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1、实验报告学院： 专业： 班级：姓名学号实验组实验时间10/5/12指导教师成绩实验项目名称扫描电镜实验目的1） 结合扫描电镜实物，介绍其基本结构和工作原理，加深对扫描电镜结构及原理的了解。2） 选用合适的样品，通过对样品形貌衬度和原子序数衬度的观察，了解扫描电镜图像衬度原理及其应用。实验要求1） 简述扫描电镜的基本结构及特点。2） 举例说明扫描电镜表明形貌衬度和原子序数衬度的应用。实验原理在扫描电镜中，成象的信息主要是电子信息，根据近代的电子工业技术水平，即使高速变化的电子信息，也能毫不困难的及时接收、处理和储存，故可进行一些动态过程的观察，如果在样品室内装有加热、冷却、弯曲、拉伸和离子刻蚀等

2、附件，则可以通过电视装置，观察相变、断烈等动态的变化过程。用扫描电镜观察厚块试样更有利，更能得到真实的试样表面资料。扫描电镜主要有真空系统，电子束系统以及成像系统。真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。电子束系统由电子枪和电磁透镜两部分组成，主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。电磁透镜：热发射电子需要电磁透镜来成束，所以在用热发射电子枪的扫描电镜上，电磁透镜必不可少。通常会装配两组：汇聚透镜、物镜（物镜为真空柱中最下方的一个电磁透镜，它负责将电子束的焦点汇聚到样品表）。电子经过一系列电磁透镜成束后，打到样品上与样品相互作用，会产生次级电子、背散射电子、欧革电子以及

3、X射线等一系列信号。所以需要不同的探测器譬如次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。工作原理：右图是扫描电镜的原理示意图。由最上边电子枪发射出来的电子束，经栅极聚 扫描电镜原理示意图焦后，在加速电压作用下，经过二至三个电磁透镜所组成的电子光学系统，电子束会聚成一个细的电子束聚焦在样品表面。在末级透镜上边装有扫描线圈，在它的作用下使电子束在样品表面扫描。由于高能电子束与样品物质的交互作用，结果产生了各种信息：二次电子、背反射电子、吸收电子、X射线、俄歇电子、阴极发光和透射电子等。这些信号被相应的接收器接收，经放大后送到显像管的栅极上，调制显像管的亮度。由于经过扫描线圈上的电流是与显像管相应的亮度一一对应，也就是说，电子束打到样品上一点时，在显像管荧光屏上就出现一个亮点。扫描电镜就是这样采用逐点成像的方法，把样品表面不同的特征，按顺序，成比例地转换为视频信号，完成一帧图像，从而使我们在荧光屏上观察到样品表面的各种特征图像。实验仪器电子扫描显微镜、试样、导电胶实验步骤一、 制作好试样、打开电子扫描电镜二、 用导电胶固定试样在载物台上三、 放好试样后，抽真空，调整试样的距离、扫描的衬度和最佳倍数四、 选择不同倍数，照像实验数据实验总结可以不同程度的看到试样的外观形貌和表面组织，对断裂的不同区域可以看清楚。纤维区、放射区、瞬断区三个区

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