查过程中毫无疑问，但发现以下现象：机械泵泵速明显偏低，真空计指示值偏低，机械泵油乳化迅速，真空室内铁基零件明显锈蚀。在上述条件下，可以基本确定内部泄漏。例如，有一个25 1959;的中频炉，配有2x-70旋转叶片泵和两个ZJ-150罗茨泵，它们只能泵送高达10 Pa。ZJ-150泵效果不明显，无外泄漏，但机械泵油乳化快，真空室内铁基零件明显生锈。拆卸设备清理干净后，用冷却水检测炉盖的泄漏，其余为泄漏点。先清理内壁，然后通冷却水，看看有没有湿点。湿点是泄漏点。二、故障点处理：找出故障点，根据当地情况进行处理。简单的方法是更换零件，小到橡胶圈和螺栓。像阀门和真空泵一样大，你可以改变手头的任何东西。待焊接的零件应按要求进行，是否满足要求应在焊接后确认。三、维修应注意的环节：维护中应注意的几个环节？即拆卸、清洗、检查和组装。真空设备无论大小都属于精密机械设备，这一点非常重要。拆卸时应遵循轻拿轻放的原则，不得草率从事或用大锤敲打。清洗零件时，要清洁彻底，以便发现问题和隐患。真空泵产品与一般机械产品大不相同。一般的机械产品通常是倒角的，而真空泵有明显的倒角，容易伤手。你应该小心并记住。不要把拐角处翻过来。检查是一项细致的工作。不要遗漏每一个细节。任何微小的地方都可能是问题所在，所以不能有侥幸心理。无论真空泵零件是否用汽油或其他溶剂清洗，在汽油或溶剂完全挥发之前都不能进行装配。如果真空泵油与其他油或溶剂或水混合，将会破坏其性能，影响真空泵的性能指标。胶圈应擦拭干净，仔细检查有无缺陷和裂纹，尺寸是否正确，错误的尺寸会影响密封。任何带加热位置的橡胶圈在每次拆卸和清洁时都必须更换，例如，组装时需要小心处理增压泵的每个接口。从对角线开始均匀拧紧螺钉。应小心使用用于动态密封的多用途轴封。首先检查轴封本身是否有缺陷，密封面是否平整，轴封弹簧的弹性如何。轴封的内侧可以涂上一薄层真空润滑脂。应用轴封时，力应均匀。骨架轴封不应有偏差。如果有偏差，就会泄漏石油和天然气。不要挤压轴封弹簧。没有轴封弹簧，轴封将无效。注意轴封和轴的同心度。一些泵由成对的轮子连接。成对轮子的同心度非常严格。组装时，应从轴的所有侧面测量数量，以确保平行度和一致性。罗茨泵齿轮调整的关键是两个8型齿轮不碰撞。扩散泵内壁和喷淋塔清洗后，最好用电纺丝干燥。由于我国生产的扩散泵主要取决于电炉丝的长度2.2.1紧急处理(1)高温断水断电。真空设备在高温下最害怕断水和断电。因此，用户在安装设备时最好建造一个备用水箱或连接自来水管道。当设备处于高温时，水被切断，电源被切断。此时，泵和阀门应处于关闭状态。操作人员应立即打开备用水或自来水，对设备进行水冷却。如果电力不能很快接通，充气和放气系统的手动充气阀也应打开，以防止设备充气。充气压力约为0.02兆帕。然后，将控制柜上的所有按钮转到“关闭”位置。同时，在电极引出接口上使用湿毛巾，并定期更换，以避免电极接口过热和密封圈损坏。(2)更换气瓶。当设备中使用的气瓶需要更换时，拆下稳压阀，换上新的。安装过程中务必不要泄漏气体。更换新气瓶后，工件加热前，抽空过程中应对炉内进行充气，以抽出气瓶更换过程中管道内的任何空气，并保持充气管道清洁。(3)正常工作时，发现设备突然泄漏。如果能立即找到泄漏点，必须用真空密封泥浆密封泄漏点。工作结束后，应再次处理泄漏点。如果不能确定泄漏，应立即停止工作，然后进行大修。(4)设备应运行一段时间，一般为50至70次。应将其清理干净，将灰尘清除出炉膛，然后炉膛应运行一次。工作方法是当真空度高于10-2 Pa，加热温度一般高于正常使用温度的20时抽真空加热。将温度保持在最高炉温一小时以上，然后自然冷却。这保持了设备内部空间的清洁。紧急使用条件下的设备故障日常维护可以逐步完成。在紧急情况和紧急生产任务下出现设备故障时，只要故障判断准确，所有可用材料如真空密封泥、真空密封蜡、704硅胶、真空腔板等。被利用了。只要与正在进行的工作没有冲突，就可以进行修理。有一台新的镀镜机建在外国土地上。它已经正常工作一个多月了。关闭一天后，真空室门自动打开。用户渴望恢复生产。他们连续两天忙于拆卸和检查机器，却没有解决问题。经过检查，我们发现真空室的门有缺陷。缺陷被真空密封泥浆堵塞，使用户能够尽快恢复生产。有一个中频炉，在低真空下正常工作，在6 Pa下放电。经检查，发现是由尖端放电引起的。这个问题的根本解决办法是大修，这需要一周时间。根据用户急欲使用的要求，使用704硅胶密封L排出口，第二天即可正常生产。有一种真空设备，加热密封采用刀口法兰，用户不小心使无氧铜垫出现“双眼皮”，造成漏气。密封处温度低于100，用户急需。无氧铜垫用焊料焊平，松香用乙醇清洗，解决了该处的密封问题。紧急情况的原则是不损坏设备，不影响工作条件。2.2.2机械泵的常见故障和维护：一、旋叶真空泵的使用1、使用前，应认真记者产品说明书，开箱后应检查运输质量。收集备件和技术文件，拆除排气保护部件。根据需要安装、布线并尝试转向。水泵接收水。2.为防止回油和反转喷油，应先打开泵口，按规定用手将泵内储存的油转向油箱。同时检查油位，应在油标中心以上，但不要满油，要多放。3.判断转向的辅助方法。将护套倒置在泵端口上。i7、检查泵的极限压力以压缩式水银