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文档简介

1、会计学1 曝光工艺流程示意图曝光工艺流程示意图 镀ITO导电膜(镀膜机） 8486302200 制造平板显示器用物理气相沉积装置 在来料玻璃盖板表面镀一层 ITO 导电膜 (氧化铟锡) 用于导电， 如图中黄色示意部分 真空镀膜机 玻璃盖板 Cover Lens 镀膜镀膜 第1页/共8页 在镀过 ITO (氧化铟锡) 的玻璃表面均匀涂布一层感光光阻材料 (PR, 如图中蓝色示意部分)， 然后再进行烘烤 涂布机 光阻涂布（涂布机） 镀完ITO导电膜产品 涂布涂布 第2页/共8页 8486303900 其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置(制造平板显示器用的机器或装置) 将掩膜版上的电路图

2、图案，投影到涂布在 ITO 玻璃表面的感光光阻 (PR)上 曝光机 UV灯 掩膜版 曝光产品 曝光曝光 感光光阻涂布后产品 第3页/共8页 UV 光透过掩膜版，照射到曝光产品的感光光阻表面，掩膜版上透明的部分，UV光可以透过并照射到感光光阻上，使光阻产生反应。掩膜版上黑色不透明的部分， UV 光无法透过，故此部分的光阻不产生反应。 从而使掩膜版上的电路图图案，投影到涂布在 ITO 玻璃表面的感光光阻 (PR)上。 UV灯 掩膜版固定位置 曝光产品固定位置 UV灯 掩膜版 曝光产品 曝光曝光 被照射部分 第4页/共8页 8486304900 其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置 将

3、显影液喷淋到曝光后的产品表面， 显影液会将被UV光照射发生反应的感光光阻溶解掉，从产品表面去除，留下未被UV光照射的部分，保留在产品表面 显影机 显影显影 显影（显影机）曝光后产品 被曝光部分 未被曝光部分 第5页/共8页 蚀刻蚀刻 蚀刻（蚀刻机） 8486304900 其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置 将蚀刻液喷淋到显影后的产品表面， 蚀刻液会将未被感光光阻 PR 覆盖部分的 ITO 蚀刻掉， 留下被感光光阻 PR 覆盖保护的部分，保留在产品表面 蚀刻机 显影后产品 未被曝光部分 第6页/共8页 剥膜剥膜 蚀刻后产品剥膜（脱膜机） 8486304900 其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置 将脱膜液喷淋到蚀刻后的产品表面， 脱膜液会将未被UV

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