3-1位移传感器在制造业中应用.ppt

09.06.2020,1,第3章位移传感器在制造业中的应用,09.06.2020,2,第3章位移传感器在制造业中的应用,一、直接测量和间接测量,位置传感器（精密的位移传感器）有直线式和旋转式两大类。若位置传感器所测量的对象就是被测量本身，即用直线式传感器测直线位移，用旋转式传感器测角位移，则该测量方式为直接测量。例如直接用于直线位移测量的直线光栅和长磁栅等；直接用于角度测量的角编码器、圆光栅、圆磁栅等。若旋转式位置传感器测量的回转运动只是中间值，再由它推算出与之关联的移动部件的直线位移，则该测量方式为间接测量。,09.06.2020,3,1.直接测量,直接测量的误差较小。图为利用光栅传感器测量数控机床工作台位移量的现场照片。,工作台,光栅,工作台运动方向,09.06.2020,4,2.间接测量,在间接测量中，多使用旋转式位置传感器。测量到的回转运动参数仅仅是中间值，但可由这中间值再推算出与之关联的移动部件的直线位移间接测量须使用丝杠-螺母、齿轮-齿条等传动机构。,工作台,丝杠,编码器,进给电机,x,09.06.2020,5,传动机构,滚珠丝杠螺母副、齿轮-齿条副等传动机构能够将旋转运动转换成直线运动。但应设法消除传导过程产生的间隙误差。,齿距,齿条,齿轮,x,09.06.2020,6,滚珠丝杠螺母副,滚珠丝杠螺母副能够将减小传动磨檫力，延长使用寿命，减小间隙误差。,螺母,丝杠,x,09.06.2020,7,传动分析,设：螺距t=4mm，丝杠在4s时间里转动了10圈，求：丝杠的平均转速n(r/min)及螺母移动了多少毫米？螺母的平均速度v又为多少？,螺母,丝杠,螺距,x=？,N=10圈,09.06.2020,8,二、增量式和绝对式测量,在增量式测量中，移动部件每移动一个基本长度单位，位置传感器便发出一个测量信号，此信号通常是脉冲形式。这样，一个脉冲所代表的基本长度单位就是分辨力，对脉冲计数，便可得到位移量。,绝对式测量的特点是：每一被测点都有一个对应的编码，常以二进制数据形式来表示。绝对式测量即使断电之后再重新上电，也能读出当前位置的数据。典型的绝对式位置传感器有绝对式角编码器。,增量式测量得到的脉冲波形,09.06.2020,9,3.1角编码器及应用,信号航空插头,（参考德国沃申道夫公司资料）,09.06.2020,10,其他角编码器外形,09.06.2020,11,其他角编码器外形（续）,拉线式角编码器利用线轮，能将直线运动转换成旋转运动。,09.06.2020,12,其他角编码器外形（参考德国图尔克传感与自动化技术专业公司）,09.06.2020,13,一、绝对式编码器,绝对式码盘与增量式码盘有何区别？,10码道光电绝对式码盘,绝对式编码器按照角度直接进行编码，可直接把被测转角用数字代码表示出来。根据内部结构和检测方式有接触式、光电式等形式。,透光区,不透光区,零位标志,09.06.2020,14,绝对式接触式编码器演示,4个电刷,4位二进制码盘,+5V输入公共码道,最小分辨角度为=360/2n,09.06.2020,15,2绝对式光电编码器,a）光电码盘的平面结构（8码道）b）光电码盘与光源、光敏元件的对应关系（4码道）,高位,低位,09.06.2020,16,绝对式光电编码器的分辨力及分辨率,绝对式光电编码器的测量精度取决于它所能分辨的最小角度，而这与码盘上的码道数n有关，即最小能分辨的角度及分辨率为：=360/2n分辨率=1/2n,09.06.2020,17,增量式光电编码器的分辨力及分辨率,增量式光电编码器的测量精度取决于它所能分辨的最小角度，而这与码盘圆周上的狭缝条纹数n有关，即最小能分辨的角度及分辨率为：,09.06.2020,18,二、增量式编码器,转轴,盘码及狭缝,光敏元件,光栏板及辨向用的A、B狭缝,LED,A,B,C,零位标志,A,B,C,09.06.2020,19,光电编码器的输出波形,为了判断码盘旋转的方向，在上图的光栏板上的两个狭缝距离是码盘上的两个狭缝距离的（m+1/4）倍，m为正整数，并设置了两组光敏元件A、B，有时又称为sin、cos元件。,09.06.2020,20,辨向信号和零标志,光电编码器的光栏板上有A组与B组两组狭缝，彼此错开1/4节距，两组狭缝相对应的光敏元件所产生的信号A、B彼此相差90相位，用于辩向。当编码正转时，A信号超前B信号90；当码盘反转时，B信号超前A信号90。(请画出反转时信号B的波形）,在上一页图的码盘里圈，还有一根狭缝C，每转能产生一个脉冲，该脉冲信号又称“一转信号”或零标志脉冲，作为测量的起始基准。,09.06.2020,21,三、角编码器的应用,角编码器除了能直接测量角位移或间接测量直线位移外，可用于数字测速、工位编码、伺服电机控制等。,09.06.2020,22,M法测速（适合于高转速场合）,T,编码器每转产生N个脉冲，在T时间段内有m1个脉冲产生，则转速（r/min)为：n=60m1/（NT）,09.06.2020,23,例题,T,有一增量式光电编码器，其参数为1024p/r，在5s时间内测得65536个脉冲，则转速（r/min)为：n=6065536/（10245）r/min=768r/min,09.06.2020,24,T法测速（适合于低转速场合）,时钟脉冲fc,编码器输出脉冲,m2,编码器每转产生N个脉冲，用已知频率fc作为时钟，填充到编码器输出的两个相邻脉冲之间的脉冲数为m2，则转速(r/min)为n=60fc/（Nm2）,09.06.2020,25,T法测速举例,时钟脉冲fc,编码器输出脉冲,m2,n=60fc/（Nm2）=60*1000000/（1024*3000）=19.53r/min,有一增量式光电编码器，其参数为1024p/r，测得两个相邻脉冲之间的脉冲数为3000，时钟频率fc为1MHz，则转速（r/min)为：,09.06.2020,26,安装套,编码器的安装方式,1.编码器的套式安装,09.06.2020,27,安装轴,2.编码器的轴式安装,09.06.2020,28,编码器在定位加工中的应用,1绝对式编码器2电动机3转轴4转盘5工件6刀具,设该增量式光电编码器的参数为1024p/r，大、小皮带轮的传动比为5，若希望当加工好元件1后紧接着加工元件8，则电动机转动了多少分之几圈？应等待编码器给出多少脉冲数时，电动机停转？,09.06.2020,29,数控加工中心,09.06.2020,30,编码器在数控加工中心的刀库选刀控制中的应用,旋转刀库,被加工工件,刀具,角编码器的输出为当前刀具号,角编码器与旋转刀库连接,09.06.2020,31,用不同的刀具加工复杂的工件,09.06.2020,32,编码器在伺服电机中的应用,利用编码器测量伺服电机的转速、转角，并通过伺服控制系统控制其各种运行参数。,转速测量转子磁极位置测量角位移测量,09.06.2020,33,3.2感应同步器及应用感应同步器是应用电磁感应原理来测量直线位移和角位移的一种精密传感器。由于感应同步器是一种多极感应元件，对误差起补偿作用，所以具有很高的精度。感应同步器的优点是：对环境温度、湿度变化要求低，测量精度高，抗干扰能力强，使用寿命长和便于成批生产和包装运输等。目前，感应同步器广泛应用于程序数据控制机床和加工测量装置中。,09.06.2020,34,3.3.1感应同步器的结构和种类感应同步器分旋转式和直线式两种，前者用来检测旋转角度，后者用来检测直线位移。感应同步器的结构都包括固定和运动两部分，对于旋转式分别称为定子和转子；对于直线式，则分别称为定尺和滑尺。,1.直线式感应同步器的结构直线式感应同步器的定尺和滑尺，都由基板、绝缘层和绕组构成，绕组的外面包有一层与绕组绝缘的接地屏蔽层。如图3-5所示，定尺安装在静止的机械设备上，与导轨母线平行；滑尺安装在活动的机械部件上，与定尺之间保持均匀的狭小气隙，可相对于定尺移动。,09.06.2020,35,直线式感应同步器定尺和滑尺的基板采用铸铁或其他钢材做成。这些钢材的线膨胀系数应与安装感应同步器的床身的线膨胀系数相近，以减小温度误差。,09.06.2020,36,定尺和滑尺印制电路绕组,图3-6定尺和滑尺绕组结构a)定尺绕组b)滑尺绕组,09.06.2020,37,2.直线式感应同步器的种类（1）标准型：标准型直线感应同步器精度高，应用最普遍，每根定尺长250mm。如果测量长度超过175mm时，可将几根定尺接起来使用，甚至可连接长达十几米，但必须保持安装平整，否则极易损坏。（2）窄型：窄形直线同步感应器中定尺、滑尺长度与标准型相同，仅是定尺宽度为标准型的一半。用于安装尺寸受限制的设备，精度稍低于标准型。（3）带型：定尺的基板改用钢带，滑尺做成滑标式，直接套在定尺上。安装表面不用加工。使用时只需将钢带两头固定即可。（4）三通道型：在一根定尺上有粗、中、精三种绕组，以便构成绝对坐标系统。,09.06.2020,38,3.2.2感应同步器数显表及其应用如图3-7所示，感应同步器鉴幅位移测量装置由感应同步器和数显表两部分组成，前置放大器、匹配变压器与感应同步器一起安装在机床上。,图3-7直线感应同步器数显装置系统联接示意图,09.06.2020,39,感应同步器鉴幅测量系统工作原理,图3-8感应同步器鉴幅测量系统方框图,09.06.2020,40,3.2.3感应同步器在镗床上的应用,图3-9数显卧式镗床外形图1纵向座标滑尺2纵向座标定尺3垂直座标滑尺4垂直座标定尺5数显表6弯管,09.06.2020,41,3.3光栅传感器,一、光栅的类型和结构,计量光栅可分为透射式光栅和反射式光栅两大类，均由光源、光栅副、光敏元件三大部分组成。计量光栅按形状又可分为长光栅和圆光栅。,09.06.2020,42,尺身,尺身安装孔,反射式扫描头（与移动部件固定）,扫描头安装孔,可移动电缆,光栅的外形及结构,防尘保护罩的内部为长磁栅,09.06.2020,43,扫描头（与移动部件固定）,光栅尺,可移动电缆,光栅的外形及结构（续）,09.06.2020,44,反射式光栅,09.06.2020,45,透射式光栅,09.06.2020,46,透射式圆光栅,固定,09.06.2020,47,莫尔条纹的光学放大作用,在透射式直线光栅中，把主光栅与指示光栅的刻线面相对叠合在一起，中间留有很小的间隙，并使两者的栅线保持很小的夹角。在两光栅的刻线重合处，光从缝隙透过，形成亮带；在两光栅刻线的错开处，由于相互挡光作用而形成暗带。,光栅的刻线宽度W,莫尔条纹的宽度L,LW/，（为主光栅和指示光栅刻线的夹角，弧度）,09.06.2020,48,莫尔条纹演示,09.06.2020,49,莫尔条纹光学放大作用举例,有一直线光栅，每毫米刻线数为50，主光栅与指示光栅的夹角=1.8，则：分辨力=栅距W=1mm/50=0.02mm=20m（由于栅距很小，因此无法观察光强的变化）莫尔条纹的宽度是栅距的32倍：LW/=0.02mm/（1.8*3.14/180）=0.02mm/0.0314=0.637mm由于较大，因此可以用小面积的光电池“观察”莫尔条纹光强的变化。,09.06.2020,50,光栅的输出信号（TTL）,余弦信号（超前）,正弦信号,零位信号,09.06.2020,51,光栅输出信号（电压正弦波）,细分点,余弦信号,正弦信号,零位信号,09.06.2020,52,脉冲细分,细分技术能在不增加光栅刻线数及价格的情况下提高光栅的分辨力。细分前，光栅的分辨力只有一个栅距的大小。采用4细分技术后，计数脉冲的频率提高了4倍，相当于原光栅的分辨力提高了3倍，测量步距是原来的1/4，较大地提高了测量精度。,细分前,细分后,09.06.2020,53,光栅细分举例,有一直线光栅，每毫米刻线数为50，细分数为4细分，则：分辨力=W/4=（1mm/50）/4=0.005mm=5m采用细分技术，在不增加光栅刻线数（成本）的情况下，将分辨力提高了3倍。,09.06.2020,54,辨向电路及波形,如果传感器只安装一套光电元件，则在实际应用中，无论光栅作正向移动还是反向移动，光敏元件都产生相同的正弦信号，无法分辨位移的方向。,例：某1024p/r圆光栅，正转10圈，反转4圈，若不采取辨向措施，则计数器将错误地得到14336个脉冲，而正确值为：(104)10246144个脉冲。,09.06.2020,55,正向运动产生加法脉冲,正向运动时，与门IC2无“减”计数脉冲输出。,09.06.2020,56,为光栅设计的专用数据转接器（光栅计数卡）,内部包含以下电路：放大、整形、细分、辨向、报警、阻抗变换等。,09.06.2020,57,为光栅设计的专用信号处理单元（光栅插补器）,功能同上页,09.06.2020,58,光栅在机床上的安装位置（2个自由度）,09.06.2020,59,光栅在机床上的安装位置（3个自由度）,数显表,09.06.2020,60,光栅在机床上的安装位置（3个自由度）（续）,09.06.2020,61,2自由度光栅数显表,X位移显示,Z（Y）位移显示,09.06.2020,62,3自由度光栅数显表,09.06.2020,63,光栅数显表（续）,三座标数显表,09.06.2020,64,SDS8-3E光栅数显箱功能:,公制/英制转换绝对/相对转换线性误差补偿正反方向计算归零插值补偿到达目标值停机PCD圆周分孔200组零位记忆电蚀深度目标值显示实时工作位置显示掉电记忆,09.06.2020,65,光栅数显表（续）,设定按键,09.06.2020,66,安装有直线光栅的数控机床加工实况,防护罩内为直线光栅,光栅扫描头,被加工工件,切削刀具,角编码器安装在夹具的端部,09.06.2020,67,3.4磁栅传感器及应用,磁栅价格低于光栅，且录磁方便、易于安装，测量范围宽可超过十几米，抗干扰能力强。磁栅可分为长磁栅和圆磁栅。长磁栅主要用于直线位移测量，圆磁栅主要用于角位移测量。磁栅传感器主要由磁尺、磁头和信号处理电路组成。,09.06.2020,68,磁栅的外形及结构,磁尺,静态磁头,去信号处理电路,固定孔,09.06.2020,69,磁头与磁尺相对运动时的输出波形演示,09.06.2020,70,鉴相型磁栅数显表的原理框图,磁尺与磁头接触，使用寿命不如光栅，数年后易退磁。,设置两个磁头的意义何在？,09.06.2020,71,磁栅测量系统,压板,磁头,磁尺,09.06.2020,72,磁栅在磨床测长系统中的应用,磁尺,磁头安装在何处？,09.06.2020,73,3.5容栅传感器,容栅传感器是基于变面积工作原理的电容传感器，它的电极排列如同栅状。与其他大位移传感器，如光栅、磁栅等相比，虽然精度稍差，但体积小、造价低、耗电省，广泛应用于电子数显卡尺、千分尺、高度仪、坐标仪等几百毫米以下行程的测量中。,09.06.2020,74,结构及工作原理,容栅传感器可分为三类：直线型容栅、圆容栅和圆筒形容栅。