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文档简介

1、会计学1电子显微镜技术电子显微镜技术只能达到20002500，极限放大倍数为1500倍。第1页/共42页基础。第2页/共42页 1932-1933年，德国制成了世界上第一台透射电子显微镜（具有三个透镜，冷阴极放电电子源，分辨率500）。 1939年，德国西门子公司生产了第一台作为商品的透射电镜，分辨率已能达到100。 1942年英国制成了第一台扫描电镜。 电镜的出现是人们探索微观世界的一大突破。到现在最先进的透射电镜，其分辨率已能达到12，已能观察到重金属原子和大分子像，电镜在科学的各个领域得到了广泛的应用。第3页/共42页第4页/共42页00.61sinRMnnM第5页/共42页第6页/共4

2、2页第7页/共42页000.61sinRrMn 对于玻璃透镜来说，最大的孔径半角 =7075o 在物方介质为油的情况下，n1.5 , 其数值孔径 nsin1.251.35, 因此式（）可以简化为： r0 1/2 , 这又称为半波公式。 第8页/共42页第9页/共42页第10页/共42页第11页/共42页111pqfpqffMpf第12页/共42页 如电子运动方向与磁场（力线）垂直，运动轨迹是 一个圆， 半径 ，其中 为电子质量，vo 为电子 初速度，e 为电子电荷，H 为磁场强度。当电子运动 方向与磁力线成一定角度时，则每个电子的速度矢量 v 将分解为两个分量。一个平行于磁力线为vz ,一个垂

3、 直于磁力线为vr。平行分量使电子沿磁力线方向运动， 垂直分量使电子作圆周运动。因此，在此情况下，电因此，在此情况下，电 子运动的轨迹是一个螺旋线。子运动的轨迹是一个螺旋线。 0m vReH，m第13页/共42页222rrrmvRmTvv eHeH00coszvvv第14页/共42页111pqf第15页/共42页第16页/共42页第17页/共42页第18页/共42页12、电子光学系统（镜筒部分）、真空系统附属系统3、电源系统第19页/共42页第20页/共42页第21页/共42页第22页/共42页、试样必须非常干净。第23页/共42页第24页/共42页一级复型二级复型第25页/共42页第26页/共42页第27页/共42页第28页/共42页弹非弹1Z非弹性散射部分弹性散射部分第29页/共42页第30页/共42页第31页/共42页第32页/共42页第33页/共42页 二次电子的主要特点 1）由于产额受入射角影响大，所以对试样表面状态 敏感； 2）在收集栅加正压时，具有翻越障碍，呈曲线进入探测器的能力； 3）像的空间分辨率高（优于100）； 4）二次电子产额与原子序数关系不大。第34页/共42页第35页/共42页

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