彩色滤光片研究开发和生产

1、彩色滤光片的研究开发和生产彩色滤光片的研究开发和生产深圳莱宝高科技有限公司深圳莱宝高科技有限公司SHENZHEN LAIBAO HI-TECH CO., LTD.彩色滤光片显示器的应用彩色滤光片显示器的应用 彩色滤光片彩色滤光片显示器显示器彩色手机笔记本电脑电子字典可视电话PDA监控面板游戏机 偏光片偏光片 彩色滤光片彩色滤光片 定向层定向层 液晶液晶 ITO透明电极透明电极 偏光片偏光片 背光源背光源彩色滤光片在彩色彩色滤光片在彩色STN显示器中的应用显示器中的应用基板玻璃基板玻璃基板玻璃基板玻璃 偏光片偏光片 彩色滤光片彩色滤光片 定向层定向层 液晶液晶 TFT ITO透明电极透明电极 偏

2、光片偏光片 背光源背光源彩色滤光片在彩色滤光片在TFT显示器中的应用显示器中的应用基板玻璃基板玻璃基板玻璃基板玻璃深圳莱宝深圳莱宝CF生产线生产线 2002年5月设备到厂，开始安装调试 2002年9月投入试生产 月生产能力：3万片 填补了国内彩色滤光片生产的空白CF 的研究开发和生产的研究开发和生产 前言前言一、彩色滤光片的构成一、彩色滤光片的构成二、彩色滤光片生产线简介二、彩色滤光片生产线简介三、试验和研究开发工作三、试验和研究开发工作四、彩色滤光片的品质性能四、彩色滤光片的品质性能五、彩色滤光片设计要点五、彩色滤光片设计要点CF 的研究开发和生产的研究开发和生产一、一、CF 的构成的构成

3、透过型透过型-TRANSMISSIVE TYPE 反射型反射型-TRANSFLECTIVE TYPE （REFLECTIVE TYPE）透过型透过型 CF 的构造的构造 红红 色色 光光 绿绿 色色 光光 蓝蓝 色色 光光 透明导电膜透明导电膜 保护膜保护膜 红绿蓝膜红绿蓝膜 黑矩阵膜黑矩阵膜 SiO2 膜膜 白白 色色 光光 白白 色色 光光 白白 色色 光光玻玻 璃璃 基基 板板反射型反射型 CF 的构造的构造 红红 色色 光光 绿绿 色色 光光 蓝蓝 色色 光光 透明导电膜透明导电膜 保护膜保护膜 红绿蓝膜红绿蓝膜 黑矩阵膜黑矩阵膜 反射膜反射膜 开口开口 白白 色色 光光 白白 色色

4、光光 白白 色色 光光玻玻 璃璃 基基 板板CF 的研究开发和生产的研究开发和生产二、彩色滤光片生产线简介二、彩色滤光片生产线简介 1、CF 制做方法制做方法 2、CF 生产流程生产流程彩色滤光片制做方法彩色滤光片制做方法电着法 印刷法 光刻型 非光刻型 喷墨法 颜料分散法 彩胶法颜料分散型光刻胶颜料分散型光刻胶CF的制做的制做 光刻胶 滴胶 玻璃 旋转涂胶 紫外线 铬掩膜板 图形曝光 图形显像CF 生产流程生产流程 1000 级净化级净化 O/C 线线 B 线线 G 线线 R 线线 BK 线线 后烘烤后烘烤 现现 像像 曝曝 光光 预烘烤预烘烤 旋转涂胶旋转涂胶 清洗清洗 后烘烤后烘烤 现现

5、 像像 曝曝 光光 预烘烤预烘烤 旋转涂胶旋转涂胶 清洗清洗 后烘烤后烘烤 现现 像像 曝曝 光光 预烘烤预烘烤 旋转涂胶旋转涂胶 清洗清洗 后烘烤后烘烤 现现 像像 曝曝 光光 预烘烤预烘烤 旋转涂胶旋转涂胶 清洗清洗 后烘烤后烘烤 预烘烤预烘烤 旋转涂胶旋转涂胶 清清 洗洗CF 的研究开发和生产的研究开发和生产三、试验和研究开发工作三、试验和研究开发工作 1、工艺试验与结果、工艺试验与结果 2、研发工作、研发工作BK 膜特性膜特性材料：树脂类颜料分散型黑色光刻胶特点：生产流程简单 成本低 反射率低 污染小膜厚0.81.5m时，其OD值为1.83.5以上最小宽度：10 mBM 膜厚膜厚 -

6、OD值值1.522.533.5412BK 膜厚( u m)OD 值高O D值 胶普通B K 胶BK 膜的样式膜的样式 BM BS BL (Black matrix) (Black Stripe) (Black Less)R、G、B 膜的特性膜的特性1、材料：树脂类颜料分散型彩色光刻胶2、特性：色度（透过型和反射型） 透光率 膜厚 尺寸精度膜厚膜厚 - 色度色度 0.6 0.5 0.4 y 0.3 0.2 0.1 0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 x膜厚膜厚 - 后烘烤后烘烤60708090100012345后烘烤次数膜减率( % )BK 膜R 膜G 膜B 膜O/C

7、 膜5膜厚膜厚-转速转速0.60.811.21.41.6450500550600650700转速 ( rpm)膜厚 ( um)膜厚均匀性膜厚均匀性1230.00.20.40.60.81.01.2膜厚 （um ）位置 膜厚偏差：1.83%曝光能量曝光能量-线宽线宽697071727374100200300400500600曝光能量（m J / c m 2)线宽（u m ）MASK 线宽：70um现像时间、温度现像时间、温度-线宽线宽70717273747530405060现像时间（S ）线宽（u m ）3525MASK线宽：70um图形对位控制图形对位控制一、MASK 的制做精度和套合精度二、采

8、用先进的图象处理和对位技术，提高对位精度三、研究设计了曝光机精密温控装置，稳定对位精度四、采取有效的工艺控制保证对位精度O/C 膜层膜层一、材料：丙烯系树脂二、膜厚：12um三、功能 1、保护RGB色层 2、表面平坦化 微观波纹度：无O/C层，0.8600.1225um 有O/C层，0.6770.963umITO 膜层膜层 镀膜工艺：RF+DC 镀膜温度：小于230 电 阻 率：1.8x10-4.cm 面 电 阻：7-15 透 过 率：大于80%ITO膜电阻率膜电阻率-RF功率分量功率分量1.522.533.501020304050RF功率分量（% ）RF功率分量（% ）ITO膜电阻率（1 0

9、 - 4 .cm）ITO膜电阻率（1 0 - 4 .cm）CF 的研究开发和生产的研究开发和生产四、彩色滤光片的品质性能四、彩色滤光片的品质性能 彩色滤光片产品主要性能指标彩色滤光片产品主要性能指标 彩色滤光片产品主要性能指标（一）彩色滤光片产品主要性能指标（一）项项 目目性能指标性能指标1.基片 材料钠钙玻璃，抛光，镀SiO2膜长度300、400、420mm，14、16”宽度300、370mm，14”厚度0.4、0.5、0.55、0.7、1.1mm2.Al 膜厚1000反射率90%开口精度 3m彩色滤光片产品主要性能指标（二）彩色滤光片产品主要性能指标（二）项项 目目性能指标性能指标3.BM

10、 材料颜料分散型光刻胶膜厚1.0mOD值1.7（ 3.0）图形精度 3m4.RGB 材料颜料分散型光刻胶膜厚1.0m图形精度 3m彩色滤光片产品主要性能指标（三）彩色滤光片产品主要性能指标（三）项项 目目性能指标性能指标5.O/C 材料丙烯系树脂膜厚1.4m透过率80% (550nm)像素间高度差 0.15m6.ITO 膜厚2000电阻Rs10 透过率80% (550nm)彩色滤光片产品主要性能指标（四）彩色滤光片产品主要性能指标（四）项项 目目性能指标性能指标7.色度 透射型透射型x, y R0.585, 0.3450.406, 0.303G0.305, 0.5200.312, 0.357B0.140, 0.1700.224, 0.263YR1515G4545B4040彩色滤光片产品主要性能指标（五）彩色滤光片产品主要性能指标（五）项项 目目性能指标性能指标8.可靠性 温度稳定性250, 1小时1.无膨胀、无开裂、 无损伤 2. 透过率变化率 10% 3. E*ab5 耐化学性能 5% NaOH, 50, 20分钟NMP, 25, 30分钟丙酮，25,30分钟O/C 附着性3M, No. 610 胶带无损伤ITO稳定性250, 1小时电阻变化率10%CF 的研究开发和生产的研究开发和生产五、彩色滤光片设计要点五、彩色滤光片设计要点 1