微纳加工工艺流程

1、监控立杆施工方案高通量微流控器件的设计与加工罗春雄掩模的制作掩模的制备是光刻中的关键步骤之一，其作用是在一个平面上有选择性的阻挡紫外光的通过， 从而实现光刻胶的局部曝光。掩模的图形及尺度由计算机设计完成，常用的设计软件有 L-edit （目 前最新版本为 10.0 ）和 AutoCAD等。带有图形结构的掩模常用介质有透明膜和玻璃板，图形结构一 般由透明和不透明的区域组成。掩模有时也被称作原图或光刻版。当分辨率要求不高时，掩模可用简单的方法来制备。最常用的方法是使用高分辨率的激光照排 机（ 3000dpi 以上）将图形打印在透明胶片上，这种方法的误差一般为3-7 m，视激光照排机的精度而定。当图

2、形的尺度为 10m 量级时，此法制成的掩模可近似视为精确。使用激光照排机的优点 在于设备易得，一般的出版社就有可以满足要求的机器；并且制作过程很简单，只需要一步打印。图 1 采用 L-edit 设计的模版图通过电子束曝光的方法可以得到精度更高的掩模版，精度可达 100nm甚至 10nm级。这种掩模版 为金属掩模，所以不论是精度、寿命还是使用时的方便程度，均要优于打印方法制成的模版。但它 的缺点也十分明显：成本非常高（一块模版通常要上千元人民币） ，并且制作周期时间长。还有其他一些方法可以得到掩模版，如准分子激光刻蚀和光学缩小等方法，这样得到的模版精 度较高，但对设备的要求都比较高。光刻胶光刻胶

3、是由溶解在一种或几种有机溶剂中的光敏聚合物或预聚合物的混合物组成的，它是用光 刻技术将掩模上的微结构精确转移到基片的关键媒介。根据用途不同，有多种黏度、光学性质及物页脚内容 1监控立杆施工方案理化学性质不同的品种供选择光刻胶有两种基本的类型：一种是负型光刻胶，它们在曝光时发生交联反应形成较曝光前更难 溶的聚合物；另一种是正型光刻胶，它们在曝光时聚合物发生链断裂分解而变得更容易溶解。根据 它们的特性，负型光刻胶显影后曝光部分被固定而非曝光部分被洗掉；正型光刻胶则是曝光的部分 在显影后被洗掉，非曝光部分被固定。下面分别介绍这两种光胶：a. 负光胶负光胶曝光中发生的光化学反应比正光胶相对简单。例如

4、Minsk 于 1954卖给 Eastman Kodak公 司的专利，应用的是聚乙烯醇肉桂酸酯中的肉硅酸部分的双键对紫外线敏感，双键之一被打开后形 成双游离基，这些双游离基不稳定，很快与其他游离基间相互连接，形成新的碳- 碳链，并与其他线形分子交联形成更大的聚合物分子。与曝光前相比，聚合物变得更不易溶解且抗化学侵蚀性更强， 因而未曝光的部分可被显影液溶解而去掉。此即为 KPR（柯达光刻胶）和其他负胶的基本原理。我们 实验室常用的负光胶是国产的 BP 系列，特点是光胶薄（ 1-3 m），附着力极好，分辨率高，但缺点 是难去除。另一种具有代表性的光敏聚合物为 SU-8。它是一种环氧型聚合物材料，因

5、为平均一个单体分子 中含有 8个环氧基， 因此名称中有 8,其结构如图 2所示。SU-8光学透明性、 硬质、光敏的独特性质， 在微加工材料中独树一帜。主要特点如下：高机械强度；高化学惰性；可进行高深宽比、厚膜和多 层结构加工。由于它在近紫外区光透过率高，因而在厚胶上仍有很好的曝光均匀性，即使膜厚达 100m，所得到的图形边缘仍近乎垂直，深宽比可达 50：1。图 2 SU-8 单体的典型结构SU-8 是机理和材料完全不同的一类负光刻胶。 该胶可溶于 GBL（gamma-butyrolactone ）溶液中。 溶剂的量决定了黏度，从而也决定了可能的涂覆厚度，不同的型号可合适做不同的厚度，最常见的

6、是 10m到 100m。引发剂三苯基硫盐按 SU-8量的 10%比例加入。 SU-8 在前烘中有很好的自平整能 力。经 100oC以上固化后，交联的 SU-8 有较强的抗腐蚀性，热稳定性大于 200oC。高温下可耐 pH值 13 的碱性溶液的侵蚀。SU-8 的光反应机理：光刻胶中的光引发剂吸收光子发生光化学反应，生成一种强酸，其作用是 在中烘过程中作为酸性催化剂促进发生交联反应。只有曝光区域的光胶才含有这样形成的强酸，未 曝光区域则不含有。交联反应链式增长，每一个环氧基都能与同一分子或不同分子中的其他环氧基 反应。交联反应形成了致密的交联网络结构不溶于显影液 PGMEA中。页脚内容 2监控立杆

7、施工方案b. 正光胶正光胶的有关技术主要来自含氮染料、印刷和复印工业。正光胶基于重氮盐和二叠氮化物的两 个反应。在碱性条件下，重氮盐或二叠氮化物很快与酚类偶合剂发生几乎定量的反应，形成各种有 色且难溶的染料，其颜色和溶解性取决于二叠氮化物和偶合物的结构。上述两种成分在偏酸性缓冲 液中则不发生反应。显影液提供的碱性条件则可引发耦合反应。二叠氮化物经紫外线曝光发生分解 反应，释放出氮气，在显影过程中无法再发生耦合反应，而是形成容易被溶解的产物。很多常用的正光胶含有不同烷基的萘醌二叠氮化物，具有不同的粘性、溶解性和其他特性。该 类叠氮化物在紫外线照射下分解并重排生成乙烯酮，在潮湿气氛下进一步转化成羧

8、基酸茚。在碱性 溶液中显影时，羧基酸茚被溶解，即曝光的光胶部分被溶解，而未被曝光的叠氮化物之间与共存的 酚类化合物在碱性显影液中发生耦合反应，形成胶连的难溶物。通常原理可用图 3 表示：图 3 正光胶的有关化学反应。我们实验室常用的正光胶有 AZ 公司的一系列产品，如 AZ50、AZ5214、AZ9260 等。它们都有不 同的特性，如 AZ50的黏度比较大，可以用于制作厚胶模版 （10-60m厚）；AZ5214则为薄胶（1-3 m）， 分辨率较高，作掩模的耐腐蚀性也很好。光刻标定高度曲线图 （SU-8 3000 系列）页脚内容 3监控立杆施工方案光刻标定相关数据( SU-8 3005)胶型环境

9、温 度环境 湿度涂胶转数前烘时间后烘时间光刻机光 强曝光时 间平均高度65956595SU-82339%101min4min1min3min20w70sec9.6 m300530cm2SU-82222%101min4min1min2min20.8 w65sec8m300530cm2SU-82420%101min4min1min2min20.8 w60sec6.95 m300530cm2SU-82420%101min3min1min2min20.8 w55sec5.6 m300530cm2SU-82230%101min3min1min2min20w50sec5.05 m页脚内容 4监控立杆施工方

10、案300530cm2SU-830052326%101min3min1min2min20w cm245sec4.4 m30SU-830052324%101min3min1min2min21.7 wcm238sec3.65 m304000rpm光刻标定相关数据( SU-8 3010)胶型环境温 度环境 湿度涂胶转数( 两步程 序)前烘时间后烘时间光刻机光 强曝光时 间平均高度65956595SU-830102120%10302min10min1min4min17.3 wcm2100sec18.4 mSU-830102320%10302min10min1min4min18w cm295sec14.3

11、 mSU-830102420%10301min9min1min3min18w cm290sec12.1 mSU-830102420%10301min4min1min2min18w cm285sec10.7 mSU-830102252%10301min4min1min2min17.8 wcm280sec9.6 mSU-830102344%10301min4min1min2min18.3 wcm275sec9mSU-830102346%10304000rpm1min3min1min2min18.3 wcm270sec8.1 m页脚内容 5监控立杆施工方案光刻标定相关数据（ SU-8 3025）胶型

12、环境温 度环境湿 度涂胶转数（ 两步程 序）前烘时间后烘时间光刻机光 强曝光时 间平均高度65956595SU-82330%102min20min1min5min19.1 w170sec76.15 m302530cm2SU-82421%102min17min1min9min23.2 w150sec49m302530cm2SU-82260%102min15min1min5min16w135sec42.5 m302530cm2SU-82424%102min8min1min5min20.7 w115sec31m302530cm2SU-82222%102min6min1min4min20.7 w90s

13、ec25.8 m302530cm2SU-825不详102min5min1min3min19w80sec22m3025（不到30cm2不详10SU-8302522（不到20%）304000rpm1min3min1min2min19w cm265sec19m光刻标定相关数据（ SU-8 3050）胶型环境温 度环境 湿度涂胶转数（ 两步程 序）前烘时间后烘时间光刻机光 强曝光时 间平均高度65956595SU-82052%102min25min1min7min18w230sec182.4 m305030cm2页脚内容 6监控立杆施工方案SU-82342%102min20min1min6min19.

14、5 w190sec82.45m305030cm2SU-82220%102min15min1min5min18w160sec72.4m305030cm2SU-82322%102min15min1min5min18.8 w130sec57.85m305030cm2SU-82424%102min15min1min5min19.2 w100sec45.15m305030cm2SU-82220%102min15min1min5min19.9 w90sec35.65m305030cm210SU-830502320%302min15min1min5min18.3 wcm280sec35.45m4000rpm

15、光胶的涂布光胶的均匀涂布是通过甩胶机完成的。先将基片（通常是硅片衬底）置于甩胶机的转盘上，基 片在真空的作用下被吸在盘上。液体光刻胶被置于基材的中间。基片在转动盘的带动下快速旋转， 一般先用较低速运转数秒使胶散开，然后再以高速运转使胶在离心力的作用下均匀的覆盖在基片上， 此过程称旋涂（ Spin-Coating ）。涂敷光胶层的厚度取决于光胶黏度和旋转的速度。此外，光胶预烘 烤的温度和时间、光胶的施加量及环境温度也有一定影响。甩胶通常要在超净间内进行，否则有两个原因可以导致缺陷：甩胶和曝光时空气中的微尘颗粒 和液体光胶中含有沾污的颗粒。超净间内微尘的数量一般为千级 （ 每立方英尺空气中的直径大

16、于 0.5 m的微粒数低于 1000个） ，局部为百级，可以很好的保证甩胶的质量。另外，有些光胶与硅片衬底之间的附着力并不是很好，这会影响甩胶的厚度均一性，同时也会 增大显影的难度。解决的方法为在硅片上预先涂上一层物质，使光胶的附着力增强。对于AZ系列的光胶，常用的物质为 HMD，S 它可以很好的增加其附着力。光刻及显影光胶涂布后，要进行前烘烤，使液态光胶固化，称为前烘。前烘时间一般为 3-5 分钟，具体要 依照光刻胶的种类和厚度。一般曝光设备大多采用紫外光源如汞灯，且具有 X-Y 方向的对位功能， 简易式的可只需一个汞灯光源。页脚内容 7监控立杆施工方案图 4 北大微流与纳米技术中心的紫外曝

17、光机经过光刻，可将掩模上的图形转移到硅片上。具体过程为，在曝光间内，将前烘好的基片置于 曝光台上，再将掩模置于其上。之后进行紫外曝光，曝光机在曝光的区域内光强的误差一般会小于 5%，这使得整个基片上的光刻胶可以均匀的进行曝光。曝光时间一般由光胶厚度决定。如图5 所示：图 5 光刻胶对掩模上图形的转移曝光后的光胶经过显影就完成了对掩模上图形的转移。使用正光胶时，显影得到的图形与所用掩模的图像相同；使用负光胶时，显影得到的图形与掩模上的图形相反。利用掩模图形的灰度变化或在掩模之上加带有光透过率梯度的滤光片还可能在光胶上进行不同 程度的曝光，从而形成立体结构。根据不同的需要，显影后有时要进行定影和后

18、烘烤，以保证图形的平整度和坚固性。页脚内容 8监控立杆施工方案总结：光刻工艺：一、光刻前首先把硅片放在 195热板上烘烤 5 分钟，目的是烘干水分。二、按甩胶，前烘，曝光，后烘，显影，吹干步骤完成由掩模上的图形转移到光刻胶上三、使用台阶仪对高度进行进一步测定，以及记录PDMS的塑模聚二甲基硅氧烷（ polydimethylsilicone ）简称 PDM，S 俗称硅橡胶，是当前应用最多的微流芯 片材料之一。 PDMS由于具有独特的弹性，良好的透光性，高介电性，化学惰性，无毒，容易加工， 价格便宜而得到广泛的应用。 PDMS容易由单体和交联剂的预聚物热交联而得到固体状态。PDMS对300nm以上的光有很好的光透性。图 6 PDMS聚合后的分子式和实物 A胶（单体）与 B 胶（胶联剂）通过控制单体和交联剂的比例可以调节 PDMS的硬度。通常，交联剂的比例越高，硬度越大。将 搅匀的液态 PDMS倒在模具上，等到无气泡时，放到 80oC的恒温箱内 30 分钟， PDMS完全固化后，将 其从模具上剥离，即可得到有图形的 PDM。S 为了使