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会计学1 X射线光电子能谱分析方法及原理射线光电子能谱分析方法及原理XPS 第1页/共20页 第2页/共20页 第3页/共20页 由图可知： Eb=h - Ek 而 Ek+ Ek+ p 知 Eb h -Ek- p ( p平均值约为4ev) (其中，Ek为从样品出射光电子的动能；Ek为谱仪测量到的光电子的动能) 上式即为原子内层电子结合能公式。 样品与谱仪间的接触 电位差等于样品与 谱仪的功能函数之差： 第4页/共20页 h Eb Eb Eb E=0 Ek Ek Ek 化学位移为： Eb= Ek 第5页/共20页 第6页/共20页 光 源(X-ray) 过滤窗 样品室 能量分析器 检测器 扫描和记录系统 真空系统 (1.3310-51.3310- 8Pa) 磁屏蔽系统(110-8T) 第7页/共20页 电离放出光电子 X-ray样品能量分析器 检测器（记录不同能量的电子数目） 光电子产生过程： e- h(X-ray) 第8页/共20页 第9页/共20页 两者只能选择其一两者只能选择其一 第10页/共20页 第11页/共20页 强度I 动能Ek 振离峰振离峰 振激峰振激峰 主峰主峰 第12页/共20页 第13页/共20页 第14页/共20页 第15页/共20页 第16页/共20页 第1

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