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文档简介

.,1,椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率,.,2,实验目的,（1）了解椭圆偏振法测量薄膜参数的基本原理；（2）掌握椭圆偏振仪的使用方法，会利用椭偏仪对薄膜厚度和折射率进行测量,.,3,实验仪器,半导体激光器椭圆偏振仪数字检流计,.,4,利用椭偏仪测量优点,精度高较灵敏非破坏性,.,5,实验原理装置,.,6,实验原理,一束自然光经偏振器变成偏振光,再经过1/4波片使它变成椭圆偏振光入射在待测膜上;反射时,光的偏振状态发生变化;通过检测这种变化,便可推算出待测膜面的膜厚度和折射率.,.,7,多光反射示意图,d,n1,n2,n3,s,p,.,8,理论推导,总反射系数引入两个物理量和称为椭圆偏参量(椭圆偏角),.,9,和的物理意义,光的复数形式反射前后p和s分量的振幅比反射前后p和s分量的位相差,.,10,问题的简化,入射光为等幅椭圆偏振光反射光为线性偏振光,.,11,简化目的,恰好是反射光p和s的幅值比,通过检偏器角度A可求;为光经过膜位相的改变,可通过起偏器的角度P求得,.,12,简化条件的实现,起偏器加上1/4波片即可得到等幅椭圆偏振光;调节起偏器的角度就可以使入射光的位相差连续可调.,.,13,仪器校准,自准法调光路水平和共轴利用布儒斯特角调节检偏器利用检偏器和起偏器的关系调节起偏器确定1/4波片,.,14,实验操作,将1/4波片快轴转到+450位置仔细调节检偏器A和起偏器P，使目镜内的亮点最暗，即检流计值最小。计下A、P的刻度值，测得两组消光位置数值将1/4波片快轴转到-450位置重复2的工作。其中：A分别取大于900和小于900两种情况。,.,15,测试结果点,.,16,.,17,.,18,.,19,.,20,.,21,.,22,.,
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