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文档简介

1、mSAP产品流程概要,oct.2016,2,内容概要,mSAP概要2.mSAP流程概要3.XXmSAPProject,3 .mSAP概要,mSAP是什么,mSAP是形成细线路的流程的简称,英语全名是mod 与HDI的主流全板电镀DES蚀刻的减成法工艺相比,使用3um铜箔图案电镀快速蚀刻的mSAP工艺还可以制作40/40um以下的极细线。 4、mSAP工艺的优点和缺点比较,5、mSAP :修改的semi-additive process改良型半加成法,HDI产品的线宽比减成法小,各层能够进入的线路多,布线密度高,产品的层数减少重量轻,总板厚薄,布线密度高,传输线短; 使产品更轻、更薄、更短、更小! mSAP产品的特色,6,页6,外层,内层, PTH水平电镀、显影/脱膜/蚀刻(DES )、工具开孔、机械开孔、激光开孔、冲压曝光DES、PTH水平电镀、全面电镀、EING、SolderMask、Routing、visual inspection packing shing 全面电镀,压膜曝光,PTH水平电镀,脱膜快速蚀刻,AOIVRS,激光钻头,压膜曝光显影,图案电镀,Subtractive,mSAP,压接,AOIVRS, 10L内层的各层可根据客户的线宽需求选择减成法或mSAP工艺,10LELIC制作工艺-Subtractivev.s.mSAP,7,PTH水平镀铜,全面填埋镀层,压膜,曝光(负片),DES膜除去, PTH水平铜镀层、压膜、曝光(正膜)、图案镀层、Subtractive,mSAP,KeyMessage:1 .曝光差异:以往的减成法是将负膜曝光,mSAP采用正曝光。 2 .电镀填充孔的不同:减成法采用全板填充孔电镀,全板面铜厚整体增加的mSAP进行图案电镀,仅将必要的图案部分镀得较厚,填补盲孔。 3 .蚀刻的差异:在减成法DES工艺中,蚀刻的铜厚度是基板PTH水平镀铜全板镀层的合计铜厚度,mSAP仅迅速地蚀刻“极薄铜薄PTH水平镀铜”的铜厚度,蚀刻后的线宽损失少,因此制作精细线、DES蚀刻、快速蚀刻、垂直显影、DES显影、减成法工艺与mSAP工艺的比较、8、mSAP工艺的关键技术、9、材料、烘焙、内钻、mSAP膜去除、钻头、冲压、mSAP快速蚀刻、外层砷化、外层电镀定深前倾型、成形、外观检查、OSP、外观检查、包装、入库、L4-7/L

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