无尘室技术手册PPT课件

.1,000 shida洁净室建设规范，2，3，4、5，洁净室基本要求(1)，空气中颗粒物数低于一定标准。使用高效过滤器(HEPA、ULPA)经常清洁不锈钢材料(库、地板、灯等)，可以防止外部微尘粒子的流入。洁净室的气密性外部气体通过外部空气空调箱过滤器(第一、袋类型、HEPA过滤器)进入洁净室后，使用ULPA过滤器过滤洁净室，考虑正压(约15Pa)废气和吸入空气平衡(进气排气)室内产生的颗粒物或有害气体可以迅速排出。通风次数、保持气流畅通、洁净室基本要求(2)、温度、湿度和室可保持一定标准。除湿能力(潜热和玄热)冬季加湿能力(蒸汽加湿)精密控制(Sensor和阀)干式线圈的换热能力和水外部燃气空调箱和Exhaust的洁净室压力控制，防止静电、电磁干扰。选择良好的接地材料(库面板涂料、导电地板)安装Ionizer适当的管理安全因素和节能注意事项。8、9、10，11，类10: 10/英尺3，类100: 100/英尺3，209E美国联邦标准，粒子大小0.3m。12，洁净室气流速度和通风次数(IEST-RP-CC012/Table1)，洁净室：是指在工厂内保持稳定的温度、湿度和清洁度的环境控制生产地。Mau: make-upairunit，称为外部空调箱；设计用于冷却、除湿和去除外部空气，从而保持室内湿度和室内正压值，使外部空气通过气流畅通的间隙进入，从而避免破坏清洁环境的处理器。ffu:fanfilter unit，称为fan filter group；旨在提供无尘室内气流周期和室内灰尘粒子过滤以保持清洁水平的设备。DCP:DryCoolingPump:干盘管泵；旨在为DCC提供水，以保持DCC的质量。DCC:DryCoolingCoil，干盘管：安装在p层回风风管入口，以消除由于工艺站生产和建筑复制而在室内产生的热量，从而保持室内温度环境稳定。Pb:路径箱，路径箱；旨在提供无尘的室内外物品。As:气温计，气浴粉真实性；hepa filter:highefficiencyparticulationfilter，高效的过滤网络。ulpa filter:ultraefficientairfilter，非常高效的过滤网络。Cleanroom相关术语，洁净室所需的室外空气，洁净室所需的室外空气CMH/CR-M2当前每个洁净室的室内正压通常为1至2 mmac，外部空气计划相反，空调运行费用占整个工厂空调系统的很大比例，夏天必须降低高温高湿空气除湿和干净室内条件下露点温度，加热到规定的供应温度(一般低于室内干球温度5C)，带来干净室内和室内循环气体混合。无尘室内湿度由MAU调节和控制，清洁室内循环气流的测定(2种)，清洁室内循环风量的测定(2种)。18，无尘室内的建设流程图，19、20，21、22，23，24，900千克集中载荷(6.45，2探针)下，配电盘上一点的垂直变形量(deflection)不能超过2mm。，上升地板强度，变形2mm，头900kg，25，低频(0-100hz)范围内的微振动，微地震，位移量-m速度-m/sec加速-m/sec 2，工厂提供的等级，26、平台单支承重量超过2500公斤，采用刚性基层设计，设计环境振动值满足特殊负荷要求VC-A、VC-B、VC-c、special foundation、figurea . 1 vibration diagrafraftion，27，28，洁净室环境控制-室内静压和湿度，dPT，温度，露点，INV，房间压力，风扇，c，第二次冰水17-19。c，ffu，无尘室空气(进入干盘管之前)t :12。CRH:45%DP:9.6. C，洁净室空气(进入干盘管后)T:18。CRH:58%DP:9.6. C，干燥，主要目的是降低无尘室内空气的温度，消除无尘室内产生的明显热负荷。DLP、通风孔、30，什么是通风水？ACH，卷vm3，h，w，l，复盖范围=FFU总工作站数FFU面积室内总面积，无灰尘。31，32，风速测量，测量条件1。测量范围2。测量程序2.1小时333630秒/filter2.2测量点2.3测量速度进口FFU0.4m/s，平台FFU0.3m/s3。测量仪器vanetypeanemeretercoofschilknechttype 4.113 andral memo 2290-7 display错误值/-3%或同期4。接受标准，33，定型等级测试，测量条件天花板和高架地板安装完成室内压力正常ffu安装完成ffu泄漏测量正常气流调整设计条件1。测量范围每个个别清洁等级的房间2。测量程序使用2.1粒子计数器从上升地面约1.2米处测量2.2测量点nl=8730aa :面积(m2) 2.3每个房间至少2点测量3。测量仪器4。接受标准，34，照度测量，测量条件日光灯系统连续运行100小时后，尘埃室相关系统至少2小时，温度和湿度稳定后？测量范围20 m2/1。测量程序1.1测量点在高架地面或1.2米处测量1.2测量时间1min/2。测量设备photometer(lux meter)typegossenmetrawattmx 4 or equivalent 3。检验标准是工厂建设标准，35，噪声测量，1 .测量程序每1.1 40m2一点或每一个别房间测量1.2噪声计基准，高1.5米，防止从墙到最小3米的干扰，每点约5分钟测量2。接受标准 60db (a)，36，室压力测量，1 .测量程序1.1每个单独的房间和相邻房间测试1点(10分钟)。1.2测试时，洁净室所有门均处于关闭状态2。测量设备halstrupema 84，muellerorerequisite3。检验标准每个测量点的值大于15PA(工序区域保持维修区域为正压)，37，温度和湿度测试，1 .测量范围每个温度控制区域必须测量一个点，每个单独的房间必须测量一个点。2.测量过程2.1测量高度底部1.5m2.2测量时间1小时和至少6分钟检查测量3。根据检验标准工厂标准。38、上升地板接地阻抗测试，1 .测量范围10平方每1点至少3点2。测量程序2.1测试电压100V时间电阻值1062.2测试电压500V时间电阻值106，39，墙板接地阻抗测试，1 .测量范围30米宽，每平方英尺至少3点2。测量程序2.1测试电压100V时间电阻值需要、40、41，美国照明照度单位为英尺烛光(foot-candle，fc)，相当于每英尺一流(lumen)。流明是用于描述光的光的输出(光束)，荧光灯在紫外线(UV)光谱中产生一些能量，对一些无尘的室内过程有害。UV过滤可以通过灯罩或用管子盖住灯泡来实现。但是，此面具将可见光转换为黄色，在室内很不方便。此阻挡可以将照度级别降低10%到20%，但是洁净室中的默认光源样式包括水滴、插入式、表面固定和整体天花板栅格(grid)样式。灯的选择通常基于无尘房间的分类水平。42，各种设计的洁净室能耗比较(kw单位)，43、44、45、46、47、48、49，50，51，洁净室施工规范=金属地块库a .工厂预制成型组合金属库板总厚度t=50mm，t=0.5mm垫框架密封，板与板之间t=0.5mm，b .金属库板双面总厚度0.5mm彩色板镀锌冷轧钢板，符合JISG3312CGLC规定。2.铝锌层最低50g/M2(双面)符合ASTMA90规范。3.油漆：正面2个烤制PE聚酯面漆，至少15m以上。至少5m以上的烘焙EPOXY漆。4.请参阅特性要求标准铝硬度astmd33363 盐雾试验ASTM8117冲击试验ASTMD2794耐候性试验ASTMG53涂层厚度ASTMD1005光泽ASTMD523抗弯性试验ASTMD4145润湿试验b .金属库表面抗静电处理要求值106 108 ，基于图纸位置。c .金属资源库板使用标准宽度900mm/1200mm，高度详细设计图。d .金属库主板应参考标准GB9978样式认证，符合1小时消防限制要求。e .金属图书馆板应在出厂前将PE保护膜附着在漆板表面，以防止漆板表面损坏。f .在金属资源库板H6000m/m上，中心负载测试必须符合200Kg的力挠曲7/1000L以下。g .天地导轨和其他零零件，铝挤压1.5mm以上，表面阳极或油漆处理，详细图表。52，洁净室施工规范=门和窗a .组合门：面材规范等隔墙，门板安装窗，门窗和硬件连接。切割墙板的门框踏板必须采用铝挤压边表面阳极或油漆处理，并且必须是详细的设计尺寸。b .自动门：悬挂铝合金框架结构，玻璃厚度t=5mm钢化玻璃或t=6.8mm钢丝玻璃，国内自动门机器，尺寸详细设计。c .窗口：(1)学员窗口：仅洁净室，总厚度50毫米双t5毫米钢化玻璃，内部剪辑可调整百叶处理，尺寸详细设计图。(2)气密窗：仅洁净室，铝合金窗具有防尘坡度，玻璃厚度t=5mm钢化玻璃，t=6.8mm钢丝玻璃或6mm防火玻璃，与玻璃结合的地方必须密封处理，详细设计。d .玻璃：安装在防火墙中的玻璃应采用6mm防火玻璃，火灾发生90分钟(请参见国家GB15763-1-2001标准)，5mm钢化玻璃用于常规内部隔间，如果常规光线穿透，则应安装t=5mm黄色钢化玻璃、位置和大小详细设计图。e .铝合金门和铝合金框架：铝挤压成型，铝挤压材料必须符合JIS6063规格，铝表面需要电镀阳极处理或油漆，使用不锈钢的人不在此限。2.05材料品质检查a .每个堆叠材料取样至少两个，符合以下准则1。长度2毫米以内2。厚度在0.5毫米以内3。宽度1毫米以内4。主板平整度在1.5mm以内1000mmB。根据包装保护规定，c .材料外观是否存在污染和变形问题。2.06其他a .金属图书馆板根据设计图或施工图或所有者说明与预埋电气管道配合工作。b .无尘室地块装配方法使用NONSILICOME活动可分离集方法随机单独分解集。53，洁净室施工规范=ceiling grid天花板a .铝合金挤压骨架天花板骨架的长度允许工作差异为0.05mm，平整度为0.01mm。骨架表面用静电粉末涂层，涂层厚度在阳极处理10m以上。t杆骨架吊杆需要3/8 以上的螺丝。b .骨架接合骨架接合是铝合金材料，接合的破坏负载至少为1000Kg，几何标注赝像为0.01mm，平坦度为0.01mm。连接器的中心部分可以安装消防喷水装置、温度、湿度传感器、无尘室内照明、消防传感器和电源线。连接器表面采用静电粉末涂层处理，厚度至少为30m。由t形铝和十字形构件连接，形成天花板框架。t型铝底面开口槽用于安装照明系统、隔墙等。c .占卜板由厚度2.0mm以上的镀锌钢板制成，盲文的大小差异为0.05mm，表面静电粉末涂层，双面表面涂料处理30m以上，平面度应放置在骨架上，平面度应在工厂出厂时垂直保管，占卜板颜色经业主的颜色选择确认后施工。板材必须能够充分支撑修理工的重量和移动冲击，操作时不能允许崩溃、变形、尺寸精度为1mm。即可从workspace页面中移除物件。d .所有抛光、连接材料为厚度1.2mm以上的阳极氧化铝挤压成型。e .天花板系统必须通过FMorUL认证。54，高架地板工程2.01基本规范a .高架地板系统必须能够将面板表面产生的静电持续导入接地系统。b .通道区域使用1000公斤铝合金盲孔板和冲床板。c .工艺设备下需要1200公斤铝合金盲孔板和冲板。d .采用铝合金格子板的回流导管。2.02长廊区高架楼板规格a .材料：铝合金压铸b .尺寸：600mm600mm52mmC。正向公差0.2mm，对角