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文档简介

全国中等职业技术学校机电类通用教材,机械制造基础,第10章,.,2,第10章新兴制造技术,10.1半导体制造简介10.2微细制造简介10.3其他制造技术,.,3,1.了解什么是半导体。2.理解半导体的特点及相关实际应用。3.了解半导体的制造过程。,10.1半导体制造简介,任务书,本节重点,什么是半导体。半导体的特点。半导体的相关实际应用。,.,4,一、半导体简介,半导体已经成为我国重要的产业,在现阶段的经济发展中更扮演非常重要的角色。,()绝缘体:指导电性和导电导热性差或不好的材料。如金刚石。()导体:指导电、导热都比较好的金属。如金、银、铜等。()半导体:指导电能力介于导体和绝缘体之间的材料称为。,集成电路器件,分立器件、光电半导体、逻辑IC、模拟IC、储存器等六大类。,1.物体分类(按导电能力),.半导体分类(按制造技术),.,5,主动轮,从动轮,二、半导体定义,电阻率介于导体和绝缘体之间并有负的电阻温度系数的物质。,除上述晶态半导体外,还有非晶态的玻璃半导体、有机半导体等。,半导体材料很多,按化学成分可分为元素半导体和化合物半导体两大类。,化合物半导体包括-族化合物(砷化镓、磷化镓等)、-族化合物(硫化镉、硫化锌等)、氧化物(锰、铬、铁、铜的氧化物),以及由-族化合物和-族化合物组成的固溶体(镓铝砷、镓砷磷等)。,锗和硅是最常用的元素半导体。,.,6,主动轮,从动轮,三、半导体的特点,指半导体材料的电阻率与温度有密切关系的性能。在室温条件下,它的导电能力只有金属的几十万分之一,但它有一个奇异的特性,就是温度升高几度,它的导电能力的变化却抵得上金属在温度降低几百度内的变化。,指半导体材料对光十分敏感的性能。半导体无光照时,不易导电;受到光照时,就变的容易导电了。,纯净的半导体材料电阻率很高,但掺入极微量的“杂质”元素后,其导电能力会发生极为显著的变化的性能。,1热敏性,2光电特性,3掺杂性,.,7,四、半导体制造,.,8,1.了解微细制造技术和常见的微细制造技术的方法。2.掌握微机电系统和纳米技术的特点。3.理解微机电系统和纳米技术的发展应用。,10.微细制造简介,任务书,本节重点,微机电系统和纳米技术的特点。微机电系统和纳米技术的发展应用。,.,9,一、微机电系统(简称MEMS),是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。,微机电系统的三个主要元件是微传感器、执行器和微能源。,1.定义,.组成,.,10,.特点,()微型化、体积小、自重轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短,可以使用在高精确度与高稳定度的机构中,如硬盘读取头的驱动系统。,()以硅为主要材料,机械、电器性能优良。,()具备批量生产的能力,可以有效的降低生产成本,提升竞争力。,()集成化。可以把不同功能、不同敏感方向的多个传感器(或执行器)集成于一体,形成复杂的微系统。,()多学科交叉。微机电系统涉及机械、制造、信息与自动控制、物理、化学等多种学科,集中了当今科学技术发展的许多尖端成果。,.,11,.微机电系统的发展目标,()可以完成机电系统所不能完成的大尺寸任务,也可嵌入大尺寸系统中,把自动化、智能化和可靠性水平提高到一个新的水平。,()通过微型化、集成化来探索新原理、新功能的元件和系统,开辟新技术领域和产业。,.微机电系统的应用,()民用领域,()军事应用领域,.,12,二、纳米技术,纳米尺寸示意图,.,13,.纳米微粒的特性,普通块状铜的熔点为1085,而20nm纳米铜的熔点降为39。,常规的氧化铝粉末烧结温度高达1800,但氧化铝纳米微粒的烧结温度可降至1150,且烧结后的密度可高达99.7%。,纳米晶体铜的强度是普通铜的5倍,作冷轧制时会出现超塑性,延伸率提高50倍,而且不会产生应变硬化。,普通陶瓷质硬而脆,但是纳米陶瓷在室温下就具有可塑性。,在高分子材料中加入纳米微粒材料所作成的切割刀具,比金刚石还坚硬。,普通金属通常导电性好,但是纳米金属微粒却趋向不导电,例如纳米铜就不导电。,.,14,.纳米技术的发展途径,()自上往下,.,15,()自下往上,就是通过控制原子、分子的排列组合而产生各种所需特性的新材料。,以碳元素为例,通过不同键连结方式可以形成金刚石和石墨等不同特性的物质,,.,16,.纳米技术的应用领域,(1)日用工业,(2)航空工业,利用纳米制件的轻质量与高强度,可增加有效载体,耗能指标降低数倍。,以纳米纤维织成的布料制作的衣服。,(3)医疗产业,当药粉的尺寸达到10nm的纳米大小时,就可以在血液中自由自在地流动,直接输送药物到生病部位作最有效的医疗。,(4)能源与环境保护,(5)半导体制造,晶圆尺寸是往大的方向发展,电路线宽则朝向小的方向发展,纳米制造过程再为半导体产业突破一大发展瓶颈。,.,17,1.了解快速成形技术和逆向工程技术。2.掌握快速成形技术和逆向工程的加工原理。3.理解快速成形技术和逆向工程的加工过程。,10.其他制造技术,任务书,本节重点,快速成形技术和逆向工程的加工原理。快速成形技术和逆向工程的加工过程。,.,18,一、快速成形技术(RP),快速成形又称为实体自由曲面成形制造技术(SolidFreeformFabrication,SSF),1选择性激光烧结(SLS),选择性激光烧结是采用激光有选择地分层烧结固体粉末,并使烧结成型的固化层层层叠加生成所需形状的零件。,CAD模型的建立及数据处理、铺粉、烧结以及后处理等。,()定义,()工艺过程,.,19,()选择性激光烧结工作原理图,.,20,2.立体石版印刷(SLA),立体石版印刷原理与选择性激光烧结相似,不同之处是照射光源以紫外光,成型物是固体丙烯酸。,工作原理图,.,21,二、逆向工程(RE),快速成形是将CA

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