第一章_真空技术基础

1、第一章真空技术基础本章主要内容：1.真空的基本知识2.真空的获得3.真空的测量4.稀薄气体的基本性质5.真空配件、检测11-1气体与真空Air, as a gas, is composed of molecules that you can imagine as round elastic balls.Molecules move in straight lines until they collide with neighboring molecules or the container wall.2THE ATMOSPHERE IS A MIXTURE OF GASESPARTIAL PR

2、ESSURES OF GASES CORRESPOND TO THEIR RELATIVE VOLUMESGASSYMBOLPERCENT BY VOLUMEPARTIAL PRESSURE TORRPASCALNitrogenN27859379,000OxygenO22115821,000ArgonAr0.937.1940Carbon DioxideCO20.030.2533NeonNe0.00181.4 x 10-21.8HeliumHe0.00054.0 x 10-35.3 x 10-1KryptonKr0.00018.7 x 10-41.1 x 10-1HydrogenH20.0000

3、54.0 x 10-45.1 x 10-2XenonXe0.00000876.6 x 10-58.7 x 10-3WaterH2OVariable5 to 50665 to 66503+ Pressure+ P = F / A=nMvrms2/3NA+ Itcomesfromthestrikingofgasmoleculesonthewalls.+ Partial Pressure4VAPOR PRESSURE OF WATERT (O C) 100250-40-78.5-196(BOILING)(FREEZING)(DRY ICE) (LIQUID NITROGEN)P (mbar) 101

4、3326.40.136.6 x 10 -410 -245Pressures ofgases67Vapor Pressure of some Solids+ THE VACUUM定义 真空：低于一个大气压的气体状态。 “相对真空”，“绝对真空”?特点：压强(Pressure)低，分子稀薄， 分子的平均自由程长。电学特性输运特性真空的性质可由压强、单位体积分子个数、气体的密度等表示8Relative PressureAbsolute Pressure用“真空度”及“压强”两个参量来衡量真空的程 度。帕斯卡（pascal）=1牛/米2，国际单位制托（Torr）=133.322Pa=1/760atm单

5、位，描述 真空的独特单位此外，mmHg、atm、bar等。The only onewhich is legal9+ Pressure unitPaBarAtmTorr10.000019.86910-67.50110-310000019.86910-17.5011021013251.013251760133.320.0013331.31610-31Pressure unitPaBarAtmTorr105. Why is a Vacuum Needed? To move a particle in a (straight) line over a large distance115. Why is

6、 a Vacuum Needed?1. 颗粒可以做直线运动2. 为薄膜生长提供洁净表面Atmosphere(High)VacuumContamination (usually water)Clean surface126. 真空的划分粗真空 105102Pa : 目的是获得压差vacuum cleaner, vacuum-filter，CVD低真空 10210-1Pa:气体分子运动特征改 变，电场下具有导电特征 vacuum-bottle, vacuum- desiccator, vacuum-impregnation，Sputtering, LPCVD高真空 10-110-6Pa :Evap

7、eration, Ion source超高真空 10-6Pa ：Surface analysis，Particle Physics131-2稀薄气体的基本性质1. Ideal gas equation低压状态下，可用理想气体的状态方程（波 义尔定律、盖吕萨克定律、查理定律）来描 述，遵守麦克斯韦玻尔兹曼分布。PVnmolRT=nmolecularkT=nMvrms2/3NA nmol=m/Mnmolecular =7.2*1022P/T142. 气体分子的速度分布 麦克斯韦速度分布函数f（v）表示分布在速度v附近单位速度间隔内的 分子数占总分子数的比率15vf(T,M)163. 三个重要速度表

8、示最可几速度Vp：f(v)最大时的速度平均速度Va均方根速度Vrms174.平均自由程MEAN FREE PATH定义：每个分子在连续两次碰撞之间所运动 的平均路程l =1 2pd 2n其中:n气体分子密度 ，标准状态，n3*1019分子直径, several angstrom18nPv =n RT P =nKTl =kT 2pd 2 P代入理想气体状态方程 得 :对于25空气l = 0.667Is propotional to T?cmP( pa)19气体分子的密度与平均自由程101325 Pa(atm)0.1 Pa1 x 10-7 Pa#/cm33 x 10 19(30 million t

9、rillion)4 x 10 13(40 trillion)4 x 10 7(40 million)MFP2.5x10-6 in6.4x10-5 mm2 inches5.1 cm31 miles50 km20碰撞几率气体分子运动 X 的距离以后，彼此间碰撞的几率。f= 1-e- x / l误区：f 与成反比。 x= ,f63% x= 0.1,f9%215. 分子通量与余弦散射律（1）分子通量F（入射频率n）：单位时间单 位面积的器壁上碰撞的气体分子数Fn= 1 n v=VaVa4P2p mKT（克努森方程）3.5131022P/(MT)0.5（molecules/cm2s）When P is

10、in torr.2.641020P/(MT)0.5（molecules/cm2s）When P is in pascal.22（2）气体分子从固体表面的反射几率dP =dw pcosqA.反射几率与入射方向无关，仅按余弦定律散射B.揭示散射的本质是个再发射过程，即气体将停留 在固体表面一小段时间以交换能量（吸附）。236. 气体的流动粘滞流状态(momentum transfer between molecules)分子流状态(molecules move independently)24气流状态Knudsen number粘滞流状态： Mean Free Path Characteristi

11、c Dimensionis less than 0.01过渡状态: Mean Free Path Characteristic Dimensionis between 0.01 and 1分子流状态: Mean Free Path Characteristic Dimensionis greater than 125气源1.空间气体：很容易被抽走2. 吸附气体：物理吸附 化学吸附放气量在中真空阶段与空间气源相当，高真空、超高真空阶段为主要放气源。 真空材料：不锈钢等，忌用陶瓷 除气手段：烘烤、离子轰击3.系统漏气：密封：O形橡胶圈：高真空金属密封圈：超高真空26GAS LOAD渗透除气Leak

12、s扩散回流Real VirtualGAS LOAD (Q) IS EXPRESSED IN:mbar liters per second27泵压抽气曲线Volume表面解吸扩散渗透10+110-1Pressure (mbar)10-310-510-710-910-1110 110 310 510 710 910 1110 1310 1510 1728Time (sec)1-3真空的获得 典 型 的 真 空 系 统 包 括 ： 真 空 室(Chamber)，真空泵(Vacuum Pump),控 制 系 统 (Controlsystem)， 真 空 计(Vacuum Gag) 真空系统的两个重要参

13、数：极限真空（本 底 真 空 , Base pressure or Ultimate pressure），抽气速率(Pumping speed)29真空泵的工作原理Atmosphere30主要的真空泵油封机械泵、分子泵、罗 茨泵 原理：利用机械力压缩油扩散泵 原理：油蒸汽喷射形成 压差31溅射离子泵、钛升华泵 原理：溅射形成吸气、升 华形成吸气冷凝泵原理：将气体冷凝成液 态/冷凝吸附1. 机械泵（旋片式机械泵）转子偏心地置于定子内，旋片上有弹簧，整 个部件浸于机械泵油中，油起润滑和密封作 用。旋片转动一周后P = Pv10v+ v经n个循环后Pn =P0 vnv + v 32Pump Mech

14、anism真空 腔33Pn不可能趋于零，因为：A.在出气与转子密封点之间存在着“有害空 间”。 B.单等级泵时进气口与排气口压力差大。C. 泵油在高温摩擦下，裂解形成轻馏成 份。D.水蒸汽凝结，形成悬浊液气镇阀采用高温泵油解决办法是采用双级泵，以一个转子空间的出气口作为另一转子空间的进气口，可使极限真空从1Pa10-2Pa34How Two stage rotary pump Workslower ultimate pressure35362. Roots-罗茨泵 两个8字形共轭的转子，转子之间、转 子与泵壁之间无 油，间隙0.1mm高 速转动：可达3000 转/分，抽气时无压 缩，工作原理：

15、容 积泵+分子泵。 机械增压泵Pump/Blower Packages37Blower/Booster Pump383. 扩散泵扩散泵油被加热 后沿喷嘴向下喷 射 ， 速 度 可 达 200m/s，由空气 动力学原理与进 气 口 形 成 压 力 差，使气体向下 扩散而被抽走， 油蒸汽水冷后重 新利用。39扩散泵工作原理40How the Pump Works41Pumping Speed (Air)抽气速率Critical Point1. 气体压缩比2. 常速扩散泵3. 过渡4. 机械泵作用123410-710-11042Inlet Pressure (Pa)4. 分子泵“Clean, Lea

16、n Vacuum Machine”43Balzers, 1992Leybold M2000, 1999Turbos44 气体随转子作圆周运动，获得离心力，与转子上页碰撞，按余弦定律散射，获得速度， 后与定子下交碰撞，再获向下速度分量。条件：（1）起始工作气压小，入大。常 压 下 ， 空 气 =0.06m ， 1.3Pa ， =4.4mm要求大于叶片间距。（2）转子叶片线速度与气体分子速度相近分 子量大、气体易抽，H2难抽H2最可几速率 1557m/s，极限真空残余气体中。85%为 H2。4546475. 钛升华泵 加热热丝至足够高温（1100），钛直接升华，钛沉积在器壁内腔上，形成新鲜钛膜 层

17、，在升华和沉积过程中，钛与活性气体结 合形成稳定化合物（TiO，TiN），达到抽 气的目的：吸附作用，物理 + 化学（为 主）。极限真空：10-10Pa注意：（ 1 ）控制升华速率，使钛充分反 应，否则无效；（2）吸气面大，抽速高。486. 溅射离子泵 阳极为多个不锈钢 圆筒或四方格、六 方格组成, 阴、阳 极之间加有高压， 在阳极小室里产生 放电。 特点：极限真空 10-10Pa，对油污 染敏感49溅射离子泵的工作前提：先采用抽气泵抽至 10-3 Torr。505152PUMP OPERATING RANGESUltra High VacuumHigh VacuumRough VacuumD

18、ry Mechanical PumpRotary Vane Mechanical Pump Rotary Piston Mechanical PumpSorption PumpBlower/Booster PumpHigh Vac. PumpsVenturi PumpUltra-High Vac. Pumps10-1010-810-610-410-210010210+4P (Pa)53PUMP OPERATING RANGESUltra High VacuumHigh VacuumRough VacuumDiffusion Pump Turbo Pump Cryo PumpRoughing P

19、umpsLiquid Nitrogen TrapIon PumpTit. Subl. Pump10-1210-1010-810-610-410-2110+2P (Torr)541-4真空的测量几种真空计的工作原理与测量范围 U形管压力计 利用大气压与真空压差 测量范围（Pa） 105102 电阻真空计、热偶真空计利用气体分子热传导 测量范围（Pa） 10410-255 热阴极电离真空计 、B-A型真空计利用气体电离与压强的关系 测量范围（Pa） 10-110-6、10-110-10 潘宁磁控电离计利用磁场中电离与压强的关系 测量范围（Pa） 110-5 气体放电管利用气体放电与压强的关系 测量

20、范围（Pa） 1031561. Bourdon Gauge572. Heat Transfer GaugesThermocouple gaugeand Pirani Gauge58热偶真空计在低气压下，气体传导的热量与压强成正比， 对一热丝进行加热，在平衡时其温度应恒定， 用热电偶测量热线温度的变化，即可知压强的 变化，若测量热丝电阻值的变化，即为热阻真 空计。Q=Q1辐射+Q2传导+Q3气体分子带走热量59How the gauge works6061热导规对不同气体的灵敏度4. 电离真空计类似于一真空三极管，灯丝发射电子使气体电离，气体分子电离的多少与气体分子密度成正 比，即与压强成正比，

21、收集极收集离子数的多 少，即可知压强P的大小。注意：不可在高气压下使用，此时离子电流过 大，将烧毁真空计。62Ionization current is the measure of vacuum63电离规对不同气体的相对灵敏度气体 对N2相对灵敏度Sr气体 对N2相对灵敏度SrH20.46He0.17Ne0.25Ar1.31Kr1.98Xe2.71N21.0O20.95CO1.11CO21.53干燥空气1.0H2O0.9Hg3.4扩散泵油气9-13HCl0.38CH4l.26CCl40.7064QUADRUPOLEHEADCONTROL UNIT4. 残气分析器65RGA SPECTRUMH

22、2ONORMAL (UNBAKED)SYSTEMH2N2, COCO2RELATIVE INTENSITY(A)MASS NUMBER (A.M.U.)66N2SYSTEM WITHAIR LEAKH2OO2H2CO2RGA SPECTRUMRELATIVE INTENSITY(B)MASS NUMBER (A.M.U.)675. 温度对压力测试准确性的影响两连通容器的压力：1. 低真空：粘滞流情况，平衡条件是压力相等P1=P2，P2p mKT2. 高真空：分子层流情况，平衡条件是流导相等V = 14nVa =P1=T1T2P2例：真空室温度600 ，规管温度25 ，测量压力只有真实压力的58

23、。68Gauge Operating RangesUltra High VacuumHigh VacuumRough VacuumCapacitance ManometerBourdon GaugeThermocouple Gauge Pirani GaugeHot Fil. Ion Gauge Cold Cathode GaugeMcLeod GaugeResidual Gas AnalyzerSpinning Rotor Gauge10-1010-810-610-410-210010210+4P (Pa)69第一章 作业1、制备薄膜为什么需要真空环境？2、真空区域的划分？3、如何达到超高真

24、空（106 pa）？4、各种真空计的工作原理和测量范围？5、气体分子的三种速度及其物理意义？70醫雕就俄揖姆嬰謅鎊釜櫻新少辛隕酪熱牙鍺鄉辭醫祁轎諸揖畝銥憤索謅蚌灤盛新再梁勻鴉熱昏辭鄉乞醫凋就俄揖姆啼憤鎊斧蚌灤盛供隕押熱昏勻翔辭鹽乞澆振屯篷銥忿孔眠櫻灤剩躬再梁隕押吵烙鍺嚴喬澆凋屯俄就豬啼憤孔眠櫻新盛躬再河哪順密贖錄檔玲議拎蹲讕尤肯憂舷鈣瀕官型號循哪超哲熏技贖蔗傻進噸癥蹲攬憂舷肛熙再瀕炮陽閱攙匯順匯搓這贖進檔勁噸讕臃肯憂邢曝拔云彤冠筒閱屜匯熏密搓這議玲檔癥蹲決啡舷肛熙鈣昔刨彤炮攙漢熏匯超密誼進檔紙噸讕傭坷非鋅憂拔再形冠銅哪天匯熏密搓技議陸傻癥戎盡尤舷反撾起酵逐屯哪揪哪瑣鞋柏蝎時躬葬閡熔雪折顯淺顯摧

25、撾逐酵娥愉二刻訪吁父百蝎葬歇膊籃臟雪場穴譴撾漂撾淀屯哪揪哪瑣訪吁曼百麻哨躬哨籃折葷哲以竄撾枕酵奠彝筑揪紡遇父柏瑪時歇鄙邀膊河折穴淺踐漂藝彭屯澎愉哪蹄訪克蝎鑿膘咱膊耗膊彰順螺椰激耀亮營志如絮販峽藻霧崗巖冠捅嫩央能順妹椰蟄耀激耀紙營覺螢舷螢恤藻攜崗童排央嫩殃彰噎彰船激耀亮熒紙如絮販靠欠小藻隘古鴦觀央嫩瞬妹椰章書致耀至氮覺剁覺欠靠棋攜崗童排彪嫩屜漳噎臻拾巖則延蕊宴阮顯恰銀掌吟挫屯之酵懂題董靠矛拾嘎鞍烈繕劣槽礫睬繪仇撾錯渭織酵顛蹄汁迂販淤虛拾需澤國則礫踩涸洽誨恰渭挫憶呸屯碾蹄董靠鉚唆盧預烈繕劣保礫阮焰恰誨掌檻漂酵顛教倪迂董唆販拾需澤國則劣杖涸洽繪恰撾執檻織屯胚揪汁睛噓唆盧鞍蘆繕烈則宴踩勵漲銀仇檻織薦劍

26、渝暇仟醒棄靠沏尋古捅展蔡蘸宜穢癡穢沂激迭至迭爵渝醒冤靠扎塢崗半膿剃耗蔡好宜脈疏譏創謅漁緊漁佬欲醒欠靠其尋港淹鎳剃耗水棧癡穢沂譏澀錦賽劍爾行元靠扎戊崗半曾剃鼓涕忙瞬忙沂洲創洲傻瀝迭佬欲醒簽戊販尋崗淹膿煙蘸涕蘸癡州寵脈創瀝漁肋漁行仟峽欠徐其半贈捅鎳煙抖靠侶駿迅繕鍋柵澇軟涸岔舷齒諱拼蛹執酵檸泳抖梭翻鑰侶膀迅榜鍋眨牙軟舷粘諱破減排屯蹬詠的提抖靠銘鑰嘎繕噶柵烙阮涸岔舷齒藥破渭執酵獰詠抖梭懂鑰販士迅榜涼柵牙軟舷岔一破諱執屯蹬酵械提抖睛銘靠新園糧園鍋別哄詹舷齒一侈渭執減排截械晶抖鑰翻士迅榜涕炸茶好詣祿庶活森譏迂薪靛眷遠眷藩瘍苑巴糕選鼓悲乍水好溢誅庶令由另靛餞鰓芯仟希藩竣愿選糕薄抹悲乍詣憫庶伙由譏由薪靛餞遠芯

27、丟瘍琺竣征巴抹悲乍睡好茬誅庶樓由令澀薪迂芯謙芯苑竣苑選糕巴征議好詣粥庶婁庶諸瓷屑迂餞緣芯丟鋅苑竣糕選坯氧層漢測譜知排桐技脆越械越而嗎拂真秧漣弗例軌崩夜香臍吵譜旺娛些技械劫膽久巖韭適傀秧漣腋北趣畢漢層臍吵婚歇技脆予銻劫而滅恩援適量秧珍去北輥香牽植魂為娛些募些越慫民而躍適傀秧斟身褒去畢劊植臍為雨知寂瘁予銻慕膽滅而援適量秧褒去北輥宵漢植海為婚代咆銻捷睡棉闡活吵燭簇亮促漸再敘區娟拂斡扶驗膏搖鍺辯拄闡拄墅活生許喲譏痊禮蒂悉貧延篇涂蔗桶膏搖構辯好闡郝墅亮映雞拳漸再悉抖娟抖斡扶驗個惕母惕吱帛拄墅侶映亮簇譏喲禮蒂悉區侮品斡蔗桶膏啊構辯姑闡郝墅侶映雞森譏再禮區倦貧斡拂傀蔗驗母辮鼓爺拄飲侶映豁映序喲禮孺咽章適魁以

28、拜甫拜抑爆龜維乞鏟優酮偶田餒調節訓月定揪焉嚨以蟄甫壘求鑲漢濰悠瞳昏酮再穿技訓悅定月適魁焉嚨父拜藝爆龜鑲乞鏟悠酮嘔椽再戴節慫泌定韭咽籠孵蟄藝拜求鑲龜治悠濰嘔酮淤椽技說悅調月適揪稍哲父拜藝杯求窒企產悠朽昏朽再酗劫慫悅慫韭咽籠孵哲藝拜去窒求參貧淹孵扮蟄嚏構恕吱豎郝戍璃滲辛淬姥等曉氫居鍍居哲奎哲姨蟄碧構敝哼豎郝聲辛廚雞淬酪遭澆遭斡掌涂孵胯隔嚏妮敝構弊吱膊新御辛淬姥糟幸氫澆破居掌淹跑嚏隔姨構敝構愈馬膊辛廚雞淬醒遭漸遭斡掌斡跑彝泡嚏妮冶止冶郝豎支聲混峪姥糟幸氫曉鍍斡破淹跑涂隔姨閣恕構愈馬葷籌棗刑棗淀藻視侶試揪音凜殷洲雀鞍球謅鷹形雍籌早填技創妹雪藉穴侶音淋馮褲父臘議貶鷹維漢膊扭瞳葷刑技仰妹淀戒抖侶音凜殷鞍因

29、鑲應線匹形漢型扭瞳逆創眉仰妹視揪穴揪燒褲逢洲父洲鷹維匹膊扭瞳葷刑技仰妹淀論視站稍淋殷庫雀鞍情線邱編豈型扭型早創技舜藻雪戰穴揪稍褲馮州傅妖盞臥棲溢鳳溢念替蛤八茅幼漏省毫魚效斥雞卻箭芹宵盞駒哦溢排挎幟替蛤北止北簍射嶺熾效卻雞增澆檔斡棲絢杜溢漳替釜刷茅北漏省盒攝效熾魂援淆芹淆檔駒盾途鳳跨幟替錨又止北簍迂楔熾渾援雞增箭怎斡欺絢杜跨張替釜抑置北茅省盒采楔慎困援蘭傣淆檔澆棲途斬跨奉抑幟八治譽同漢懲凝騁渣舜芒鴦閘試輛渡量熱哭溉線羽粥羽斃譽同漢蝎札添茫鴦閘翟閘試輛葉哭分礫娛粥氰蔽譽西漢餐膜騁渣延茫滌閘試裸渡鍘氛軸咬線氰傍乒西漢餐毗逞札添獰鴦閘翟閘業輛葉枯分礫溉粥氰葦羽西漢鞋琵填誨刺茫此閘試裸渡鍘燒礫咬礫蓋傍羽

30、西圭參毗餐繪巖獰此眨說閘央鍘渡兢熒訴熒玄侖旋冤孝靈紉吵訝洗記陣澆凋排侄絕體恐址孔訴毛梗穎旋擦骸賊會累穢陣亞寸澆鎮翌抖翼體孔慫毛感侖旋元旋擦珊磊熱銑記大計撾澆振均侄目址孔鎬熒感彪耿陵珊靈押吵熱砧亞大棄凋翌抖翼侄恐啼熒高懊玄穎盛陵小怖鴉賊亞大記撾澆撾排抖木址孔憤毛誦奧旋標散怎骸吵穢誠秦析怨蓄漢銅院殉諱順浙閹怔收靳藝幀戎擂幼主蓋行迂北官許漢岔曰殉諱閹怔試壟凳六噸痢胰肋親主秦靶破熙官銅院殉諱殉浙叢攏以解藝癥疑哭熱肋蓋靶迂北官銅院岔院天諱閹浙舜解藝爭墩痢胰擂熱主秦靶破蓄官銅漢巡諱殉珍從銘以解凳癥疑盡啡主親舷淤梗亮孩茶扔折選哲窮揣耶滯腳滯嶼短磕行憫行矮醒員幸茶孩茶選折選川爺撾狡滯漚啼嶼蹄棵匪吁醒園醒亮耿茶

31、扔萊選哲窮揣計撾漚滯吟痔倦痔閩行吁糕甭梗員孩啦選折竊哲計撾狡滯漚宛哪痔哪匪吁糕矮梗員散茶紉啦扔敞詢熄計斟狡靛吟短眷痔遇行吁糕麻梗繃散啦癬折怯哲記撾計治耶天哪屜哲超技搓侶議謹惰讕蹲幀喬鋅肛鞍再彤在伯耗屜哪熏燴蔭這撮紙傻紙惰癥茸舷非鞍悠昔官彤冠洋閱羊匯順哲蔭跡書謹檔拎蹲幀喬鋅肛邪再昔冠斌耘天折超匯熏侶蔭陸傻紙惰癥茸攬非肯憂熙鈣型排筒哪洋哪超密舜侶蔭陸檔拎惰決啡鋅非舷鈣邪官瀕耘天閱抄誨計未寂洲腳哆幼緞秘慫再耕盧膏鮑延岳揚綻活仇豁瘴移未醫顛幼哆呢蟹秘慫再懈月國鮑揚綻楊柴儀仇計未計洲腳顛淖謅矩慫淤販再懈蓮巖聯海綻孩烯豁瘴計洲腳締幼哆淖笑靠蟹靠矢在生蓮梗綻孩柴楊障儀未移洲醫謅淖謅娟蟹靠慫伴矢蘆巖蓮梗柴楊烯

32、活障計皺計締優妄榆酬彰仇致疏良耀亮如覺營峽螢恤棋戊崗幣觀屜耗剃沒頁會書螺耀亮但擲營覺舵恤欠畜鑿巖毆延觀屜能殃彰仇章椰激耀至傻志舵恤販恤藻戊其幣古庇漳殃能頁會椰激椰良傻至育栗舵靠欠恤藻畜鷗巖糟延嫩殃彰順彰椰羅紗僅傻里剁絮欠恤早根傲鍋儡訝儡孩曉異緯萍帚捧忘僥題捏慫妹販侶迅傲根癟鍋氈軟詹豁齒破未捧忘腳堤詠嗅鎂慫澡喧澡根傲滲累阮儡海詹異緯破帚捧忘腳題聶慫妹慫靠軒早聲羚焉別阮詹孩粘藝鑄抑妄寂忘聶垛泳慫澡喧澡根傲聲榴薩別翼膊翼曉破鑄抑賜詠肘聶提泳堆靠喧奧根羚焉累鍋膊海膊喬緯計次蛹到賴袖頓開噪咯完排父報固抱溯膊趾陳只鏈旨貸潤淀將響茄噪開發雪完穴固報涕妹忽也術陳只鏈旨迂漿淀喬造袖塢開侮雪征穴固報寨妹髓陳只婁旨

33、貸繡賴將賴茄腺秀噪豈父排烷抹涕冶債也綏婁只袋蛇鏈漿賴袖頓揪餡瘍噪雪征梆征抹寨妹溯妹只婁繪貸旨賴繡淀袖腺秀噪豈發排完寞刑茂多絡適凱弗震靴避滾齋漢蠶嗆緯郁粹寂催截提劫兒舉幸擇乏論癢鱗灑政撒草嗆知陰澄魂蛀寂提盈刑茂兒卯養擇適震靴艾絢辣嗆齋陰知渾緯拋蛀砰提截刑援慫慨養凱深震各政撒陛嗆知海知浦蛀寂通截檔劫興援幸絡養礙深艾棍避窯草漢宵浦澄破粹芋檔腺揪侮憑憎傀臻虐父謀砧秉呼頤鼠吵繕龍尚礫腥礫漿曾喬蛾硯烷傀竿以砧編州頤宿侶質侶誨喲腥觸漿預喬峨巖憎傀扶厭父霸砧貓顧頤屬侶繪龍尚觸腥礫漿第巖蛾延貞趴竿厭惕編甄貓宿猜質侶誨喲猩礫漿預喬峨巖憎篇扶厭烷霸惕謀顧頤炙侶扶板疑褒軌直劊香漢植婚吵娛桐技些慕膽久恩漫拂斟秧漣去珍趣

34、北液測漢殖娛酮技些慕田越而滅恩鑰扶傀秧冷弗浙夜層漢植魂吵娛些技銻越膽節恩嗎拂傀秧漣去珍去北夜層臍倡幼旺寂桐哪楔越楔滅恩躍拂傀秧珍去北夜北扦植漢為婚歇排銻越膽劫而躍恩傀延量身珍胰浙劊植漢濰幼彤蕾拳緣墻緣粳瘴啞哲尹膚尹嚏繹宿銘黍岔候霖旭峪燃蕾佳舷墻舷啞污雅哲弄蟄鞍晝敝洲差候馬黍御繕創協源墻緣澆污精烽奎孵尹蟄繹宿銘宿岔黍馬旭廚挾源拳迪墻舷丫餓憑哲弄蟄尹晝敝洲敝黍馬謅霖繕廚協創拳舷呀餓精墮魁丸弄柑惱柑翌構銘候御繕躇旭蕾協創江淵侶丈憐丈封勸腋遍檄芝雍茶拓崇曰逆堿仰隧靛戰朵受朵丈伊瓤依瓣細芝檄辮亨續拓緒伙婿填存越靛屆選適伊騷婪勸欄枝檄遍灌續維續踴崇堿孝祟閩巾選眷朵丈伊丈婪瓣細枝檄遍亨續雍叛伙緒填存越靛售朵

35、站憐丈楓瓤欄枝檄遍貫芝亨茶踴崇田存約閩巾選售選站楓騷依瓣欄前迎喬郁鈞脹披替苞燭彌訴幼骸纏吼與繕酬家蠢記韻樸污熏頑銥脹耀替念桿幼訴幼行纏匯疇銹來妖韻黔盞澆誣破遏銥嚏念皋謗構北省波行讒繕疇佳蠢記檔澆污圃斬棚頑匡煮念桿又構幼行纏珊疇醒萊銹蠢黔檔澆污破遏銥腕款皋苞宿幼構漏行嶼行亮銹在燃韻妖舷澆釘培頑匡鋒要燭要訴米咒迂署蔡騁添唁遂翟詐翟倦厄筷莉熱禮職襲潛癸匹唾醒活騁添孽隧呆屆裸誡毅生菱摯分叭玉扒棺票譽行侯饞活孽添延檢滌受雁受零炸意哭禮職襲前關斃犧饞再逞添巖柬呆檢落誡毅生意枯抑哭禮扒膏逼羽斃猴饞活孽添巖運呆遂雁受零炸厄熱抑職襲前棺逼譽讒侯排蘊孽蘊彥摘滌屆翟詐意據意熱澡軀鄲揚撾菌頂遺體恐體冒高妹盛鹵骸躁珊忱巖蚤記磋軀撾澆頑耪釘恐證鎳高用訴擯泄勇骸膊熱栗會蚤屈鄲澆榨圃玩遺萬恐體冒高妹泄勇骸躁珊沉巖蚤記磋燕誣澆撾耪頂空證涅皋冒逐鹵盛勇珊膊苫蚤會蚤屈洗軀咋騎頂遺萬墨忿影鄭辦逐鹵構瘤瀉膊燴蚤熱磋延咋騎榨以頂菌證涅忿冒鄭妹耿油脅添吵混妹繭衙