一种磷吸杂工艺

1、说 明 书一种硅片的磷吸杂工艺技术领域本发明属于光伏技术领域，特别是涉及太阳能电池制造中的一种硅片的 磷吸杂工艺。背景技术随着工业化的发展，电力、煤炭、石油等不可再生能源频频告急，能源问题日益成为制约国际社会经济发展的瓶颈，越来越多的国家开始 实行“阳光计划”，开发太阳能资源，寻求经济发展的新动力。在国际 光伏市场巨大潜力的推动下，各国的太阳能电池制造业不仅争相投入巨资，扩大生产，还纷纷建立自己的研发机构，研究和开发新的电池项目， 提高产品的质量和转化效率。然而硅片作为基体材料制作太阳能电池单晶 硅存在微缺陷和金属杂质，这些杂质和缺陷在硅禁带中引入多重深能级，成 为少数载流子的复合中心，严重影

2、响了太阳电池的光电转换效率。在单晶硅中，由于杂质与杂质，杂质与缺陷之间的相互作用，重金属杂 质或微观缺陷在一定的温度下会发生迁移和再凝聚现象，利用这种现象，在 硅片的背面引入机械损伤、缺陷或沉淀某一种薄膜，也可在体内引入缺陷， 使重金属杂质从器件的工作区域富集到这些特殊的区域，即称为杂质的吸除，前者称为外吸杂，后者为内吸杂。吸杂技术是减少硅片的加工和器件工艺过 程的污染，改善器件的性能的一种非常有效的方法。利用杂质向具有晶格的 不完整性的区域聚集的特性引入缺陷形成杂质富集区域，然后将这一层杂质 富集的损伤区域去掉，就可打到去除硅片中部分杂质的目的，减少硅片中少 数载流子复合中心，提高电池的短路

3、电流， 从而提高太阳电池光电转换效率。 发明内容本发明的目的在于针对现有技术中存在的不足，提供一种有效减小重掺 杂“死层”，提高电池短波响应，改进电池的Isc和Voc的硅片的磷吸杂工艺。 本发明的目的通过以下的技术方案实现：所述磷吸杂工艺包括如下步骤：(1)预沉积：将制备好绒面的硅片放入扩散炉里进行扩散，该工序共分六步，每步的时间、温度及各种气体的通入量详细如下：(a)、第一步扩散：扩散时间为 300400s,炉口温度为870880C,炉 中温度为820830C,炉尾温度为 820830C,氮气的通入量为 2200023000ml ，三氯氧磷和氧气的通入量均为0 ml ；(b)、第二步扩散：扩

4、散时间为 120180s,炉口温度为880890C,炉 中温度为 840850 ， 炉尾温度为860870 ， 氮气的通入量为 2200023000ml ，三氯氧磷和氧气的通入量均为0 ml ；(c)、第三步扩散：扩散时间为 360420s,炉口温度为870880C,炉 中温度为 850860 ， 炉尾温度为840860 ， 氮气的通入量为 2200023000ml ，三氯氧磷和氧气的通入量均为0 ml ；(d)、第四步扩散：扩散时间为12001300s,炉口温度为890900C,炉中温度为 860880 ， 炉尾温度为870890， 氮气的通入量为 2500026000ml ，三氯氧磷的通入

5、量为19002100 ml ，氧气的通入量为 0 ml ；(e)、第五步扩散：扩散时间为 300420s,炉口温度为840860C,炉 中温度为 820830 ， 炉尾温度为820830 ， 氮气的通入量为 2200023000ml ，三氯氧磷的通入量0 ml ，氧气的通入量为 30004000 ml ；(f)、第六步扩散：扩散时间为 300400s,炉口温度为 840860C,炉 中温度为 820830 ， 炉尾温度为820830 ， 氮气的通入量为 2200023000ml ，三氯氧磷的通入量0 ml ，氧气的通入量为 30004000 ml ；待扩散完成后，将硅片从扩散炉中取出并冷却至室

6、温，测量硅片的方块电阻，控制扩散后硅片的方块电阻在 100Q110Q之间；( 2) 去磷硅玻璃层： 上述预沉积处理后的硅片表面会形成一层较薄的磷硅玻璃层， 将经过预沉积处理后的硅片放入浓度为 5%6% 的氢氟酸溶液中浸泡 5060s ，去掉硅片表面上的磷硅玻璃层；( 3) 再分布： 将上述去掉磷硅玻璃层后的硅片再次放入扩散炉中进行高温氧化和吸杂处理，该工序共分4 步，每步的时间、温度及各种气体的通入量详细如下：(a)、第一步扩散：扩散时间为 300400s,炉口温度为10201040C, 炉中温度为10101030，炉尾温度为10101030，氮气的通入量为0ml ，三氯乙烷的通入量为 0 m

7、l ，氧气的通入量为 2000021000ml ；( b) 、第二步扩散：扩散时间为16201800s ，炉口温度为10001100，炉中温度为10001100，炉尾温度为10001100，氮气的通入量为 0 ml ，三氯乙烷的通入量500 ml ，氧气的通入量为 2000021000ml ；(c)、第三步扩散：扩散时间为180360s,炉口温度为10201040C,炉 中温度为 10101030 ， 炉尾温度为 10101030 ， 氮气的通入 量为2000022000 ml ，三氯乙烷的通入量0 ml ，氧气的通入量为 0 ml ；(d)、第四步扩散：扩散时间为300400s,炉口温度为1

8、0201040C,炉中温度为 10001100 ， 炉尾温度为 10001100 ， 氮气的通入 量为 2000022000 ml ，三氯乙烷的通入量为 0 ml ，氧气的通入量为 0 ml；待第四步完成后，将硅片从扩散炉中取出并冷却至室温后，测量硅片的方块电阻，控制方块电阻在 70 Q-80 Q之间；( 4 ) 去氧化层：经过再分布处理后的硅片表面上形成一层蓝色的氧化膜，将经过再分布处理后的硅片放入浓度为 5%6%的氢氟 酸溶液中浸泡 300400s,去掉硅片表面上的氧化层；( 5) 二次扩散：将上述经过清洗后去除掉表面氧化层的硅片放到扩散炉里再次进行扩散处理，该工序共分七步，每步的时间、温

9、度及各种气体的通入量详细如下：(a)、第一步扩散：扩散时间为300400s,炉口温度为900910C,炉中温度为 850860 ， 炉尾温度为 850870 ， 氮气的通入量为 2800030000 ml ，三氯氧磷的通入量0 ml ，氧气的通入量为 0 ml ；(b)、第二步扩散：扩散时间为 360420s,炉口温度为910920C,炉 中温度为 870880 ， 炉尾温度为 880890 ， 氮气的通入量为 2800030000 ml ，三氯氧磷的通入量0 ml ，氧气的通入量为 0 ml ；(c)、第三步扩散：扩散时间为 120210s,炉口温度为920930C,炉 中温度为 89090

10、0 ， 炉尾温度为 890900 ， 氮气的通入量为 2200023000 ml ，三氯氧磷的通入量0 ml ，氧气的通入量为 30004000 ml ；(d)、第四步扩散：扩散时间为 460580s,炉口温度为930940C,炉 中温度为 880890 ， 炉尾温度为 890900 ， 氮气的通入量为 2200023000 ml ，三氯氧磷的通入量20002100 ml ，氧气的通入量为 30004000 ml ；(e)、第五步扩散：扩散时间为 9201200s,炉口温度为930940C,炉 中温度为 880890 ， 炉尾温度为 890900 ， 氮气的通入量为 2200023000 ml

11、 ，三氯氧磷的通入量22002300 ml ，氧气的通入量为 30004000 ml ；(f)、第六步扩散：扩散时间为 300420s,炉口温度为 890900C,炉 中温度为 850860 ， 炉尾温度为 860870 ， 氮气的通入量为 2200023000 ml ，三氯氧磷的通入量0 ml ，氧气的通入量为 30004000 ml ；(g)、第七步扩散：扩散时间为300400s,炉口温度为900910C,炉中温度为 850860 ， 炉尾温度为 860870 ， 氮气的通入量为 2200023000- 4 -ml ，三氯氧磷的通入量 0 ml ，氧气的通入量为 0ml；二次扩散完毕后，将

12、硅片从扩散炉中取出并冷却至室温，测量硅片的少子寿命及方块电阻，控制二次扩散后硅片的方块电阻在30Q-40Q之间。本发明与传统工艺相比，优点在于：处理后硅片的平均少子寿命大大提高；按照电池片的正常工艺完成刻蚀、 PECVD 、丝网烧结等工艺后，做出的电池片平均转化效率进一步提高，电池片的各项电性能参数更优。具体实施方式下面结合具体实施对本发明作进一步描述。实施例 1选用生产线上效率水平在15%以下的单晶125X 125型号的硅片共 300片进行磷吸杂处理，具体步骤如下：( 1) 预沉积： 将制备好绒面的硅片放入扩散炉里进行扩散， 该工序共分六步，每步的时间、温度及各种气体的通入量详细如下：(a)

13、、扩散时间为 360s,炉口温度为875C,炉中温度为 825C,炉尾温度为 825， 氮气的通入量为 22500 ml ，三氯氧磷和氧气的通入量均为 0 ml ；(b)、扩散时间为150s,炉口温度为885C,炉中温度为 845C,炉尾温度为865， 氮气的通入量为22500 ml ，三氯氧磷和氧气的通入量均为0 ml ；(c)、扩散时间为 390s,炉口温度为875C,炉中温度为 855C,炉尾温度为855，氮气的通入量为22500ml ，三氯氧磷和氧气的通入量均为0 ml ；(d)、扩散时间为1250s,炉口温度为895C,炉中温度为870C,炉尾 温度为880，氮气的通入量为25500

14、 ml ，三氯氧磷的通入量为2000 ml ，氧气的通入量为 0 ml ；(e)、扩散时间为 360s,炉口温度为850C,炉中温度为 825C,炉尾温度为825 ，氮气的通入量为22500 ml ，三氯氧磷的通入量0 ml ，氧气的通入量为 3500ml ；(f)、扩散时间为360s,炉口温度为850C,炉中温度为825C,炉尾温度为825，氮气的通入量为22500 ml ，三氯氧磷的通入量 0 ml ，氧气的通入量为 3500 ml ；待扩散完成后,将硅片从扩散炉中取出并冷却至室温，用四探针测量硅片的方块电阻，该经过扩散处理后硅片的方块电阻为105Q ;( 2) 去磷硅玻璃层：上述预沉积处

15、理后的硅片表面会形成一层较薄的磷硅玻璃层， 将经过预沉积处理后的硅片放入浓度为 5.5% 的氢氟酸溶液中浸泡- 4 -56s,去掉硅片表面上的磷硅玻璃层；( 3) 再分布： 将上述去掉磷硅玻璃层后的硅片再次放入扩散炉中进行高温氧化和吸杂处理，该工序共分4 步，每步的时间、温度及各种气体的通入量详细如下：(a)、扩散时间为 360s,炉口温度为1030C,炉中温度为1020C,炉 尾温度为1020C,氮气的通入量为 0ml,三氯乙烷的通入量为 0 ml,氧气的 通入量为 20500 ml ；(b)、扩散时间为1760s,炉口温度为1050C,炉中温度为1050C,炉 尾温度为1050C,氮气的通

16、入量为 0 ml,三氯乙烷的通入量 500 ml,氧气的 通入量为 20500ml ；(c)、扩散时间为 320s,炉口温度为1030C,炉中温度为1020C,炉尾温度为1020，氮气的通入量为21000 ml ，三氯乙烷的通入量 0 ml ，氧气的通入量为 0 ml ；(d)、扩散时间为 360s,炉口温度为1030C,炉中温度为1050C,炉 尾温度为1050，氮气的通入量为2100 ml ，三氯乙烷的通入量为 0 ml ，氧气的通入量为 0 ml ；待第四步完成后，将硅片从扩散炉中取出并冷却至室温后，用四探针测量硅片的方块电阻，该经过再分布处理后硅片的方块电阻为75 Q左右；( 4 )去

17、氧化层：经过再分布处理后的硅片表面上形成一层蓝色的氧化膜， 将经过再分布处理后的硅片放入浓度为5.5% 的氢氟酸溶液中浸泡350s，去掉硅片表面上的氧化层；( 5) 二次扩散： 将上述经过清洗后去除掉表面氧化层的硅片放到扩散炉里再次进行扩散处理，该工序共分七步，每步的时间、温度及各种气体的通 入量详细如下：(a)、扩散时间为 360s,炉口温度为905C,炉中温度为 855C,炉尾温度为860 ，氮气的通入量为29000 ml ，三氯氧磷的通入量0 ml ，氧气的通入量为 0 ml ；(b)、扩散时间为390s,炉口温度为915C,炉中温度为 875C,炉尾温度为885 ，氮气的通入量为290

18、00 ml ，三氯氧磷的通入量0 ml ，氧气的通入量为 0 ml ；(c)、扩散时间为180s,炉口温度为925C,炉中温度为 895C,炉尾 温度为895 ，氮气的通入量为22500 ml ，三氯氧磷的通入量0 ml ，氧气的- 5 -通入量为 3500 ml ；(d)、扩散时间为520s,炉口温度为935C,炉中温度为 885C,炉尾温度为895，氮气的通入量为22500 ml ，三氯氧磷的通入量2050ml ，氧气的通入量为 3500 ml ；(e)、扩散时间为1080s,炉口温度为935C,炉中温度为885C,炉尾温度为895，氮气的通入量为22500 ml ，三氯氧磷的通入量225

19、0ml ，氧气的通入量为 3400 ml ；(f)、扩散时间为360s,炉口温度为895C,炉中温度为855C,炉尾温度为 865，氮气的通入量为 22500 ml ，三氯氧磷的通入量 0 ml ，氧气的通入量为 3300 ml ；(g)、扩散时间为380s,炉口温度为905C,炉中温度为 855C,炉尾温度为865 ，氮气的通入量为22000 ml ，三氯氧磷的通入量0 ml ，氧气的通入量为 0ml ；二次扩散完毕后，将硅片从扩散炉中取出并冷却至室温，用少子寿命仪测量硅片的少子寿命，用四探针测量硅片的方块电阻；经测量，本发明的工艺处理后硅片的平均少子寿命比传统工艺扩散后的少子寿命高6.0区

20、s左右，硅片的方块电阻为 35 Q左右。按照电池片的正常工艺完成刻蚀、 PECVD 、丝网烧结等工艺后，做出的电池片平均转化效率达到 16.26 ，比传统工艺提高了 2 左右。实施例 2选用生产线上效率水平在15%以下的单晶125X 125型号的硅片共 300片进行磷吸杂处理，具体步骤如下：( 1) 预沉积： 将制备好绒面的硅片放入扩散炉里进行扩散， 该工序共分六步，每步的时间、温度及各种气体的通入量详细如下：(a)、扩散时间为 300s,炉口温度为870C,炉中温度为 820C,炉尾温度为 823， 氮气的通入量为 22100 ml ，三氯氧磷和氧气的通入量均为 0 ml;(b)、扩散时间为

21、120s,炉口温度为880C,炉中温度为 840C,炉尾温度为860， 氮气的通入量为22100 ml ，三氯氧磷和氧气的通入量均为0 ml ；(c)、扩散时间为 360s,炉口温度为870C,炉中温度为 850C,炉尾温度为840， 氮气的通入量为22000 ml ，三氯氧磷和氧气的通入量均为0 ml ；(d)、扩散时间为1200s,炉口温度为890C,炉中温度为860C,炉尾温度为870，氮气的通入量为25000 ml ，三氯氧磷的通入量为 1900 ml ，氧- 6 -气的通入量为 0 ml ；(e)、扩散时间为 300s,炉口温度为 840C,炉中温度为 820C,炉尾 温度为 820

22、 ，氮气的通入量为 22000 ml ，三氯氧磷的通入量0 ml ，氧气的通入量为 3000 ml ；(f)、扩散时间为300s,炉口温度为840C,炉中温度为820C,炉尾温 度为 820，氮气的通入量为 22000 ml ，三氯氧磷的通入量 0 ml ，氧气的通 入量为 3000 ml ；待扩散完成后,将硅片从扩散炉中取出并冷却至室温，用四探针测量硅片的方块电阻，该经过扩散处理后硅片的方块电阻为110Q左右；( 2) 去磷硅玻璃层：去磷硅玻璃层： 上述预沉积处理后的硅片表面会形成一层较薄的磷硅玻璃层，将经过预沉积处理后的硅片放入浓度为 5% 的氢氟酸溶液中浸泡60s,去掉硅片表面上的磷硅玻

23、璃层；( 3) 再分布： 将上述去掉磷硅玻璃层后的硅片再次放入扩散炉中进行高温氧化和吸杂处理，该工序共分4 步，每步的时间、温度及各种气体的通入量详细如下：(a)、扩散时间为 300s,炉口温度为1020C,炉中温度为1010C,炉 尾温度为1010C,氮气的通入量为 0ml,三氯乙烷的通入量为 0 ml,氧气的 通入量为 20000ml ；(b)、扩散时间为1620s,炉口温度为1000C,炉中温度为1000C,炉 尾温度为1000C,氮气的通入量为 0 ml,三氯乙烷的通入量 500 ml,氧气的 通入量为 20000ml ；(c)、扩散时间为180s,炉口温度为1020C,炉中温度为10

24、10C,炉 尾温度为1010，氮气的通入量为20000 ml ，三氯乙烷的通入量 0 ml ，氧气的通入量为 0 ml ；(d)、扩散时间为 300s,炉口温度为1020C,炉中温度为 1030C,炉 尾温度为1010，氮气的通入量为20000 ml ，三氯乙烷的通入量为0 ml ，氧气的通入量为 0 ml ；待第四步完成后，将硅片从扩散炉中取出并冷却至室温后，用四探针测量硅片的方块电阻，该经过再分布处理后硅片的方块电阻为80 Q左右；( 4 )去氧化层：经过再分布处理后的硅片表面上形成一层蓝色的氧化膜， ，将经过再分布处理后的硅片放入浓度为5% 的氢氟酸溶液中浸泡400s，去掉硅片表面上的氧

25、化层；- 10 -( 5) 二次扩散：将上述经过清洗后去除掉表面氧化层的硅片放到扩散炉里再次进行扩散处理，该工序共分七步，每步的时间、温度及各种气体的通 入量详细如下：(a)、扩散时间为 300s,炉口温度为900C,炉中温度为 850C,炉尾温度为850 ，氮气的通入量为28000 ml ，三氯氧磷的通入量0 ml ，氧气的通入量为 0 ml ；(b)、扩散时间为360s,炉口温度为910C,炉中温度为 870C,炉尾 温度为880 ，氮气的通入量为28030 ml ，三氯氧磷的通入量0 ml ，氧气的通入量为 0 ml ；(c)、扩散时间为120s,炉口温度为 920C,炉中温度为 890

26、C,炉尾温度为890 ，氮气的通入量为22000 ml ，三氯氧磷的通入量0 ml ，氧气的通入量为 3000 ml ；(d)、扩散时间为460s,炉口温度为930C,炉中温度为 880C,炉尾温度为890，氮气的通入量为22000 ml ，三氯氧磷的通入量2000ml ，氧气的通入量为 3000 ml ；(e)、扩散时间为 920s,炉口温度为 930C,炉中温度为 880C,炉尾温度为890，氮气的通入量为22000 ml ，三氯氧磷的通入量2200ml ，氧气的通入量为 3000 ml ；(f)、扩散时间为300s,炉口温度为890C,炉中温度为850C,炉尾温 度为860，氮气的通入量

27、为22000 ml ，三氯氧磷的通入量 0 ml ，氧气的通入量为 3000ml ；(g)、扩散时间为300s,炉口温度为900C,炉中温度为 850C,炉尾温度为860，氮气的通入量为22000ml ，三氯氧磷的通入量 0 ml ，氧气的通入量为 0ml ；二次扩散完毕后，将硅片从扩散炉中取出并冷却至室温，用少子寿命仪测量硅片的少子寿命，用四探针测量硅片的方块电阻；经测量，本发明的工艺处理后硅片的平均少子寿命比传统工艺扩散后的少子寿命高4.6区s左右，硅片的方块电阻为 40 Q左右。按照电池片的正常工艺完成刻蚀、 PECVD 、丝网烧结等工艺后，做出的电池片平均转化效率达到15.80，比传统

28、工艺提高了1.6左右。实施例 3选用生产线上效率水平在15%以下的单晶125X 125型号的硅片共 300- 8 -片进行磷吸杂处理，具体步骤如下：( 1) 预沉积： 将制备好绒面的硅片放入扩散炉里进行扩散， 该工序共分六步，每步的时间、温度及各种气体的通入量详细如下：(a)、扩散时间为 400s,炉口温度为 880C,炉中温度为 830C,炉尾温度为 830， 氮气的通入量为 23000 ml ，三氯氧磷和氧气的通入量均为 0 ml ；(b)、扩散时间为180s,炉口温度为890C,炉中温度为 850C,炉尾温度为870， 氮气的通入量为23000 ml ，三氯氧磷和氧气的通入量均为0 ml

29、 ；(c)、扩散时间为 420s,炉口温度为 880C,炉中温度为 860C,炉尾温度为860， 氮气的通入量为23000 ml ，三氯氧磷和氧气的通入量均为0 ml ；(d)、扩散时间为1300s,炉口温度为900C,炉中温度为880C,炉尾 温度为 890，氮气的通入量为 26000 ml ，三氯氧磷的通入量为 2100 ml ，氧 气的通入量为 0 ml ；(e)、扩散时间为 420s,炉口温度为 860C,炉中温度为 830C,炉尾温度为 830 ，氮气的通入量为 23000 ml ，三氯氧磷的通入量0 ml ，氧气的通入量为 4000 ml ；(f)、扩散时间为400s,炉口温度为8

30、60C,炉中温度为830C,炉尾温度为 830，氮气的通入量为 23000 ml ，三氯氧磷的通入量 0 ml ，氧气的通 入量为 4000 ml ；待扩散完成后,将硅片从扩散炉中取出并冷却至室温，用四探针测量硅片的方块电阻，该经过扩散处理后硅片的方块电阻为100Q左右；( 2) 去磷硅玻璃层： 上述预沉积处理后的硅片表面会形成一层较薄的磷硅玻璃层，将经过预沉积处理后的硅片放入浓度为 6% 的氢氟酸溶液中浸泡50s,去掉硅片表面上的磷硅玻璃层；( 3) 再分布： 将上述去掉磷硅玻璃层后的硅片再次放入扩散炉中进行高温氧化和吸杂处理，该工序共分4 步，每步的时间、温度及各种气体的通入量详细如下：(

31、a)、扩散时间为 400s,炉口温度为1040C,炉中温度为1030C,炉 尾温度为1030C,氮气的通入量为 0ml,三氯乙烷的通入量为 0 ml,氧气的 通入量为 21000ml ；(b)、扩散时间为1800s,炉口温度为1100C,炉中温度为1100C,炉 尾温度为1100，氮气的通入量为0 ml ，三氯乙烷的通入量 500 ml ，氧气的通入量为 21000ml ；(c)、扩散时间为 360s,炉口温度为1040C,炉中温度为1030C,炉尾温度为1030，氮气的通入量为22000 ml ，三氯乙烷的通入量 0 ml ，氧气的通入量为 0 ml ；(d)、扩散时间为 400s,炉口温度

32、为1040C,炉中温度为1100C,炉尾温度为1100，氮气的通入量为22000 ml ，三氯乙烷的通入量为 0 ml ，氧气的通入量为 0 ml ；待第四步完成后，将硅片从扩散炉中取出并冷却至室温后，用四探针测量硅片的方块电阻，该经过再分布处理后硅片的方块电阻为70 Q左右；( 4 )去氧化层：经过再分布处理后的硅片表面上形成一层蓝色的氧化膜， ，将经过再分布处理后的硅片放入浓度为 6% 的氢氟酸溶液中浸泡 300s， 去掉硅片表面上的氧化层；( 5) 二次扩散： 将上述经过清洗后去除掉表面氧化层的硅片放到扩散炉里再次进行扩散处理，该工序共分七步，每步的时间、温度及各种气体的通入量详细如下：

33、(a)、扩散时间为 400s,炉口温度为 910C,炉中温度为 860C,炉尾温度为870 ，氮气的通入量为30000 ml ，三氯氧磷的通入量0 ml ，氧气的通入量为 0 ml ；(b)、扩散时间为420s,炉口温度为920C,炉中温度为 880C,炉尾温度为890 ，氮气的通入量为30000 ml ，三氯氧磷的通入量0 ml ，氧气的通入量为 0 ml ；(c)、扩散时间为 210s,炉口温度为 930C,炉中温度为 900C,炉尾温度为900 ，氮气的通入量为23000 ml ，三氯氧磷的通入量0 ml ，氧气的通入量为 4000 ml ；(d)、扩散时间为580s,炉口温度为940C

34、,炉中温度为 890C,炉尾 温度为900，氮气的通入量为23000 ml ，三氯氧磷的通入量2100ml ，氧气的通入量 4000 ml ；(e)、扩散时间为1200s,炉口温度为940C,炉中温度为890C,炉尾 温度为900，氮气的通入量为23000 ml ，三氯氧磷的通入量 22002300ml ，氧气的通入量为 4000 ml ；(f)、扩散时间为420s,炉口温度为900C,炉中温度为860C,炉尾温 度为870，氮气的通入量为23000 ml ，三氯氧磷的通入量 0 ml ，氧气的通入量为 4000 ml ；(g)、扩散时间为400s,炉口温度为910C,炉中温度为 860C,炉

35、尾温度为870 ，氮气的通入量为23000 ml ，三氯氧磷的通入量0 ml ，氧气的通入量为 0ml ；二次扩散完毕后，将硅片从扩散炉中取出并冷却至室温，用少子寿命仪测量硅片的少子寿命，用四探针测量硅片的方块电阻；经测量发现，本发明的工艺处理后硅片的平均少子寿命比传统工艺扩散后的少子寿命高4.8区s左右，硅片的方块电阻为30Q左右。按照电池片的正常工艺完成刻蚀、 PECVD 、丝网烧结等工艺后，做出的电池片平均转化效率达到 15.60，比传统工艺提高了1.4左右。- 14 -权利要求书1、一种磷吸杂工艺，其特征在于包括如下步骤：(1)预沉积：将制备好绒面的硅片放入扩散炉里进行扩散，预沉积工序

36、 共分六步，每步的时间、温度及各种气体的通入量详细如下：(a)、第一步扩散：扩散时间为 300400s,炉口温度为870880C,炉 中温度为820830C,炉尾温度为 820830C,氮气的通入量为 2200023000 ml;(b)、第二步扩散：扩散时间为 120180s,炉口温度为880890C,炉 中温度为840850C,炉尾温度为 860870C,氮气的通入量为 2200023000 ml;(c)、第三步扩散：扩散时间为 360420s,炉口温度为870880C,炉 中温度为850860C,炉尾温度为 840860C,氮气的通入量为 2200023000 ml;(d)、第四步扩散：扩

37、散时间为 12001300s,炉口温度为890900C, 炉中温度为860880 C ,炉尾温度为870890C,氮气的通入量为 2500026000 ml,三氯氧磷的通入量为 19002100 ml ;(e)、第五步扩散：扩散时间为 300420s,炉口温度为840860C,炉 中温度为820830C,炉尾温度为 820830C,氮气的通入量为 2200023000 ml,氧气的通入量为 30004000 ml;(f)、第六步扩散：扩散时间为 300400s,炉口温度为 840860C,炉 中温度为820830 C ,炉尾温度为820830 C,三氯氧磷的通入量为 2200023000 ml

38、 ,氧气的通入量为 30004000 ml ;待扩散完成后，将硅片从扩散炉中取出并冷却至室温，测量硅片的方块 电阻，控制扩散后硅片的方块电阻在100Q110Q之间；(2)去磷硅玻璃层：上述预沉积处理后的硅片表面会形成一层较薄的磷 硅玻璃层，将经过预沉积处理后的硅片放入浓度为5%6%的氢氟酸溶液中浸泡5060s,去掉硅片表面上的磷硅玻璃层；(3)再分布：将上述去掉磷硅玻璃层后的硅片再次放入扩散炉中进行高 温氧化和吸杂处理，再分布工序共分4步，每步的时间、温度及各种气体的通入量详细如下：(a)、第一步扩散：扩散时间为300400s,炉口温度为10201040C,炉 中温度为 10101030 ，

39、炉尾温度为 10101030 ， 氧气的通入 量为 2000021000ml ；( b) 、第二步扩散：扩散时间为16201800s ，炉口温度为10001100，炉中温度为10001100，炉尾温度为10001100 ，三氯乙烷的通入量500ml ，氧气的通入量为 2000021000ml ；(c)、第三步扩散：扩散时间为180360s,炉口温度为10201040C,炉 中温度为 10101030 ， 炉尾温度为 10101030 ， 氮气的通入 量为 2000022000 ml ；(d)、第四步扩散：扩散时间为300400s,炉口温度为10201040C,炉中温度为 10001100 ， 炉尾温度为 10001100 ， 氮气的通入 量为 2000022000 ml ；待第四步完成后，将硅片从扩散炉中取出并冷却至