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文档简介

1、过过程程参参数数类类型型供供应应商商A AKeyKey非非KeyKeyUSLUSLTargetTargetLSLLSL腐蚀量方阻刻蚀量膜厚折射率背银单耗背铝单耗正银单耗SPCSPC chartchart样样本本大大小小及及测测试试频频次次SamplingSampling sizesize& & frequencyfrequency备备注注腐蚀厚度/um （减薄量/g）3片（5道）/0.5h4片（8道）/0.5h隔道取片，每班生产开班或酸液换液后需要加强抽测：连续抽测5批方块电阻/Ohm5片/管从炉口到炉尾均匀取5片，即炉口、炉口中、炉中、炉尾中、炉尾各取1片腐蚀厚度/um （减

2、薄量/g)3片（5道）/0.5h4片（8道）/0.5h隔道取片，每班生产开班或酸液换液后需要加强抽测：连续抽测5批PECVD厚度/nm5片/批从石墨框前排到尾排均匀取5片PECVD折射率5片/批背银单耗/g1片/h(四台面循环测）每班生产开班或更换网版、浆料后需要加强抽测：背银、背铝、正银工序，4个印刷台面都要抽测一片背铝单耗/g1片/h(四台面循环测）正银单耗/g1片/h(四台面循环测）Process前清洗USLSPCUCLX#UCLR#CPUParameter腐蚀厚度TargetXbarbarR-barCPLFurnace LSLLCLX#LCLR# 日期时间n12345678910111

3、213第一道第三道第五道第七道X barRX X- -b ba ar r C Ch ha ar rt t时间日期4.000 4.100 4.200 4.300 4.400 4.500 4.600 4.700 4.800 USLX UCLX Xbarbar LCLX LSLX X barR R C Ch ha ar rt t时间日期0.000 0.100 0.200 0.300 0.400 0.500 0.600 0.700 0.800 UCLR R bar LCLR RX X控控制制界界限限USLX0.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0

4、000.0000.000UCLX#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!XbarbarLCLX#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!LSLX0.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.000自动判读违反次数n1234567891

5、01112X bar0准则10准则2/0准则3/R R控控制制界界限限UCLR#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!R barLCLR#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!自动判读违反次数n123456789101112R0准则10准则2/0准则3/异常原因追查及其对策：附：判读准则准则1:至少

6、一点超出控制界限.准则2:连续9点出现在中心线的同一侧.准则3:连续6点逐增或逐减.R R C Ch ha ar rt t时间日期0.000 0.100 0.200 0.300 0.400 0.500 0.600 0.700 0.800 UCLR R bar LCLR R计数n=#Ca =#VALUE!CellCell_1#CellTypeP156A2 =#Cp =#VALUE!LineLine1UnitumD4 =#Cpk=#VALUE!Subgroup SizeSample SizeD3 =d2 =141516171819202122232425262728X X- -b ba ar r

7、C Ch ha ar rt t时间日期4.000 4.100 4.200 4.300 4.400 4.500 4.600 4.700 4.800 USLX UCLX Xbarbar LCLX LSLX X barR R C Ch ha ar rt t时间日期0.000 0.100 0.200 0.300 0.400 0.500 0.600 0.700 0.800 UCLR R bar LCLR R0.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.000#VALUE! #VALUE! #VALUE! #

8、VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!0.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.000131415161718

9、192021222324252627#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!131415161718192021222324252627R R C Ch ha ar

10、 rt t时间日期0.000 0.100 0.200 0.300 0.400 0.500 0.600 0.700 0.800 UCLR R bar LCLR R异常原因追查及其对策：0n23456N/AA21.881.020.730.580.48N/AD43.272.572.282.112.00N/AD300000N/Ad21.1281.6932.0592.3262.534293031323334353637383940414243X X- -b ba ar r C Ch ha ar rt t时间日期4.000 4.100 4.200 4.300 4.400 4.500 4.600 4.700

11、 4.800 USLX UCLX Xbarbar LCLX LSLX X barR R C Ch ha ar rt t时间日期0.000 0.100 0.200 0.300 0.400 0.500 0.600 0.700 0.800 UCLR R bar LCLR R0.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.000#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VA

12、LUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!0.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.000282930313233343536373839404142#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!

13、#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!282930313233343536373839404142R R C Ch ha ar rt t时间日期0.000 0.100 0.200 0.300 0.400 0.500 0.600 0.700 0.800 UCL

14、R R bar LCLR R异常原因追查及其对策：444546474849505152535455565758X X- -b ba ar r C Ch ha ar rt t时间日期4.000 4.100 4.200 4.300 4.400 4.500 4.600 4.700 4.800 USLX UCLX Xbarbar LCLX LSLX X barR R C Ch ha ar rt t时间日期0.000 0.100 0.200 0.300 0.400 0.500 0.600 0.700 0.800 UCLR R bar LCLR R0.0000.0000.0000.0000.0000.00

15、00.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.000#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!0.0000.0000.0000

16、.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.000434445464748495051525354555657#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VAL

17、UE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!434445464748495051525354555657R R C Ch ha ar rt t时间日期0.000 0.100 0.200 0.300 0.400 0.500 0.600 0.700 0.800 UCLR R bar LCLR R异常原因追查及其对策：596061626364656667686970717273X X- -b ba ar r C Ch ha ar rt t时间日期4.000 4.100 4.200 4.300 4.400 4.500 4.600 4.700 4.800 USLX UCLX Xbarbar L

18、CLX LSLX X barR R C Ch ha ar rt t时间日期0.000 0.100 0.200 0.300 0.400 0.500 0.600 0.700 0.800 UCLR R bar LCLR R0.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.000#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALU

19、E!#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!0.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.000585960616263646566676869707172#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #V

20、ALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!585960616263646566676869707172R R C Ch ha ar rt t时间日期0.000 0.100 0.200 0.300 0.400 0.500 0.600 0.700 0.800 UCLR R bar LCLR R异常原因追查及其对策：7

21、47576777879808182838485868788X X- -b ba ar r C Ch ha ar rt t时间日期4.000 4.100 4.200 4.300 4.400 4.500 4.600 4.700 4.800 USLX UCLX Xbarbar LCLX LSLX X barR R C Ch ha ar rt t时间日期0.000 0.100 0.200 0.300 0.400 0.500 0.600 0.700 0.800 UCLR R bar LCLR R0.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.000

22、0.0000.0000.0000.000#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!0.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.

23、0000.0000.0000.0000.0000.0000.000737475767778798081828384858687#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE

24、!737475767778798081828384858687R R C Ch ha ar rt t时间日期0.000 0.100 0.200 0.300 0.400 0.500 0.600 0.700 0.800 UCLR R bar LCLR R异常原因追查及其对策：8990919293949596979899100101102103X X- -b ba ar r C Ch ha ar rt t时间日期4.000 4.100 4.200 4.300 4.400 4.500 4.600 4.700 4.800 USLX UCLX Xbarbar LCLX LSLX X barR R C Ch

25、 ha ar rt t时间日期0.000 0.100 0.200 0.300 0.400 0.500 0.600 0.700 0.800 UCLR R bar LCLR R0.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.000#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!#VALUE! #VALUE! #VAL

26、UE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!0.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.000888990919293949596979899100101102#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALU

27、E! #VALUE! #VALUE! #VALUE!#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!888990919293949596979899100101102R R C Ch ha ar rt t时间日期0.000 0.100 0.200 0.300 0.400 0.500 0.600 0.700 0.800 UCLR R bar LCLR R异常原因追查及其对策：10410510610710810

28、9110111112113114115116117118X X- -b ba ar r C Ch ha ar rt t时间日期4.000 4.100 4.200 4.300 4.400 4.500 4.600 4.700 4.800 USLX UCLX Xbarbar LCLX LSLX X barR R C Ch ha ar rt t时间日期0.000 0.100 0.200 0.300 0.400 0.500 0.600 0.700 0.800 UCLR R bar LCLR R0.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000

29、.0000.0000.0000.000#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!0.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0

30、000.0000.0000.0000.0000.0000.000103104105106107108109110111112113114115116117#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!

31、#VALUE! #VALUE!103104105106107108109110111112113114115116117R R C Ch ha ar rt t时间日期0.000 0.100 0.200 0.300 0.400 0.500 0.600 0.700 0.800 UCLR R bar LCLR R异常原因追查及其对策：119120121122123124125126127128129130131132133X X- -b ba ar r C Ch ha ar rt t时间日期4.000 4.100 4.200 4.300 4.400 4.500 4.600 4.700 4.800 U

32、SLX UCLX Xbarbar LCLX LSLX X barR R C Ch ha ar rt t时间日期0.000 0.100 0.200 0.300 0.400 0.500 0.600 0.700 0.800 UCLR R bar LCLR R0.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.000#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VA

33、LUE! #VALUE! #VALUE!#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!0.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.000118119120121122123124125126127128129130131132#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #

34、VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!118119120121122123124125126127128129130131132R R C Ch ha ar rt t时间日期0.000 0.100 0.200 0.300 0.400 0.500

35、 0.600 0.700 0.800 UCLR R bar LCLR R异常原因追查及其对策：134135136137138139140141142143144145146147148X X- -b ba ar r C Ch ha ar rt t时间日期4.000 4.100 4.200 4.300 4.400 4.500 4.600 4.700 4.800 USLX UCLX Xbarbar LCLX LSLX X barR R C Ch ha ar rt t时间日期0.000 0.100 0.200 0.300 0.400 0.500 0.600 0.700 0.800 UCLR R ba

36、r LCLR R0.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.000#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #V

37、ALUE! #VALUE! #VALUE!0.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.000133134135136137138139140141142143144145146147#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!

38、#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!133134135136137138139140141142143144145146147R R C Ch ha ar rt t时间日期0.000 0.100 0.200 0.300 0.400 0.500 0.600 0.700 0.800 UCLR R bar LCLR R异常原因追查及其对策：149150151152153154155156157158159160161162163X X- -b ba ar r C Ch ha ar

39、 rt t时间日期4.000 4.100 4.200 4.300 4.400 4.500 4.600 4.700 4.800 USLX UCLX Xbarbar LCLX LSLX X barR R C Ch ha ar rt t时间日期0.000 0.100 0.200 0.300 0.400 0.500 0.600 0.700 0.800 UCLR R bar LCLR R0.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.000#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VA

40、LUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!0.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0001481491501511521531541

41、55156157158159160161162#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!148149150151152153154155156157158159160

42、161162R R C Ch ha ar rt t时间日期0.000 0.100 0.200 0.300 0.400 0.500 0.600 0.700 0.800 UCLR R bar LCLR R异常原因追查及其对策：164165166167168169170171172173174175176177178X X- -b ba ar r C Ch ha ar rt t时间日期4.000 4.100 4.200 4.300 4.400 4.500 4.600 4.700 4.800 USLX UCLX Xbarbar LCLX LSLX X barR R C Ch ha ar rt t时间日

43、期0.000 0.100 0.200 0.300 0.400 0.500 0.600 0.700 0.800 UCLR R bar LCLR R0.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.000#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #V

44、ALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!0.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.000163164165166167168169170171172173174175176177#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!

45、 #VALUE! #VALUE! #VALUE!#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!163164165166167168169170171172173174175176177R R C Ch ha ar rt t时间日期0.000 0.100 0.200 0.300 0.400 0.500 0.600 0.700 0.800 UCLR R bar LCLR R异常原因追查及其对策：1791801

46、81182183184185186187188189190191192193X X- -b ba ar r C Ch ha ar rt t时间日期4.000 4.100 4.200 4.300 4.400 4.500 4.600 4.700 4.800 USLX UCLX Xbarbar LCLX LSLX X barR R C Ch ha ar rt t时间日期0.000 0.100 0.200 0.300 0.400 0.500 0.600 0.700 0.800 UCLR R bar LCLR R0.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000

47、.0000.0000.0000.0000.0000.000#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!0.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0

48、000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.000178179180181182183184185186187188189190191192#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE

49、! #VALUE! #VALUE! #VALUE!178179180181182183184185186187188189190191192R R C Ch ha ar rt t时间日期0.000 0.100 0.200 0.300 0.400 0.500 0.600 0.700 0.800 UCLR R bar LCLR R异常原因追查及其对策：194195196197198199200X X- -b ba ar r C Ch ha ar rt t时间日期4.000 4.100 4.200 4.300 4.400 4.500 4.600 4.700 4.800 USLX UCLX Xbarb

50、ar LCLX LSLX X barR R C Ch ha ar rt t时间日期0.000 0.100 0.200 0.300 0.400 0.500 0.600 0.700 0.800 UCLR R bar LCLR R0.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.000#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!0.0000.0000.0000.0000.

51、0000.0000.0000.000193194195196197198199200#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!193194195196197198199200R R C Ch ha ar rt t时间日期0.000 0.100 0.200 0.300 0.400 0.500 0.600 0.700 0.800 UCLR R bar LCLR R异常原因追查及其对策：日期时

52、间n1234567炉口中心边角1边角2边角3边角4X-bar炉口中中心边角1边角2边角3边角4X-bar炉中中心边角1边角2边角3边角4X-bar炉尾中中心边角1边角2边角3边角4X-bar炉尾中心边角1边角2边角3边角4X-bar8910111213141516171819202122232425262728293031323334353637383940414243444546474849505152535455565758596061626364656667686970717273747576777879808182838485868788899091929394959697989910

53、010110210310410510610710810911011111211311411511611711811912012112212312412512612712812913013113213313413513613713813914014114214314414514614714814915015115215315415515615715815916016116216316416516616716816917017117217317417517617717817918018118218318418518618718818919019119219319419519619719819920

54、0Process扩散USLSPCUCLX#UCLRParameter方块电阻TargetXbarbarR-barFurnaceTube1LSLLCLX#LCLR日期时间n1234567891011炉口炉口中炉中炉尾中炉尾X-barRX X- -b ba ar r C Ch ha ar rt t7075808590USLXUCLxXbarbarLCLxLSLxX-barR R C Ch ha ar rt t0123456789101112131415UCLR R-bar LCLR RX X- -b ba ar r C Ch ha ar rt t时间日期7075808590USLX UCLx Xb

55、arbar LCLx LSLx X-barR R C Ch ha ar rt t时间日期0123456789101112131415UCLR R-bar LCLR RX X控控制制界界限限USLX0.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.000UCLx#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!#VALUE!XbarbarLCLx#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VA

56、LUE! #VALUE!#VALUE!LSLx0.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.000自动判读违反次数n12345678910X-bar0准则100000000000准则2/000准则3/00000R R控控制制界界限限UCLR#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!#VALUE!R-barLCLR#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALU

57、E!#VALUE!自动判读违反次数n12345678910R0准则1#REF!#REF!#REF!#REF!#REF!#REF!#REF!#REF!#REF!#REF!0准则2/#REF!#REF!0准则3/00000异常原因追查及其对策：附：判读准则准则1:至少一点超出控制界限.准则2:连续9点出现在中心线的同一侧.准则3:连续6点逐增或逐减.R R C Ch ha ar rt t0123456789101112131415UCLR R-bar LCLR RR R C Ch ha ar rt t时间日期0123456789101112131415UCLR R-bar LCLR R#VALUE

58、!CPU#VALUE!Ca =#VALUE!UCLR#REF!UCLMR#REF!CellCPL#VALUE!Cp =#VALUE!R-bar0.000R-MR-bar#REF!Line#VALUE! #VALUE!Cpk=#VALUE!LCLR#LCLMR#REF!Subgroup Size121314151617181920212223240.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00

59、.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.00.0X X- -b ba ar r C Ch ha ar rt t7075808590USLXUCLxXbarbarLCLxLSLxX-barR R C Ch ha ar rt t0123456789101112131415UCLR R-bar LCLR RX X- -b ba ar r C Ch ha ar rt t时间日期7075808590USLX UCLx Xbarbar LCL

60、x LSLx X-barR R C Ch ha ar rt t时间日期0123456789101112131415UCLR R-bar LCLR R0.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.000#VALUE!#VALUE!#VALUE!#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE!#VALUE!#VALUE!#VALUE!#VALUE!#VALUE!#VALUE!#VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VALUE! #VA

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