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文档简介
1、 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 1.1.1 硅的性质硅的性质 硅四面体结构硅四面体结构 10928 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 性质性质SiGeGaAs 禁带宽度(禁带宽度(eV)1.120.671.43 禁带类型禁带类型间接间接间接间接直接直接 晶格电子迁移率(晶格电子迁移率(cm2/Vs)135039008600 晶格空穴迁移率(晶格空穴迁移率(cm2/Vs)4801900250 本征载流子浓度(本征载流子浓度(cm-3)1.4510102.410189.0106 本征电阻率(本征电阻率(cm)2.310547108 第一章 单晶硅的特性
2、湖南科技学院 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 面心立方 (FCC) 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 300K 300K时,硅的时,硅的a=5.4305a=5.4305 , ,锗的锗的a=5.6463a=5.6463 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 硅的晶体结构:硅的晶体结构: 第一章 单晶硅的特性
3、湖南科技学院 原子密度:原子个数原子密度:原子个数/单位体积单位体积 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 a 8 3 3 3 4 iS r 3 8 1 a 返回返回 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 等效晶向(等效晶向(1 1) 110及其等效晶向及其等效晶向 100及其等效晶向及其等效晶向 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 等效晶向(等效晶向(2 2) 111及其等效晶向及其等效晶向 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 等效晶面等效晶面 100、110、111晶向分别是晶向分别是
4、(100)、()、(110)()(111)晶面的法线)晶面的法线 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 金刚石结构 (100面) 金刚石结构 (110面) 金刚石结构 (111面) a 2a3a 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 a a (100) a (110) a1/2 (3/2)1/2a a1/2 (111) 22 2 4 1 41 aa 2 3 4 2 2 3 2 2 1 2 4 1 4 a aa 2 2 4 2 2 2 1 2 4 1 4 aaa 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 第一章 单晶硅的特性 湖南科技学院 第一
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