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文档简介

第五容式传感器,1.结构简单，没有活动触点，工作可靠，寿命长。2.灵敏度和分辨率高。传感器输出信号强，有利于信号传输。3.重复性好，线性度好。4.能测非常小的位移，但随着测量范围增大分辨率下降。,主要特点：,51工作原理与结构,一.基本原理,二结构,1.变间隙式2.变面积式3.变介电常数式,52特性,一变间隙式,由于、和A都不变，电容与极板间的距离成反比。（非线性关系）,当很小时，高次相可以忽略不计，输入与输出的关系近似为线性，由此带来的误差,为了改善传感器的特性，常采用差动结构，这样可以提高灵敏度一倍。更重要的是可将级数中的二次相抵消而使线性度提高。,传感器的灵敏度：,可见，要提高灵敏度，就应减小起始间隙，但这受电容器击穿电压的限制，而且增加装配加工的困难。另外，减小起始间隙会限制传感器的测量范围，否则将产生较大的非线性误差。,二变面积式,输入和输出呈线性关系,两极板间的电容,传感器的灵敏度,三变介电常数式,1.,(线性关系）,2.,(非线性关系）,3.,(线性关系）,53测量电路,交流电桥,单臂时：,而,输出电压与电容C成反比但如果传感器为变间隙式电容传感器,输出与被测位移成正比,差动电容时（半桥）,其中,2变压器式交流电桥,3双T电桥,二二极管不平衡环形电桥,三差动脉宽调制电路,四运算放大器式电路,若传感器为变间隙式电容器,五调频式电路,
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