静电梳状驱动器的设计与建模开题报告

1、 毕业设计（论文）开 题 报 告题 目： 静电梳状驱动器的设计与建模 学 院： 理学院 专 业： 电子信息科学与技术 学生姓名： 指导教师： 日 期： 2007年3月 毕业设计（论文）的主要内容：mems简介，mems工艺简介，表面加工的介绍，mumps工艺介绍，eda工具的使用， ansys软件的建模与仿真静电梳状结构作为驱动部件或检测部件，已在微机电系统特别是在表面微机械器件中得到广泛的应用，如谐振器、微夹持器、微振动电动机等等。在微机械领域已经成为静电驱动的首选结构。这种微驱动器是目前moems中使用最广泛的一种驱动器 ,可用于驱动可移动微镜 、微扫描器等。本文对10对梳尺的驱动器，给以

2、设计参数，进行建模与仿真。设计（论文）的技术路线及预期目标：通过查阅各类参考资料，使自己对驱动器有一定的了解，并着重对静电梳状驱动器有一定的研究。然后设计出自己的静电梳状驱动器，形状，尺寸，材料，以及工艺。用ansys软件先对其进行结构建模，然后再对其进行仿真。预期目标使静电梳状驱动器能够与真实的器件一样，实现自身基本功能。课题进度计划开学时与指导老师交流讨论拟定毕业设计题目并进行初步的资料收集把开题报告做好以及翻译好3000字的外文资料.接下来就要对我所用的软件进行了解和掌握，为接下来的具体操作作好理论的保障。同时进一步查阅建模和仿真方面以及其他相关的资料，并对所查资料进行分析，并组织相关资

3、料，使其使自己知道每一个知识点的大体位置，为后面的工作做好充实的准备。大概在3月份末 4月份初的时候，就必须开始进行设计，建模与仿真了。在制作过程中，要一边自己动手实际操作，同时还要把结合现有的资源进行整合，遇到不懂得问题要及时和老师及同学进行请教和探讨，所作课题必须满足其应该具有的基本功能，要使其能够顺利，流畅地运行。最好能在老师和同学的帮助下，把自己制作的课题做出自己的风格于特色，能够达到一定的水平。要清楚自己的整个制作过程，要能清楚、明了的知道每一个知识点的来源和制作步奏，为接下来写论文和答辩作好准备。同时每隔一定时间主动向老师汇报毕业设计进展状况以得到老师及时的指导。论文撰写完成后应该

4、是在6月份了，离交论文的时间已经没有几天了，根据指导老师和评阅人的指导意见对论文进行修改完善，在保证论文没有比较大的失误下，还要对论文进行比较认真的核查和消化，为后面的毕业答辩做好充分的准备。完成课题所需条件及落实措施：需要安装有相应环境的可以上网的计算机一台。其次就是所需要的软件，ansys 10.0。这个软件，我已经在网上下载，而相关的一些资料在陈老师处给我们一定的提供，这个软件我以前没有接触过，很难上手，这些问题我会在课题完成过程中，通过自己看书学习和向老师请教克服完成。学校为我们提供了制作课题的计算机，相关的环境已经安装和调试完毕，我们自己也有计算机，所以这些硬件的问题都可以得到良好的

5、解决。学院对于我们资料的查找和论文的写作还提供了一定的经费，使我们能更好的完成自己的毕业设计，使我们能顺利毕业。参考文献、资料：1 laukymems the word for optical beam manipulation j1ieee circuits&devices，1997, (7)：11182 w huang，g luanalysis of lateral instability of in-plane comb drive mems actuators based on a twodimensional mode1sensors and actuators，2004, (113

6、)：7885 3 c chen，c leedesign and modekng for comb drive actuatorwith enlarged static displacementsensors and actuators，2004, (115)：5305394 r leenberg，a w groeneveld，m elwenspoekcomb drive actuators for large displacementsjmicromechmicroeng，1996，(6)：3203295 t hirano，t furuhata，k j gabrial，h fujitadesign，fabricationandoperation of submicron gap comb-drive microactuatorsieee jmicroelectromech.1992.1：52606 g zhou，p dowdtilted folded-beam suspension for extendingthe stable travel range of comb-drive actua