真空退火炉操作规程

真空退火炉操作规程一、开炉前准备1将物料放进炉内，并关好炉门。2检查各部电路线头是否有松脱现象，若有，先修复紧固。3打开气动三联件前的压缩空气总阀。4开启水分配器前的供水总阀，并适当调整各分阀，保证各部回水管均有出水，同时检查接头处是否有漏水现象，若有应先处理好。二、开炉及停炉1合上电控拒上的总断路器及柜内各分断器器。2按下“仪表电源”和“PLC电源”按钮，将“自动/手动”转换开头调到“自动”档。3将触摸屏画面切换到“操作状态”，按“操作模式”，选择“手动”，再按“返回”，回到“操作状态”画面。4按“滑阀泵”、“确认”，滑阀泵启动，开始时管道抽真空，1-2分钟后，按“真空阀”、“确认”，真空阀开，连能管首和炉体。5关注真空测量仪上的真空度变化情况，当面板上的“J1”指示灯亮后，按“罗茨泵”、“确认”，启动罗茨泵。6当真空仪面板上的“J2”指示灯亮后，表示已达到打开预抽阀的真空度，按“预抽阀”、“确认”，预抽阀打开，随后按“扩散泵”、“确认”，扩散泵开始加热，记下开始加热的时间。7根据工艺要求，在退控仪上设定好升温曲线。8当扩散泵加热时间达到1.5小时，且真空仪面板上的“J4”指示灯亮后，按“真空阀”、“确认”，关闭真空阀，再按“扩散泵阀”、“确认”。扩散泵阀开启后，对炉内抽取高真空。9当真空仪面板上的“J3”指示灯亮后，按“加热”、“确认”，主回路得电，操作退控仪，炉体将按设定好的升温曲线开始升温。10升温结束后，进入冷却阶段，是否采用快冷依工艺而定，快冷程度如下：按工艺要求调整充气压力表的上、下限，调整风机控制压力表的上、下限，在无纸记录仪上调好风机启动温度。按步骤关闭各真空泵、阀。扩散泵阀扩散泵预抽阀真空阀罗茨泵滑阀泵按“充气阀”、“确定”，充气阀打开，向炉内充入高纯的N2或Ar(纯度99.999%)当炉内压力接近充气压力上限时，关“充气阀”，打开“微充阀”，直到充气上限为止。当达到设定的风机启动温度后，按“风机”、“确定”风机启动，炉温快速冷却。若热交换器及风机出水温度较高，应适应调大其供水阀，以利缩短冷却时间。当炉温达到100以下，关闭风机，打开扩散泵上部的手动阀，排出炉内气氛，直至炉压与大气压平衡，方可打开炉门，取出产品。11.在自然冷却方式下，当升温结束，温控仪设定的曲线运行完毕后，关闭扩散泵阀扩散泵，打开真空阀，但预抽阀不关。12滑阀泵及罗茨泵运转，直到炉温100以下，按下述步骤关闭真空泵、阀。预抽阀真空阀，罗茨泵滑阀泵13打开扩散泵上部的手动阀，使大气压进入炉内，直到炉内与大气压达到平衡，打开炉门，取出产品。三、注意事项1真空仪上的参数均已调好，严禁随意改动，设定。2操作过程中，应随时关注电流、电压、水温等变化情况，若有异常应及时处理或报告。3电气故障严禁私自处理，应请电工排除。4若触摸屏出现故障，可将“手动/自动”转换开关打到“手动”档，从头进行抽真空、升温等操作，各真空泵、阀及温控仪操作步骤与“自动”相同，但手动操作的操作机构由触摸屏变为按钮。5当选择触摸屏控制时，在“操作模式”的选择中，不宜选择“自