ATM机知识培训课程

1、欢迎进入欢迎进入atm机知识培训课堂机知识培训课堂 atm机知识培训机知识培训 一、一、atmatm机器开关机知识机器开关机知识二、二、atmatm机器测试基础知识机器测试基础知识三、机检流程与内容三、机检流程与内容四、机检型号转换与注意事项四、机检型号转换与注意事项五、机检异常情况与处理方法五、机检异常情况与处理方法六、六、atmatm日常保养日常保养一、一、atmatm机器开关机知识机器开关机知识开关开关机键机键备注：1、开/关机键，时间间隔15s。2、atm机关机时间过长无法正常复位时，正面主机上有一个reset复位小孔，用回形针顶一下，若还无法复位，将所有模块分别关闭完全后，将主机电源

2、关闭，待十分钟再开。二、二、atmatm机器测试基础知识机器测试基础知识a) a)atmatm检测机器简介检测机器简介1、6大测试模块2、上料盒3、下料盒b)b)atmatm检测机器校准操作步骤及流程检测机器校准操作步骤及流程1、电阻率/厚度校准操作步骤及流程2、少子寿命校准操作步骤及流程3、ttv校准操作步骤及流程1. 1.atmatm测试机器简介测试机器简介测试模块简介测试模块简介主界面主界面下料盒设置下料盒设置1、裂纹、孔洞测试模块测试界面2、少子寿命测试模块测试界面3、外观测试模块测试界面4、电阻率测试模块测试界面5、ttv测试模块测试界面、外观测试模块测试界面主界面备注：1、显示各测

3、试模块信息；2、显示各下料盒内数据；3、显示atm机异常信息；下料盒设置备注：1、电阻率0.5-32、电阻率0.5-33、电阻率3-64、未响应（重测）备注：5、裂纹、孔洞6、ttv不良7、其他不良8、未响应（重测）2. 2.atmatm测试机器校准测试机器校准步骤及流程步骤及流程stopstoprecorderrecorderautosettingautosetting少子寿命校准：少子寿命校准：ctrl两下 2 enter进入2号模块步骤：步骤：1. 进入2号模块：点击stop进入recorder 放入正常硅片点击autosetting测试；2. 测试完毕后取回硅片，点击 star正常测试

4、。注：少子寿命每班需校准一次。2. 2.atmatm测试机器校准测试机器校准电阻率及厚度校准：电阻率及厚度校准：1) ctrl两下 2 enter进入4号模块，点击stop2)点击calibrate thickness（校准厚度），在随后弹出的界面中输入标片的厚度数值，点击“ok”，并查看校准厚度值是否在此范围内，若在此范围内需记录其校准值，若不在此范围内需重新校准。3)电阻率校准：取出标片 再将标片置于电阻率探头下 点击compensate resistivity(补偿电阻）点击new。4)点击calibrate resistivity(校准电阻）输入电阻率标准值点击ok并查看电阻率值是否在

5、此范围内，若在此范围内需记录其校准值，若不在需重新校准拿出标片。5)点击options(选项）点击save measurement options(保存测量选项） 输入校准时间.6)校准完成后需点击star。注意事项：注意事项： 放置标片校准时需与探头对齐，否则影响其准确性，厚度校准区域勿与电阻率校准区域混淆。 厚度校准误差值： 2um 电阻率校准误差值： 0.1 欧姆.厘米 校准时间：每班校准一次ttvttv校准：校准： 1） ctrl两下 2 enter进入第五模块 点击stop 点击settings 击password 输入密码12345。settingssettings输入输入密码密码

6、2 2）点击newcalibration 找到相应校准文件（04/05）3） 放入校准（04/05），标准片校准区域对准模块的三条红外线。注意：仪器上的三个光点必须与标片上的三点对准。4）连续点击ok 十次 取出校准片备注：备注：1、标准片校准区域应对准红外线放置，否则影响其校准准确性；2、 04、05校准片取用校准时，应一一对应，勿混淆；3、校准完毕后应将此模块关闭，再重新打开测试，否则测试不出；三、三、atmatm检测流程与内容检测流程与内容a.a.每班上班检验前应做：每班上班检验前应做：1.查看下料盒是否与盒外标识一致，如不一致应及时将其更改过来；2.查看本班检验的硅片供应商及型号是否与

7、上个班检验的一致，如一致就正常检验，如不一致应更改成本班硅片测试的型号及下料盒数量等；3.将所有测试模块内数据关闭清零，以便于记录测试新数据；4.进入4号模块内，对电阻率进行保存（例如： jiang xi jing ke 125s-165 100000 c)；5.校准电阻率、厚度、并如实填写校准记录；6.校准少子寿命；7.如本班是周二（白班）应对机器进行周保养及对ttv的校准； 上料检验前；备注：备注：a. 检验前，先确认，来料规格与机器的检测的规格是否一致，若一致，继续下一步；若不一致，需进行规格型号的切换/参数的更改，确认信息统一后，方可进行；b. 上料前，先进行硅片外观的大体检验，若有不

8、良，挑选出放入不良品分选盒内，并标识相关信息（类型、数量）；若无，进行下一步；上料盒上料吸片机械臂不良品分选盒检验流程及注意事项备注：备注：a. 上料时，应将手拿的硅片对准上料盒，避免硅片与盒子碰撞，造成人为缺角、碎片；b. 上料时，应用小纸折成角度，拿硅片时，避免人为造成脏污片；c. 上料时，每次上料数量控制在100-150片内； 上料时；白纸白纸 检验中备注：备注：a. 检验中，1号模块，测试硅片的裂纹、孔洞；b. 每次检测硅片前先确定一下，机器测试模块的硬件是否处于工作状态（如：测试的灯泡是否工作），若不工作应根据正规操作手法，将其更换，保证其工作状态（或通知设备进行维修）； c. 每次

9、检测前点检确认一下设备是否可正常测试出不良，若可以，继续检验；若不可以，应及时通知设备进行维修；裂纹/孔洞1备注：备注：a. 2号模块测试少子寿命；b. 测试前需对2号模块进行校准，根据校准操作指导流程进行；c. 若检测的过程中，发现有少子寿命不良的硅片，应将少子寿命再校准一下，避免测试错误；少子寿命少子寿命2备注：备注：a. 3号模块测试硅片外观的正面（是否存在硅晶脱落、崩边等）；b. 准备机检时，需先确认其模块内设置的各项参数是否与测试规格相符，若符合，继续；若不符合，需进行参数调整；c. 上机进行检测的硅片，上料前需确认是否存在机器测试不出的不良（如：脏污、色差等）；外观外观3备注：备注

10、：a. 号模块对硅片（电阻率、p/n型、厚度）进行检测；b. 每班进行测试前需对电阻率及厚度进行校准（详见操作指导书）；在4号模块内新建本班检验文件名，存储检验数据；c. 准备检测前，确认一下模块内设置的测试参数是否是正确的，若正确，继续检验；若不正确，需调整再进行操作；电阻率电阻率/厚度厚度4备注：备注：a. 5号模块为测试ttv模块，此模块可测试（弯曲bend;线痕saw mark; 厚度5点测试tv/ttv）值；b. 准备测试前，先确认测试模块内设置的参数是否正确，若正确，继续检验；若不正确，调整参数，再进行操作；c. 此模块通过条线进行扫描；ttv5备注：备注：a. 6号模块测试外观的

11、反面，与3号模块的测试功能类似；b. 时刻观注此模块内是否有硅片堵塞情况，若有硅片，及时清理，否则影响正常测试；若无硅片，则可正常测试；外观反面外观反面7备注：备注：1、主界面上显示6大模块的测试状态；2、下料盒会自动计入盒内数量，当达到设置的数量时，会自动弹出；3、下料盒内的硅片，是分选出，有合格的，也有不良的，每个都有对应的参照；4、从测试状态中可以看出测试的硅片是哪种不良；主界面主界面下料盒内的数量测试状态6 1 2 3下料时的操作步骤：1、下料盒弹出，将真空板放入，按图示13进行操作；2、两手置于空档处，平衡的将硅片取出；3、避免与盒子相磨擦人为造成硅片不良的产生；4、下料后，再倒一下

12、四个角，看一下外观是否存在不良，然后每盒按一定数量包装好，再包装成箱；b.b.中途切换硅片检验时中途切换硅片检验时1.先确认检验型号是否一致，如不一致需将型号更改切换。2.确认包装数量是否一致，如不一致需调整下料盒内数量：6号界面内点击confing更改1、2、3号盒内的数量，点击save保存。3.切换到4号模块内，点击 clear statistcs更改电阻率保存的文件名（如jiang xi jing ke 125s-165 100000 c)。4.若此批来料很少时，此批检验完后，又进行上批检验，须将之前更改的全部调回来（如盒内数量、型号、电阻率文件名、测试记录）。5.切到1、2模块内记录测

13、试数据，再将它关闭清零，以便于记录测试的数据。四、四、atm型号转换与注意事项型号转换与注意事项a) a)更换型号更换型号150- 150- 165 1651.切到3号模块内2.点击 paramerization 点击stop 点击set parameters3.输入密码：123454.点击save parameters as 点击125*165型号，打开保存5.修改参数： chamfer c12.55.00 deviatior distance ac0.301.00 arc length a11.0 2.00 diagonal distance -165 1.006.保养save param

14、eters 点击start,进行正常测试b)b)更换型号更换型号 165- 165- 150 1501.切到3号模块里2.点击 paramerization 点击stop 点击set parameters3.输入密码：123454.点击save parameters as 点击125*150型号，打开保存5.修改参数： chamfer c30.05.00 deviatior distance ac1.501.00 arc length a27.0 2.00 diagonal distance -150 1.006.保养save parameters 点击start,进行正常测试注：输入参数时应

15、输“，”而不是小数点。c) c)更换型号更换型号 165- 165- 219 2191.切到3号模块里2.点击 paramerization 点击stop 点击set parameters3.输入密码：123454.点击save parameters as 点击156e*219型号，打开保存5.修改参数： wafer c1563.00 chamfer c1.501.50 deviatior distance ac1.001.00 arc length a1.50 1.50 diagonal distance -2194.006.保养save parameters 点击start,进行正常测试注

16、：输入参数时应输“，”而不是小数点。d) d)更换型号更换型号 165- 165- 200 2001.切到3号模块里2.点击 paramerization 点击stop 点击set parameters3.输入密码：123454.点击save parameters as 点击156s*200型号，打开保存5.修改参数： wafer c156.003.00 chamfer c22.005.00 deviatior distance ac0.301.00 arc length a19.00 2.00 diagonal distance -2004.006.保养save parameters 点击s

17、tart,进行正常测试注：输入参数时应输“，”而不是小数点。c) c)更换型号边长更换型号边长125s-156e125s-156e1.调节吹气口杆子的距离，吹气口应离硅片3cm(视情况而定）2.用156模板调节轨道，松紧适中3.6号主界面上点击config内125调成156的规格4.6号主界面进入service to master pc,找到service .xml 文件，将其重命名为service 125.xml ,找到service 156.xml ，将此名称“156e”删除。（如测试是156e，就显示125s和156s；如测试是125s，就显示156s和156e；如测的是156s，就显示

18、125s和156e）5.切到3号模块里，点击paramerization 点击stop 点击set parameters 输入密码：12345 点击save parameters as 点击156e的型号打开保存save parameters 点击star 键6.将上料处机械手换成小的7.将承载盒内4个白色的取出8.切到1号模块里点击paramerization 点击stop 点击set parameters 输入密码：0000，将“ ucracks”的值 调成35，点击save 保存9.1号模块的两个光源，将上面的一个盒 子上的按钮按向“local ”，再将光源指数调到70%更换型号边长更换

19、型号边长125s-156e125s-156e1、调节吹气口杆子的距离，吹气口应离硅片3cm(视情况而定）2、用156模板调节轨道，松紧适中3、6号主界面上点击config内125调成156的规格4、6号主界面进入service to master pc,找到service .xml 文件，将其重命名为service 125.xml ,找到service 156.xml ，将此名称“156e”删除。（如测试是156e，就显示125s和156s；如测试是125s，就显示156s和156e；如测的是156s，就显示125s和156e）d) d)更换型号边长更换型号边长156e-125s156e-12

20、5s1.调节吹气口杆子的距离，吹气口应离硅片3cm(视情况而定）2.用125模板调节轨道，松紧适中3.6号主界面上点击config内156调成125的规格4.6号主界面进入service to master pc,找到service .xml 文件，将其重命名为service 156e.xml ,找到service 125s.xml ，将此名称“125”删除。（如测试是156e，就显示125s和156s；如测试是125s，就显示156s和156e；如测的是156s，就显示125s和156e）5.切到3号模块里，点击paramerization 点击stop 点击set parameters 输

21、入密码：12345 点击save parameters as 点击125-165/125-150的型号打开保存save parameters 点击star 键6.将上料处机械手换成小的7.将承载盒装入4个白色的8.切到1号模块里点击paramerization 点击stop 点击set parameters 输入密码：0000，将“ ucracks”的值 调成0.50.55，点击save 保存9.1号模块的两个光源，将上面的一个盒 子上的按钮按向“remote ”，再将光源指数调到100%五、五、atmatm异常基本处理办法异常基本处理办法a.a.一号模块测试不出不良品（裂纹、孔洞）一号模块测

22、试不出不良品（裂纹、孔洞）1.原因：确认测试灯泡光源是否还亮着，如果测试灯泡不亮了，就说明是测试灯泡的原因（灯泡坏了）a)处理方法：先将灯源的开关关闭，再将机器内的黑管子（光纤）拔掉；将坏的灯泡取出，将新的灯泡换上；b)换一号灯泡注意事项：确认灯泡的型号；不可用手直接接触灯泡（带手套），会留下手指印，会影响测试结果；c)换完后将黑管子安装上去，再将灯源开关打开；d)完毕后需确认是否测试出不良品（将裂纹、针孔片放在机器内走一遍，测试出来才能进行正常检验）。2、原因：确认测试模块状态是否打开，如果测试模块未打开。 处理方法：进入该模块，双击该模块图标，即打开此模块。3、原因：确认测试模块数据是否更

23、新，如果测试模块数据不更新或不动，则说明该模块存储信息已满。 处理方法：进入该模块，点击 ，将文件夹内的数据留一个最近的，其他信息都清理掉。然后，再测试几片看，机器是否正常。b.b.一号模块测试界面多出一块一号模块测试界面多出一块1.原因：前轨道调的太宽了导致到了测试极限；2.处理方法：测试一片硅片查看是左边还是右边太宽了，将轨道向内调一点点（注：不可调的太紧，防止轨道卡片）c.c.异常现象：异常现象： 主界面提示“axis 4 of robot 1 out of range”并且机器无法复位；1.原因：机械手转动超过180度；2.将机械手转回180度（如不清楚是顺时针还是逆时针转，就先一个方

24、向试一下，再进行复位，如果复不了位就反方向转）；d.d.异常现象：异常现象： 测试正常就是测到最后一两片时机器会急停；1.原因：机械手转过头了；2.处理方法：要让机器自动调节； 点击star programs adept technology adept desktop adept desktop 4.2 file channect 弹出对话框（connect to controller ) 点击connect 弹出的界面上会显示测试速度，将它调到50上面，进行测试，如看到机械手自身有3600 转动，就说明已经调好了，如果没有3600 转动，测完100片后再跳到60上测试，以此类推，调完后测试

25、速度跳到100（正常测试速度）e.e.如何截屏如何截屏 按prtsc sgs rq 键点击start programs accessories paint 复制即可（ctrl +v)，再将复制的保存file save as f. f.三号模块有误抓现象三号模块有误抓现象 处理方法：调节光源 找到“optical wafer in spection”点击右键properties find target 找到owi confing .xml 文件并打开找到property name =“threshold factor”type =“double” value 19 /value （19此处是光源

26、值） 先将光源值调大点，关闭并保存，再将三号模块打开测试，如果还是有误抓就以此类推g.g.测试硅片时，某个模块测试不出，一直往测试硅片时，某个模块测试不出，一直往4 4、8 8号盒号盒内放。内放。a)原因：某个模块测试时间有误 处理方法：调节时间步骤：进入六号主界面上找到times 点击进入找到需要调节的模块，并算出十个时间的平均值，主界面上找到shortcut to msater pc 并进入找到serice .xml 文件并进入找到需要修改的模块arrival time “ 时间”（此处是测试的时间） 将算出来的值填在测试时间处总结：一般测试时显示是空格就应该将时间调大点总结：一般测试时显

27、示是空格就应该将时间调大点。b)原因：测试模块是否正常 处理方法：在主界面中，查看一下，具体是哪个模块测试不出，然后ctrl两次+模块编号，enter进入，确认该模块的状态，无异常情况时，将此模块关闭，再重新打开，然后试测几片，看是否运行正常。h.h.六号模块测试不出六号模块测试不出1.查看六号模块测试地区有无碎渣，如有需要清理掉，把模块关闭，进行测试，如还是测试不出，需要校准光源2.校准光源： 路径：开始intelican file open camsim-setup single grab 缩小桌面11 相机参数设定 输入：（注：每次输入必须回车，等待ok出现，再进行下一次的输入“”代表空格。）ecp-0-0sag-0-0gla-1-1(确认3600max 4095)注：如不在此范围1.模块是否有碎片遮挡2.中间灯管是否倾斜3.调节光源度4.擦相机镜头ccg-4-0(2600/2800/3000)gpc确认六位值（1、2、6、7的值在02.0之间，3、4、5的值在-3-6之间）灰度值10的遮挡住相机镜头ccf移开遮挡物ccpepc-1-1wpc-1