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文档简介

.,廠務系統概述,莊士正,.,整廠系統,.,1.廠務系統功能,.,1.1水系統在製程中的功能,.,1.2氣體系統在製程中的功能,.,1.3化學系統在製程中的功能,.,1.4真空系統在製程中的功能,.,1.5排氣/排水系統在製程中的功能,.,2.廠務系統使用材質,.,2.1水系統使用材質,.,2.2氣體系統使用材質-(除特氣外機台端都可能用Teflon軟管),.,2.3化學系統使用材質,.,2.4真空系統使用材質,.,PumpLine製程高真空,SUS316BA/EP,GEX一般排氣,鍍鋅螺旋風管,2.5排氣系統使用材質,Solvent有機排氣,SUS304全焊式不銹鋼風管,Acid/Ak酸鹼排氣,不銹鋼TeflonCoating風管(Tefpass),.,2.6排水系統使用材質,Drain一般排水,PVC/PVCSCH80,Solvent有機排氣水,SUS304不銹鋼管,Acid/Ak酸鹼排氣水,PVCSCH80/PVDF/PTFE/PFA,.,3.廠務系統流程,.,3.1製程冷卻水系統簡略流程,.,3.2冰水系統簡略流程,.,3.3純水系統簡略流程,.,3.4自來水/回收水系統簡略流程,.,3.5CDA/GN2/PN2系統簡略流程,.,3.6其他大宗氣體/特氣系統簡略流程,.,3.7高真空/排氣系統簡略流程,.,3.8真空系統簡略流程,.,3.9化學系統簡略流程,.,3.10廢水收集
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