ESD控制管理办法

1、XXXX有限公司电子分厂编 号：DRE/WM0305版本号：A1页次：1/8页数：8ESD控制管理办法更改日期：2015-05-201. 目的1.1减少或消除静电放电对电子产品的损伤，提高产品质量和生产效率，满足客户需求。1.2通过建立统一的、切实可行的标准来规范各生产车间、不同产品，供应商和外协之间的ESD行为。1.3通过建立有效的、高质量的管理和稽查程序，用于保证本标准的有效实施。2. 范围本规范适用于广东德豪润达电气股份有限公司电子分厂生产制造体系内部静电防护工程的设计、使用、管理、 维护和检测。3. 组织结构和职责3.1 ESD组织执行全员参与的原则，总负责人为技术部门经理；3.2工艺

2、技术室：主要负责 ESD管理制度的制定、ESD防护的规划、审批和发布ESD技术标准与相关操作规范；组织攻关解决ESD疑难和重大问题、重要问题裁决处理，保障产品质量。3.3品质部：主要负责部门 ESD执行情况的检查，定期开展ESD的稽核工作。3.4管理部：负责公司所有员工的培训管理工作。3.5各部门：各部门的负责人为ESD本区域第一责任人，协助对本系统的ESD规范实施、ESD培训、宣传、稽查工作，对本区域内ESD防护措施的落实负责。3.6架构图：Ml生产线4、名词解释ESD静电释放EPA:静电敏感区域；ESSD :静电敏感元件;XXXX有限公司电子分厂编 号：DRE/WM0305版本号：A1页次

3、：2/8页数：8ESD控制管理办法更改日期：2015-05-205静电防护区域及标示5.1我司的防静电工作区：分为一级EPA二级EPA以及非防静电区域：一级EPA区域：SMT,烧录房，敏感元件仓；二级EPA区域：成型组、老化房、 AI、Ml生产线内的返修区及、修工位等所有区域。库房和在线库。实验室、样板房。IQC、FQC非防静电区域：办公室、电工房等不接触静电敏感器件及产品的区域；5.2公司的静电敏感器件：MOS器件、可控硅及集成电路（IC）、稳压块、光耦、各种半导体开关元件、石英、晶振体等器件、以上元器 件组装的PCBA板 （具体的防静电等级见附表）。5.3不同区域的标识：5.3.1静电敏感

4、区的区域界限应该用黄黑相间的斜条纹来标识，线条宽度为510CM这两种斜条纹是专门用来标识静电敏感区的区域界限的，不可作为其它标识用。5.3.2从静电敏感区域的入口处开始，在明显处应贴上静电敏感区的警示标志，该标志应符合 GJB1649的规定。如示例图A,具体的标示，见附件。5.3.3防静电台面、器材上应有防静电标志，标志应置于明显且不易受到磨损的地方。如示例图B:& EP/基本的ESD空制措施6.1基本要求：EPA内的环境、作业、设施均需要按照ESD防护要求设计，ESD设计需能重复保护元件及产品免受ESD损伤。6.2 EPA环境温湿度控制要求：1） 一级EPA环境要求：温度：2030C ;相对

5、湿度（RH）: 4075%2） 二级EPA环境要求：温度：1033C ;相对湿度（RH）: 3075%3）产品物料对环境温湿度有特殊要求时，应根据物料的特性需求和实际条件采取相应的局部环境保证措施。4）EPA内应配备温度计和湿度计，并按照环境温湿度控制要求，填写记录表。要求每班次上班之前作一次记录。当相对湿度超出规定的范围时，必须通知相关人员采取适当的加湿或抽湿措施，如往地面喷洒适量水（符合XXXX有限公司电子分厂编 号：DRE/WM0305版本号：A1页次：3/8页数：8ESD控制管理办法更改日期：2015-05-20安全要求）、使用加湿器或抽湿机等。6.3防静电接地系统：6.3.1接地是静

6、电泻放的关键措施，EPA内必须有独立可靠的防静电接地系统，工作中产生的的静电才能安全有效地泻放，避免静电的累积。防静电接地必须有一个安全可靠的防静电接地母线（防静电地线），所有人体、工作台、台垫、工具等以并联的方式接入防静电接地母线。632防静电地线的设置： 防静电地线专供静电工程器具和人体泄漏静电电荷使用，它不得接在电源零线上，也不得与防雷地线共用。防静电地线有两种敷设方法：方法1:优选方式。在远离防雷地线和建筑物20m以上的潮湿地面上，埋设间距5m以上、深约2M的三根铁管或角铁，再用3mm厚、约25mm宽的铜排将三点焊接在一起，用3mn厚、约25mn宽的铜排或用截面不小于6mrli的铜芯软

7、线单独引入室内做为母线。然后根据需要建立公共接地点，防静电区域内的台面、设备、仪器、工具及相 关人员的防静电接地从公共接地点引入（如图1）防静电专用地线 防静电岗位w工作台面 防静电接地极备用（可选）公共接地点防静电工作区图1采用ESD防静电接地示意图1）防静电区域可以设置单点或多点的公共接地点，公共接地点之间为并联结构，公共接地点到末端接地点采2用黄绿色，导线直径不得低于 2.5mm ；2）落地的专用设备、测试仪器在使用电气保护接地后没有必要进行防静电接地，电气保护地与设备、仪器外 壳必须进行可靠连接。3）严禁使用防静电接地线作为设备保护接地线。方法2:备选方案（电气保护地）。采用三相五线制

8、供电系统中的电气保护地线为防静电地线，引入电源零线 的同时，单独引出大地地线作防静电接地线，工程上称为“一点引出电阻隔离”。电源主变电箱引出的电气保护地线通过接地地桩与大地连接，电气保护地线到大地的保护接地电阻应小于4 Qo在防静电地不具备的、 或特殊场合公共接地点的接地方式可以采用设备保护地，参考图2o1） 采用电气保护地与公共接地点连接时，公共接地点与电气保护地（控制箱中）之间的阻抗小于1.0 Q;2） 人体腕带、台垫、防静电器具等串连1MQ的电阻接入公共接地点（软接地），设备、仪器、AC工具等直接接入电气保护地线（硬接地）。3）电气保护地线应该按照动力配电安全管理制度定期进行检测维护，每

9、半年至少检测一次地线配置系统电阻值，要求电气保护地线到大地的接地电阻小于4Q。XXXX有限公司电子分厂编 号：DRE/WM0305版本号：A1页次：4/8页数：8ESD控制管理办法更改日期：2015-05-20L图2 采用ESE防静电接地示意图6.3.3 EPA内硬件设施的接地要求:1）EPA内所有仪器、AC工具、金属体及等必须连接到公共接地点上，人体腕带、防静电台垫、防静电地垫、导体和静电耗散的材料防静电器具等需要串接1MQ电阻（或等效串接1MQ的电阻）后连接到公共接地配置系统上。接地线连接点应该采用螺钉、焊接、双线交绕的紧固连接方式，保证连接点连接可靠、接触电阻小。LNPEPE1434 ：

10、1133BA专用防静电线11I 10公共接地点O O O O422A1010公共接地点13111工作台6设备/仪器/工具11防静电地板2防静电台垫7防静电地垫12落地设备/仪器3台垫接地扣8地垫接地扣13防静电地（建筑厂房外）4腕带插孔9防静电工作椅14电气保护接地（建筑厂房外）5防静电器具10接地线A、B、C、D、E为串接13或等效串接1M欧姆电阻图3典型的EPA接地系统图xxxx有限公司电子分厂编 号：DRE/WM0305版本号：A1页次：5/8页数：8ESD控制管理办法更改日期：2015-05-202）防静电工作台的接地采用公共接地点方式，工作台上及其周边的仪器、测试架、工具（如电批、烙

11、铁）、防静电器具、台垫、台面、地垫、腕带插口等都连接到公共接地点。工作台的公共接地点应方便连接，工作台的移动时保证接地系统变化最小。防静电工作区应在合适的位置提供接地端子或香蕉插孔，以便于操作者腕带的接地。3） 静电耗散型工作表面到公共接地线的接地电阻应该保持在1 x 106Q Rv 1.0 X 109Q（不依赖于相对湿度）。4）防静电工作区第一次安装和移位后，接地电阻应该重新测试，并保证在规格之内。5 ）为了防止静电敏感器件与工作区内的设备接地导体外壳或大面积的金属（如工作台边缘）偶然接触，这些位 置必须覆盖静电耗散材料或通过其他方法隔离。6） 所有静电敏感器件、 单板在加电测试之前都必须保

12、证接地良好，禁止在产品测试过程中带电插拔单板和器件。 腕带的接地线应该直接接香蕉插孔，而不应该通过任何其他设施，如工衣，工作表面等接地。7）串联接地是不可接受的一种接地方法。8 ）由于安全原因，EPA内裸露的大面积金属平面、导体部件都必须直接接地（硬接地）。6.4设备接地要求所有连接电源主线的设备、仪器、工具等，都必须可靠连接电源系统安全地线。单相电源插头插座必须使用具 有接地芯的三芯插头插座，保证仪器工具、设备的外壳都要可靠接地。6.5 EPA内人员的静电防护要求：6.5.1防静电手腕的使用：一级 EPA和二级EPA内人员作业时，固定位置工作人员必须佩带有绳防静电手腕；6.5.3禁止使用无绳

13、防静电手腕，工作需要高频率移动的人员，可以使用防静电手套和指套代替有绳防静电手环；6.5.2防静电衣、帽、鞋的使用；一级EPAS域内人员，必须穿着防静电衣、帽、鞋方可进入；二级EPA区域内的人员，可不穿防静电衣、鞋，但需佩带防静电帽，穿公司统一配发的厂衣和防尘拖鞋；6.6防静电材料的使用6.6.1 包装材料的使用：6.6.1.1静电敏感器件、组件、产品在生产制造、存放和运输中所使用的直接包装层必须是防静电的。直接包装层 指和器件直接接触的材料，例如IC包装管、芯片托盘、卷带、防静电泡沫、防静电胶袋、屏蔽袋、吸塑盒等；防静电包装材料可以有效利用供应商的器件来料的防静电包装材料（如IC管、IC托盘

14、等），这些防静电包装材料都可以用于静电敏感器件、组件的直接包装或间接包装。6.6.1.2 防静电包装材料的防静电性能要求EPA内所使用的直接包装材料应该是静电耗散材料，要求其防静电性能指标满足：59表面电阻 Rs： 1.0 x 10Rs v 1.0 x 10 Q；体积电阻 Rv： 1.0 X 10 QW Rv V 1.0 X 10 Q；摩擦静电压Vf : Vf 间周转运输的工具必须是防静电的。其防静电性能应满足：59表面电阻 Rs： 1.0 x 10 qw Rs v 1.0 x 10 Q；体积电阻 Rv： 1.0 x 10 QW Rv V 1.0 x 10 Q；XXXX有限公司电子分厂编 号：

15、DRE/WM0305版本号：A1页次：6/8页数：8ESD控制管理办法更改日期：2015-05-20摩擦静电压Vf : Vf 100V ；常用的周转工具有：周转箱、防静电器件盒、防静电成形泡沫盒等。662.2 周转车底部必须连接一根金属链条保持周转车金属架和地面的连接。周转车必须至少有两个轮子是防静电的，在此基础上再增加接地链，缺一不可。使用防静电周转车和周转箱较长时间存放单板（如存放于库房）时， 应采用防静电屏蔽袋罩住周转车、采用屏蔽袋或周转箱盖板盖住周转箱箱口，以保证其防静电效果并防灰尘。6.6.3防静电台面的使用6.6.3.1接触到静电敏感器件、产品的台面、运输平面等，需使用防静电胶皮进

16、行防护；其防静电性能需满足下述 要求：69表面电阻 Rs： 1.0 X 10 Rs V 1.0 x 10 Q;35底层表面电阻：1.0 X 10 QW Rs V 1.0 X 10 Q;表面体积电阻 Rv：1.0 x 105 QW Rv V 1.0 X 108 Q;摩擦静电压Vf : Vf 100V ；6.6.3.2防静电台面的接地：每个独立的防静电台面均需要连接地线，当独立的防静电台面过大时，原则上长度每 三米至少有一个接地点，并使用重锤定期测量防静电台面离接地点最远端的对地系统电阻是否满足要求；6.6.4防静电工具的使用：作业过程中接触到静电敏感元件或产品工具均需使用防静电材料，如清洁单板和

17、产品的毛刷必须使用防静电毛刷，材料的表面电阻满足1.0 x 104qw Rv 1.0 X 1011Q,摩擦电压小于100V或静电电压耗散到100V以下的时间小于 2秒、禁止使用普通塑料毛刷。6.6.5静电产生材料的控制原则上不允许静电产生材料进入EPA区域，因实际需求必须进入 EPA勺静电产生材料需要进行适当的控制，使静电风险减至最小。所有不必须的普通塑料材料和杂物（食品袋、饮料杯、塑料架子、报纸等）不允许带入EPA并严禁这些材料接触ESSD必须进入EPA勺静电产生材料必须保证不得和ESS接触，如果因操作原因需要和ESS接触（如塑料面板和PCB勺装配等），则需要使用防静电材料进行局部高静电部分

18、的隔离或屏蔽处理，同时使用离子 风机消除静电产生材料产生的静电。A4纸张由于应用的普遍性，而且其产生和积聚的静电能量很低，一般认为纸张属于低静电风险材料，可以允许在EPA内使用（仅限于普通纸张，粘胶纸和塑膜纸等除外）。7、ESDK统点检及稽核要求：7.1每日自查程序：1）上岗前测试防静电手腕，并做记录。2）上岗前测试电烙铁的接地，并做记录。3）检查工作区所有ESD敏感器件、单板都放置在防静电周转工具或包装中。4）确定工作区内、防静电周转工具和包装中没有不允许的或未经处理的物品。5）确认工作台台垫为防静电台垫，工具为防静电工具。6）保证明显而严重的静电源（例如：非防静电塑料袋、非防静电泡沫、普通

19、塑料制品等）远离防静电工作区1米以上，工作区内必须存在的一些静电源（例如：非防静电的产品材料和工具、塑料制品等）远离ESD敏感器件和敏感单板30厘米以上。7）确认工作台上的清洁用品、溶剂、胶纸等工具材料已被确认可以使用。8）确认工作区域的工作台和设备安全、可靠接地，尤其对那些经常移动的设备要特别注意。在EPAT作区工作的员工每天工作开始时必须完成上述ESDI检工作。如果以上的任意步骤没有遵守，不能操作没有防护的ESD敏感器件。部门主管和 ES区域负责人有责任监督员工每日ESDI查的执行情况，如果人员没有及时纠正，部门（区域）ESD责任人要采取措施让其纠正。情节严重的，可以考虑相应的处罚。7.2

20、定期点检程序7.2.1每一个部门（区域）有责任定期完成规定的ESC点检项目。XXXX有限公司电子分厂编 号：DRE/WM0305版本号：A1页次：7/8页数：8ESD控制管理办法更改日期：2015-05-207.2.2 主要的静电系统点检标准及频次（此处未包含，但点检表内要求点检的内容，同样遵照执行）：1） 静电地线接地电阻和设备电气保护地线接地指接地体与大地之间的接触电阻W4 Q,要求半年至少检查一次；2） 静电地线主线导通性检查，指静电主线末端到接地体的电阻W10Q，要求半年至少检查一次；3 ）各静电支线对主线导通性检查，指各静电支线末端到静电主线的电阻W10Q，要求每季度至少检查一次；4

21、 ）静电防护台面表面电阻测试，表面电阻Rs: 1.0 X 106 QW Rs W 1.0 X 109 Q,要求每季度至少检查一次；5）设备的接地线导通性，指设备外壳和设备的地线接地点间电阻W10Q ;要求每月至少检查一次；6 ）烙铁的接地线导通性，指烙铁头和硬接地接地点电阻W20 Q ;要求每天至少检查一次；7 ）静电手环检查，既静电手环接触片到连接点的电阻1MQ 土 20%要求每天至少检查一次；8 ）环境温湿度检查，要求每天至少检查一次；9 ）防静电衣、帽、鞋要求每季度至少检查一次；10 ）静电电压监测：一级EPA区域静电电压控制小于 100V,二级EPA区域静电电压控制小于 250V,每月

22、检查至少 一次；7.2.3对于静电支线、设备外壳接地点、静电防护台面完整性等，要求每天进行目视检查连接性；7.3定期稽核程序7.3.1质量管理部门在每季度下旬要对公司ESD体系及其执行情况进行综合评审，评审内容必须包括ESD文件体系、日常ESD己录、资源配给、ESD执行情况检查等，检查完毕编制不符合项记录与改进表进行记录。7.3.2 责任部门和相应区域接口人要针对评审发现的问题点，提出整改措施，并组织整改。对明显的问题，例如 接地线断开或未接好、不合适的静电源、操作错误等，应该立即更正。对于不能马上整改的缺陷，需要制定合理 计划、获得部门领导同意以及考虑整改的时间，同时要采取临时处理措施。在这

23、种情况下，临时的措施要保证把 对ESD敏感器件的危害源移走，同时计划永久性的整改措施。7.3.3 评审发现的问题点的整改措施，由评审小组按照完成日期组织验收，直至关闭问题点。8、人员的培训与管理8.1培训要求：每个部门都应对进入ES腔制区或者接触ESD敏感器件、单板的人员进行 ESD制方面知识的培训。培训的对象应包括新进公司的员工、转岗、工程师以及管理者。对于转岗和工种变更的员工，应该根据工作的要 求及时进行ESD培训。8.2入职培训：是针对新员工和其他没有进行过 ESD培训的员工进行的初级培训，新员工的 ESD入职培训由管理部 统一组织，其他临时人员、转岗人员的 ESD入职培训由各需求部门组

24、织。在没有经过短期ES引导性培训的员工不能接触敏感器件和单板，接受引导培训的员工培训期间通过ESE认证，认证合格才能上岗。8.3再培训：由于工种变化或者转到新的部门，如从非EPA转移到EPA从二级EPA专移到一级EPA从办公室岗位转到产品一线岗位等，需要进行适应新环境ESD控制要求的再培训。EPA内的工作人员、接触ESD敏感器件的操作人员和管理人员经过ES以证的有效资格为一年，一年后必须进行重新培训认证。由于新的部门成立或者部门工作性 质的变动，需要进行适应新的工作要求的ESD再培训。8.4提高培训：提高培训是针对ESE工作骨干人员组织的静电防护技术的高级培训，适用于ESD、组成员、区域ESD

25、责任人、各部门ES页作优秀人员和ESD责任人的预备人选等。提高培训由公司ESD负责人根据需要不定期举行。提高培训的内容主要是 ES标准的学习讨论、ES噺技术的学习，ESD案例学习和疑难问题讨论等。8.5认证要求：无论是接触敏感器件的操作人员还是管理者都应该经过ESD考核认证，没有经过 ES以证和引导培训、以及认证期限已满或认证被取消的人员不能操作ESD敏感器件。ESE认证要求包括：1）要求员工参加ESD培训，在培训中要对静电的产生、静电源、个人接地、防静电工作台、防静电包装、标签、 ES操作规范、以及部门的 ESD稽查体系进行学习。2）参加培训的人员要能演示 ESD操作的正确的步骤，熟练岗位ES防护要求。3）培训老师要组织考试（课堂笔试）。入职培训和再培训要求考试成绩达到70分才算合格（满分为100分）,具有上岗资格；提高培训要求考试成绩达到80分才算合格，否则应进行重新培训