C-SCAN反射性扫描的操作步骤

1、C-SCAN反射性扫描的操作步骤(於前期工作完成后， 才开始 C-SCAN)1. 在 Instruments窗口中 : Mode 选择“ Reflected2. 将探头 (transducer)移 至待测区域的中心位置3. 在“ Gate 窗口”中 , Gate 栏,选“ FFS (Front Surface Follower 表面追踪线 )”,勾 “Enabled ”, 激活黃线FFS4. 在 Gate窗口中 , Gate栏, 选“ Data Gate 1”,勾“ Enabled”,激活“ Data Gate 1”;勾 “Follow FSF”; 红框 (Data Gate 1)便会跟着黄线

2、“ FSF ”和讯号的第一切点移动5. 選取第二組波 , 即樣品真正的信号 , 如下图所示。把第二組波放大6. 将黄线 FSF移至第二組波的第一支波上 , 即 Package的表面上 , 如下图所示。 （注意: 在 扫描过程中，保证第一支波一定要时刻被黄线切到 ）FSF7.如要看 Die surface,将 Data Gate 1 红（ 框 ） 框住下图中的第二支波 （即從表面算起的第 介面 ）。Data Gate 18. 微调焦点 : 在 Motor窗口, 选最慢速度 , 点击 F5/F6, 将探头移上或下 , 注意右上数字 Amp, 直至波峰 （Amp 数字 ）为最大9. 微调焦点时 ,

3、若波形跑掉 , 勾视波器右上的“ FSF Tracking ”,波形便會跟着 FSF跑10. 点击 Instruments 窗口中的“ GAIN”按钮，改变增益值，使波形的最高反射率（Amp）在 6080%左右11. 调节 Date Gate 1的上下大小，使扫描中屏幕中的一组信号都能超过红框的高度，不 能让其他噪声波超过红框12. 设定开始扫瞄位置 : 在 Motor 窗口中 , 不勾 Position Lock, 按 Set Start,把 现在位置设定成开始扫瞄位置 , 勾 Position Lock13. 在Scan Tools窗口中: 在Length的SCAN和STEP, 设定扫瞄范

4、围大小 ; 设定 Data Increment （扫瞄点间距 ）, Data Increment越 小 , 分辨率越高14. 也可以让机器自动确定样品的大小。操作如下 :把探头移到样品中间打开 FSF gate把 FSF （黄线）放到 从表面反射回来的波形上按下图所示的“ Auto Center & Resize” , 即可让机器自动计算样品的大小 , 并且 把探头移到样品的中间，設定为 Start 位置。 若按的是“ Auto Center on Par”t 机器只會自动把探头移到样品的中间，設定为Start 位置。15. 在 Scan Tools窗口中 , 选 Slow / Medium / Fast, 可改扫瞄速度 ; 但太快可能会令图象不16. 点击“绿色 C-Scan键”或“ Begin Scan ” , 开始扫描。