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文档简介

Laser Shorting CutEdge CleanerOLB Pre-BondOLB Main BondDispenserPCB Main BondAuto PackingAOIPCBILoaderMark识别plasma超声波不织布搬送至下游酒精Edge Cleaner流程流程展开展开目的及作用：清洁玻璃上particle，避免对EC单元后的制程造成影响。TFTCFparticle超声波上偏光板&上偏光板保护膜控制操作箱转换器马达风机尘粒过滤器空气过滤器 清洗头过滤器故障检测器过滤器故障检测器马达风机空气过滤器正压清洗头内超声波压力腔超声波particle负压清洗头内真空腔尘埃过滤器工作示意图：原理：由喷嘴产生的超声波清除尘粒，将被吸附在panel上的微粒分离出来最后吸至真空腔。 UVV压力腔真空腔真空腔基板移动方向超声波发生器(VUV型) VUU真空腔压力腔压力腔基板移动方向超声波发生器超声波发生器(UVU型)入口出口高速流动的空气清洗头内的超声波是通过洁净空气高速流动产生的：进入超声波发生器气体膨胀压缩气体出口出迅速膨胀形成超声波特点：1.结构简单易于维护；2.超声波性能几乎永不衰减；3.非接触式清洗，避免清洗工件划伤或损坏；4.UVU型能去除99%的1.6um及以上

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