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文档简介

化学气相淀积与薄膜工艺ChemicalVaporDeposition欧洲CVD系列会议【9】中英文参考文献,1.7教学方式与考核,1。讲授：基本原理和处理方法2。技术性讲座（3次）3。实验室参观（与讲座相结合）4。阅读文献和讨论按内容分组，推举报告人，讨论5。期终考试,课程论文参考选题,（一）按科学问题命题，如复杂反应CVD过程热力学分析的近期进展化学输运反应CVD的新近发展开管气流系统CVD的流体力学分析和反应器设计CVD过程表面生长动力学模型的新进展CVD过程动力学的实验研究CVD中的V-L-S机制及应用CVD过程中衬底与生长层的相互作用研究进展CVD系统中的成核理论的研究化学气相淀积的掺杂行为:掺杂过程的热力学,动力学和机理CVD过程表面形貌和生长动力学CVD法合成纳米粉体材料的学科问题等离子体CVD体系中的新颖学科问题CVD技术用源物质的研究CVD工艺用的新型先躯物（源物质）-金属的二酮类螯合物CVD领域的若干新近进展,（二）按具体材料研究来命题CVD技术研制氮化镓发光材料的进展CVD法在金属基底上制备陶瓷保护涂层（TiCx，TiN，BCx，。）CVD技术合成金属晶须材料的发展（选其中的一种或多种）CVD法研制宽禁带材料SiC（或Si3N4）CVD法金刚石薄膜。（三）从CVD在某个领域的应用命题例如：化学气相淀积和新技术和微电子学工艺CVD与半导体光电技术CVD与太阳能利用CVD与高分子材料CVD与光
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