SEM操作规程范本

1、JSM-7800F扫描电镜操作规程1、确认Maintenance界面内的GUN/AC内GUN参数（电流值稳定）和SIP1和SIP2的真空度正常方可运行！ 2、选择正确的样品座放置样品并固定，样品高度不要超过样品座上方 10mm。注意：接触样品座，取放样品时务必戴手套操作！3、装样品前必须确认高压处于 关闭状态。4、点击SEM应用程序软件中 Specimen窗口的Exchange Position按钮，使样品交换室控制面板lEXCH POSN 灯点亮，并确认样品台处于样品交换的位置（X: 0.000mm, Y: 0.000mm，Z=40.0mm, R：0.00，T: 0.00)SEM monit

2、orEXCH POSN- LampSpecimen exchange chamber panelFig. 4*7 Spec, Exchange button5、按下VENT按钮对Exchange chambe放气，直至 VENT常亮, 表示样品交换室处于大气状态。6、松开交换室锁扣，打开样品交换室，将已固定好样品的样品座,按箭头方向置于样品座夹具内。7、完全关闭样品交换室门，扣好锁扣8按下|EVAC |按钮，开始抽真空，|EVAC闪烁，待真空达到要求时，Evac I常亮。9、手持样品交换杆，将样品杆放下至水平并向前轻推，将样品Holder 完全送进交换室中，注意当|hldr灯亮起后，再完全拉出

3、样品杆， 垂直立起放置，此时样品已正常放置于样品室内。注意：在拉动样品杆时，若有警报声，应立即停止操作，将样品杆归位，检查操作步骤是否正确。10、在SEM应用程序软件界面正确选择所使用 Holder的类型，输入 样品高度值，点击OK确认。11、输入Z值10mm。11、查看样品室真空度，确认真空度小于 5.0 X0-4 Pa时才可开始进 行图像操作。12、观察样品，获取图像。（1）点击ON，打开高压，根据样品选择所需的电压。（2）如果有多个样品，按下|LDF |按钮切换到低倍模式,选择要观察 的样品位置，选好后按|ldf按钮切换回高倍模式。（3）确认Sca nning Mode在 Quick V

4、iew状态，寻找样品表面的明显特 征。先切换到较高倍率，转动Focusl的旋钮进行聚焦，X、M散光像 差校正旋钮进行像散调整，调整 亮度与对比度（可按ACB自动调整 或手动调整），直至样品表面特征的图像清晰为止（低倍率时，利用 AUTO I键进行自动对焦）。然后切回所需之倍率进行图像观察。a）如果聚焦时出现图像是模糊的，需要进行电子束对中调整。b）按键盘上IRDC IMAGE J键，打开调整窗口，按键盘上IWOBB 键，此时图像会来回摆动，旋转键盘上 X、丫调整旋钮使图像停止摆 动（X方向摆动调整X旋钮，Y方向摆动调整Y旋钮）。c）关闭|WOBB|键，此时STIG键自动亮，分别旋转键盘上X、Y

5、 调整旋钮将图像调整清晰。d）继续放大倍数，转动|FOCUS|旋钮进行聚焦，如图像不清晰， 重复c步直到将图像调整清晰。e）如果图像已经调整好，按键盘上|RDC IMAGE ”键关闭调整 窗口，进行全屏显示。（4）图像聚焦像散调整完毕后，按下|fine view 键及freeze |键 扫描图像并定格，也可按下 Photo |键获取最终图像，输入样品名称，选择文件类型和文件保存位置，点击“ Save”行保存。（5）按“Freeze ”键取消锁定，按“ Quick view”进行快速扫 描，为下一次调整图像做好准备。13、背散射（BEI detector）观察1）点击Exchange Posit

6、ion|，|EXCH POSN灯同步亮，样品台回到样 品交换的初始位置。2） 点击OFF，关闭高压，确认高压处于关闭状态！3）在仪器状态区域将BEI勾选，BEI detector自动伸入样品室。4）点击On，打开高压，根据样品选择所需的电压。5）找好要分析的样品位置，调整好倍率，聚焦及像散。6）在图像显示区域选择图像信号为 BEC7）按Fine view2获取图像，按下PHOTO I键获取最终图像，选择“Save模式进行保存。8）使用完成后，先关闭高压，再将BEI打勾取消（即表示BEI detector 退回）。14、结束观察：1）将放大倍率调至最低倍。2） 点击OFF，关闭高压，确认高压处于

7、关闭状态！2）点击软件中 Specimen窗口的Exchange Position |按钮，|EXCH pOSN灯同步亮，样品台复位，处于样品交换的初始位置。3）利用样品交换杆将样品Holder拉出样品交换室。4）按下Vent |键放气，直至Vent |常亮。5）打开样品交换室，按箭头方向取出样品 Holder及样品，并检查样 品交换室是否正常。6） 关闭样品交换室并按|EVAC I抽真空，待|EVAC I灯不再闪动后，观 察结束。注意事项1、接触样品座，取放样品时务必戴手套操作，并确保样品在样品台上固定牢固；样品柱高度最好不要超过样品座上方10mm样品高出样品台时，不要将Z值输入过小，造成镜

8、头碰撞样品台。2、注意：在拉动样品杆时，若有警报声，应立即停止操作，将 样品杆归位，检查操作步骤是否正确。3、拉出拉杆时，切记一定要将拉杆完全拉出后才可以立起，否 则样品杆会弯折变形。4、实验完成后只需关闭计算机显示器，其他任何页面及装置不 予关闭。样品操作按钮介绍幔再描扌蝴。有两档，每挟 下即切聯一次。茬描速度 诰定芝击按钮“ 口 小窗口按詛。屏慕程摆器调整按詛。 中央出现14犬窗口的小窗口 Q消橡散按齟。按下羌闭 调整蔚口，谓整龍祖切 换酋消像做戲能。试大倍撤调整既钮GCMTItWTO-NIGKTKSS快扫描按齟。有商档, 毎扌安一下圍切换一 恥打描速度设定点 击技钮“ 口叫島度调节按钮低倍摸式切换桜齟* 按下即切頼到低倍模式，再次按下即赶原自动蔑度对比度调 按钮。按钮按下打开调1 整窗口 0对比度调节按粗。IHGJllFICATlOM=自刼聚焦按由*调整矗钮样功能陋调整窗口中的 邈棘問而甕化，艾、V分别写 调整窗口中的K、Y信相対应。圏標喷定按齟。 功能设定点击按 钮屆按憫。一般勻 昭相机相酎使用。Specime n excha nge chambeK样品交换室