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文档简介

.常用真空单位转换表葱Pa托托托勒微米汞合金mHg毫巴Mbar大气压Atm工程大气压力Am1 Pa17.510-37.510-29.8692310-61.01971051 Torr133.3211031.33321.31577910-31.359510-31 mHg0.1333210-311.333210-31.31577910-61.359510-61 mbar1027.510-17.510219.8692310-41.019710-31标准大气压=760毫米汞柱=76厘米汞柱=1.01310 5帕斯卡=10.336米水柱公斤不是单位。通常我们说的是一种非标准单位,名字是千克力/平方厘米kgf/cm 2 1标准大气压=0.1MPa兆帕=101KPa=千帕左右=1bar巴=760 mhh一个标准大气压力通常等于大约101千帕,即0.1兆帕。一个项目的大气压大约等于一公斤的力。项目大气压(每平方厘米)比标准大气压小一点的1物理大气压=1标准大气压(ATM)我不太清楚为什么会多一个工程大气压。但是,工程大气压通常是千克力等单位面积上质量力所承受的压力。标准大气压(ATM)是标准大气压,比工程大气压准确,但大致相同。除非在特定领域使用,否则不必那么精确饱和水蒸气的压力与温度的关系(摘自中原:水和水蒸气的热特性图P4-10)温度c水蒸气压力MPa相应的真空度MPa220.002640.09869240.002980.09835260.00360.09797280.003780.09755300.004240.09709320.004750.09658340.005320.09601360.005940.09539380.00620.09471400.007380.09395温度c水蒸气压力MPa相应的真空度MPa420.00820.09313440.00900.09223460.010090.09124480.01160.09017500.012340.08899520.013610.08772540.015000.08633560.016510.08482580.018150.08318600.019920.08141温度c水蒸气压力MPa相应的真空度MPa620.021840.07949640.023910.07742660.026150.07518680.028560.07277700.031160.07017720.033960.06737740.036960.06437760.040190.06114780.043650.05768800.047360.05397温度c水蒸气压力MPa相应的真空度MPa820.051330.05000840.055570.04576860.060110.04122880.064950.03638900.070110.03122920.075610.02572940.081460.01987960.087690.01364980.094300.007331000.101330温度c水蒸气压力MPa1020.107881040.11681060.125041080.133901100.143271120.153161140.163621160.174651180.186281200.19854温度c水蒸气压力MPa1220.211451240.225041260.239331280.254351300.270011320.2781311340.304071360.32291380.34381400.36138真空计算中常用的公式1,多边形定律体积v,压力p,PV=常量(恒定质量的气体,温度恒定时,气体的压力与气体的体积成反比)。也就是说,P1/p2=v2/v1)2,格鲁萨克定律当压力p恒定时,体积v与绝对温度t成正比。(v1/v2=t1/T2=常数)压力恒定的话,一定质量的气体每次升高或p下降,增加1 ,那么其体积比原来增加或减少273倍。三,查理定律气体的体积v保持不变时,特定质量的气体,压力p与其他绝对温度t成正比(P1/p2=t1/T2)在一定体积下,一定质量的气体每次温度上升或下降1 ,其压力比原来增加(或减少)1/273。4、平均自由路径:=(510-3)/p (cm)5、泵送速度:S=dv/dt(升/秒)或s=q/pQ=流量(升/秒)p=压力(土)v=体积(升)t=时间(秒)6,指南:c=q/(p2-P1)(升/秒)7、真空吸液时间:对于大气压到一期的吸入时间方程式:t=8v/s(实验式)(v是体积,s是吸入速度,通常t在5-10分钟内选择。),以获取详细信息8、保持泵的选择:s维度=s之前/109、扩散泵泵泵送速度估计:S=3d2 (d=直径cm)10、罗茨泵前级抽运速度:S=(0.1至0.2)s(l/s)11、泄漏率:q泄漏=v (p2-P1)/(T2-t1)q泄漏-系统泄漏率(mmHgl/s) V系统体积(l)P1-真空泵停时系统的压力(mmHg)P2-真空室经过时间t后达到的压力(mmHg)T-压力从P1上升到P2的时间(s)12、粗抽油泵抽运速度选择:S=Q1/p字典(l/s)S=2.3Vlg(Pa/P词典)/tS-机械泵有效抽速Q1-真空系统泄漏率(升/秒)p词典-需要实现的预真空度(支架)v真空系统体积(升)T-p达到预到达所需的时间pa-大气压力值(托特)13、前泵抽速选择:排放口压力低于大气压力的输送泵(例如扩散泵、油增压泵、Lutz泵、涡轮分子泵等)需要在工作时保持前端压力低于阈值的状态,选择前阶段泵需要排出主泵的最大气体量,根据各部分的恒定流量等,适用以下原则:PnSgPgS或SgPgs/PnSg-前泵的有效泵送速度(l/s) pn-主泵临界前压力(最大排气压力)(l/s)Pg-真空室最大工作压力(土)s-主泵运行时Pg有效的泵送速度。(l/s)14、扩散泵泵抽率计算公式:S=q/p=(kn)/(pt)(升/秒)样式:s-试验泵的进气速度(l/s) n-滴管内的油柱上升晶格(栅格)t-eupen升高n栅格所需的时间(秒)在p-pump端口附近测量的压力(土)K-滴管系数(升/秒)k=v 0 (l/n) ( 0/ m) pa vt其中v 0-滴管和真空软管的原始体积(升)l-滴管刻度部分的长度(mm)N-滴管刻度部分的晶格数(晶格)/0-油比重(克/厘米3)/m-汞比重(克/厘米3) pa-区域大气压力(土) vt-点火器刻度上一个单元的相应体积(升/格)15、旋转叶片真空泵几何抽运速度计算公式:S= Zn lkit (D2-D2)/(242104) (l/s)中心:z为转数,n为速度(转数/分钟),l为泵型腔长度,d为泵型腔直径,d为转子直径(cm),Kv为体积利用率系数(常规95%)。16,o橡胶槽深度b=0.7dd表示橡胶直径,插槽宽度c=1.6b17,方形橡胶槽深度b=0.8aa是正方形橡胶边长度,插槽宽度c=1.67b选择真空泵时,请注意以下事项:1、真空泵的工作压力必须满足真空装置的极限真空和工作压力要求。例如,真空镀膜需要110-5mmHg的真空度,可选真空泵的真空度至少为510-6mmHg。一般来说,泵的真空度比真空装置的真空度高一半到一级。2、正确选择真空泵的工作点。每个泵都有一定的工作压力范围,例如扩散泵为10-3-10-7 mmhg,在这样的大压力范围内,泵泵的抽速取决于压力,稳定的工作压力范围为510-4-510-6 mmhg。因此,泵工作点不能在10-8mmHg下工作很长时间,必须在此范围内选择。钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但工作压力必须小于110-5mmHg。3、真空泵在工作压力下,必须能排出真空设备工艺中产生的总气体量。4、真空泵的正确组合。真空泵具有可选泵,选择其中一个泵不能满足泵要求,多个泵必须组合才能满足泵要求。钛升华泵对氢有较高的抽运速度,但不能抽运氦,而三极溅射离子泵(或二极不对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽运速度,将这两者结合起来,真空装置可以获得更好的真空度。另外,还有在大气压下不能工作的真空泵,需要提前真空。有些真空泵出口压力低于大气压力,需要前泵,所以都要组合使用泵。5、真空设备对油污染的要求。如果设备严格要求无油,则应选择水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等多种油泵。如果要求不严格,可以添加泵和冷却陷阱、挡板、油陷阱等防止油污染的措施,以满足清洁真空要求。6、了解包含无冷凝液蒸汽、无颗粒灰尘、腐蚀性等的泵送气体成分。选择真空泵时,要知道煤气成分,选择适合挑出来的煤气的泵。如果气体包括蒸汽、粒子和腐蚀性气体,则应考虑在泵的进气口线路上安装冷凝器、除尘器等辅助设备。7,真空泵排出的油蒸汽对环境的影响。如果环境没有污染,可以选择没有油的真空泵,或将油蒸汽排放到室外。8、真空泵运行时产生的振动对工艺和环境没有影响。如果过程不允许,则应选择没有振动的泵或采取防止振动的措施。9、真空泵的价格、运行和维护费用。水环真空泵的选择一、确定泵类型泵的类型主要取决于运行所需的气体、真空度或排气压力。泵工作时要注意以下两个方面:必须在尽可能有效的区域内工作,即临界真空度或临界排气压力的区域内。应避免在最大真空度或最大排气压力附近工作。在此区域内运行不仅效率很低,而且运行非常不稳定,容易产生振动和噪音。对于真空度高的真空泵,在这个区域内工作,经常发生空化,产生这种现象的明显标志是泵内的噪音和振动。气穴可能损坏泵体、叶轮等零件,导致泵无法工作。根据上述原则,泵所需的真空度或气体压力不高时,可以在一级泵上优先选择。真空度或排气压力高的情况下,单级泵不满意,或者泵真空度高的情况下,大气量应该更多。也就是说,如果您希望性能曲线在真空度高的情况下变得更平坦,可以选择两级泵。如果真空度需要- 710mmHg以上,则使用可选水环-大型气泵或水环-罗茨真空装置作为真空装置。如果仅用于真空泵,建议选择单作用泵。因为单作用泵结构简单,易于制造和维护,在高真空状态下防止汽蚀效果好。如果仅用作大气量小的压缩机,则选择双作用泵更为合适。双动泵因为空气量大,体积小,重量轻,径向力自动平衡,轴不易产生疲劳断裂,泵寿命长。第二,根据系统所需的空气量选择真空泵首次选择泵类型后,对于真空泵,必须根据系统所需的风量选择泵模型。真空泵的抽速选择及吸速计算可以参考我公司网页。收集了以下特性,以帮助用户在有各种类型的水环真空泵和压缩机的情况下进行选择代码名称主要特性极限真空度MmHg工作真空度MmHg泵送速度范围M3/min密封型Sk国内设计一段水环真空泵,结构简单,维护方便。目前国内主流低真空水环真空泵。-700-300至-6500.15-120半斤,机械密封2sk国内设计的双级水环真空泵类似于两个SK水环泵串联使用,单级水环泵在真空高真空状态下具有更快的特性。目前国内主流水环真空泵。-735-300至-7001.5-30半斤,机械密封2BV西门子的先进技术,泵同轴,结构紧凑,效率高,真空高,性能稳定,将逐步取代SK,2

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