YST27-1992

中华人民共和国有色金属行业标准晶片表面上微粒沾污测量和计数的方法YSIT27一92主题内容与适用范围本标准规定犷应用显微技术，测量在平坦与不平坦的表面上沾有粒径大于5PM的微粒的方法，并统计一定粒径范围内的微粒数量。本标准适用干分析小型电子器件零部件的表面，也适用于检验硅片表面。2术语21沾污微粒PARTICULATECONTAMINANT用超声清洗可除去的表面附着的微小固体物质22粒径PARTICLESIZE微粒在一条特定直线上的最大投影尺寸。23纤维物FIBERS长度在100IM以上，长宽比大于10的微粒24平坦表面PLANARSURFACE在用显微镜的最高放大倍率下，受检表面轮廓不超过该显微镜景深的表面。反之为不平坦表面3试剂和材料3，净水经。45DENT滤膜过滤的蒸馏水或去离子水。32异丙醇CCH,CHOH化学纯，经045PM滤膜过滤。33P肪酸烷醇胺聚氧乙烯即非离子表面活化剂，经。45YM滤膜过滤。34硅脂35平板玻璃片50MMX75TURN16微孔滤膜膜径50M，孔径0451，用混合纤维素醋制成，黑色，无荧光，标有栅格。滤膜有效I积，6CM，含有100个308TURNX308M的栅格元。37T料膜经。45TXM滤膜过滤的异丙醇清洗。4试验仪器和设备41显微镜配有45100X放大倍率的光具组，载物台配有螺旋测微装置42物镜测微尺为标准刻尺，最小分度为。01MM,43目镜尺选刻尺总长5MM，最小分度为。05TURN44超声波清洗槽45抽气机采用水流抽气机，其压力不大于80KPA46杯式过滤器过滤器由器盖、贮液杯、“O”形环、网板、集液漏斗和夹钳组装而成，如图1所示。中国有色金属工业总公司199203一09批准1993一01一01实施YS/R27一92器盖贮液杯夹钳环膜板型滤网O润斗图1杯式过滤器示意图47抽滤瓶500M1。48贮存容器采用玻璃培养皿。49玻璃烧杯500M工410移液管。411不带钩、槽的平头镊子。5试样制备5门平坦表面平坦表面试祥直接放置在显微镜载物台上进行微粒测量和计数52不平坦表面521用含有非离子表面活化剂的5060C热水超声清洗玻璃器皿、移液管、贮存容器和过滤器，再用净水与异丙醇漂洗，待用522经净水冲洗后的滤膜，放入净水中，浸泡不少于8HO523滤膜再用净水冲洗2MIN，平铺在过滤器网板上，放入贮存容器内，加盖自然干燥30MIN以上，或于6070C强迫干燥。然后放在显微镜载物台上，测定滤膜的背景，该值要在显微分析的总数中扣除。当背景值与显微分析的总量处在同一水平时，则要重新采样，强化O膜清洗，降低背景。524滤膜经背景测定后，用净水冲洗2MIN，按图1要求接入抽气系统。525在500ML烧杯内放入200M1净水，加入。1ML一作离子表面活化剂，摇匀，盖上塑料膜，加温到5060C。526将试样放入烧杯内，超声清洗5MIN,52了从烧杯中取出试样，立即将水倒入过滤器贮存杯，试样贴上标签保存528烧杯壁用50ML净水冲洗，加入贮存杯中，放下过滤器的盖板，进行减压抽滤529过滤结束后取出滤膜放入加盖容器内自然干燥30MIN以上，或于6070C强迫干燥5210试样表面微粒转移工作完成后，滤膜移入显微镜载物台V，按第6章进行微粒测量和计数若滤膜出现翘曲，可将滤膜先移置在抹有薄层硅脂的50MMX70MM玻璃片上或用玻璃片压在滤膜LYS/T27一925211的HL分比第一次试验时，要将527条保存的试样，重复526条至5210条操作测定去除可动微丰6测量步骤61测量在层流罩内进行。62按粒径纤维525M,25100PM,100PM三个范围的次序计算粒子数，片作好记录63选定目镜和物镜后，用物镜测微尺对目镜尺上的刻线定标64调节物距和光强，使被测表面上附着的微粒，经物镜形成清晰的实像6，5先横向后纵向有次序地移动载物台，使显微镜的有限视区扫遍试样表面或滤膜有效面积区对V径测量和计数66若估计某粒径范围的粒子总数为501000,则在滤膜上任意选择20个方格元，测出各方格兀F“7粒子数，将其相加求和再乘I5倍，就得出试样表面附着的该粒径范围的粒了总数。67若估计某粒径范围的粒子总数为10005000，则在滤膜上任意选择1。个方格元测出各方格元的粒子数，将其相加求和再乘L10倍，就得出试样表面附着的该粒径范围的粒子总数。68若估FL某粒径范围的粒子总数超出5000，则在滤膜上任意选择10个方格元，测出备个方格元内某局部区域附着的粒子数选择局部区的面积大小，以其上存在粒子数为50左右为准，将其相加求和再乘上滤膜有效面积与检测面积之比值，就得出试样表面附着的该粒径范围的粒子总数了精密度木方法单个实验室测量精密