第二部分操作管理指导和相关术语

1、 静电防护作业管理指导公司目前的静电防护设施:防静电台垫、防静电地垫、防静电地板、防静电工作台、接地系统防静电工衣、防静电鞋套、防静电帽、防静电指套/手套、防静电手腕带、离子风扇、防静电烙铁、防静电吸锡器、防静电周转箱、防静电周转架、防静电印制板架防静电元件存放架、防静电周转车、防静电元件盒、防静电托盆、防静电包装袋、防静电泡沫垫、防静电剂、防静电海绵、防静电镊子、防静电毛刷、腕带测试仪、表面电阻测试仪、静电压测试仪等。1.1. 防止静电产生的作业指导:1.1.1. 项目组根据产品的静电敏感等级和客户的要求,提出对生产场所温度、湿度、防静电设施的要求,由ESD工程师和设备部采取适当措施予以保障

2、。1.1.2. ESD工程师根据产品的静电敏感等级和客户的要求，选择具有防静电性能的设施，并制定防静电操作程序。1.1.3. 生产部门必须按公司ESD控制规范来进行防静电控制,并实施防静电操作程序。对静电敏感（ESSD）产品的生产制造运送传递、存储、包装、拆包装、检测、使用都应采取静电防护措施。如使用防静电的周转箱、防静电的周转架和小车来转运对静电敏感(ESSD)产品，采用防静电工具如防静电烙铁、防静电吸锡器来加工对静电敏感(ESSD)产品等。1.1.4. 生产部门员工根据岗位的不同,可选择佩带防静电腕带、穿戴防静电服装、穿戴防静电鞋及鞋套、佩带防静电指套、进行离子风浴等一种或多种防静电措施接

3、触ESSD产品的其他人员也应根据具体情况选择上述一种或多种防静电措施。1.1.5. 研发部门在产品开发设计时,应尽量采用静电导体材料和静电耗散材料。1.2. 减少和消除静电荷：1.2.1. 设备部门负责防静电设施的正确的接地。1.2.2. 测试部的ESD组负责定期检查抽测和测试。1.2.3. 生产部门负责日常的自检。1.2.4. 防静电委员会定期的抽查和评审。1.3. 减少静电危害:1.3.1. 研发部门应提高产品自身的抗静电能力,对于ESSD的组件、器件、模块、系统,应进行抗静电防护设计,如在必要时对敏感部件和敏感器件采用静电屏蔽措施等。1.3.2. 设备管理部负责各种接地系统如雷电保护、故

4、障保护、信号参考、大地电极、防静电接地等的正确和有效,测试部的ESD组负责定期检查和测试接地系统。1.3.3. 生产部门严格按相关的ESD控制规范和防护作业操作规程执行。1.3.4. 防静电委员会严格静电防护的管理。1.4. 建立健全责任制和规章制度:1.4.1. 各相关部门、管理人员、技术人员、工人承担相应的职责,并有检查和评审制度。1.4.2. 工程/品质建立静电安全事故的分析制度和产品静电损害机理的分析制度。1.4.3. ESD组对防静电装置、防静电设施和防静电工具的防静电性能建立定期测试和检查的制度。1.4.4. 项目组、生产部门、工程部和品质部等对生产工艺、设施、设备建立防静电操作程

5、序。1.5. 教育与培训:1.5.1. 由人事部培训中心负责组织对领导者、管理人员、技术人员和操作人员等不同层次和不同岗位的人员实施有关防静电意识、知识、技术、技能等的培训,由ESD工程师负责授课,并进行认可考核。1.5.2. 生产部门在静电敏感产品上和内外包装上作出静电敏感的警示标识或符号,设备部和生产部应对防静电作业场所、工作区作出静电敏感的特别标识对关键控制部位必要时应设静电电压超限报警装置,以提醒员工做适当的处理。1.6. 标准与检测:1.6.1. 根据ESSD元件的等级,IQC选择与产品和静电防护有关的必需的静电检测检验标准。1.6.2. IQC对用于静电防护的物料进行来料检验。1.

6、6.3. ESD组对有防静电要求的工具、器具、服装、鞋及鞋套、地面、桌椅、工作台、工作台垫等进行定期检测,对物业设施系统的接地状况按规定检测,使它们保持合格状态。1.6.4. 对仪器设备的接地状况进行定期检测,对防静电检测用的仪器进行定期校准。1.6.5. 品质部对产品的静电敏感度应按标准的规定进行试验,并建立质量分析和反馈制度,以便生产部门改进设计,提高工艺水平。2. 附录A: ESD相关术语本部分规定了本规范中所使用到的各类ESD基础名词和术语。13.1 电学、静电学基本概念13.1.1.静电 Electrostatic Static Electricity一种处于相对稳定状态的电荷。由它

7、所引起的磁场效应较之电效应可以忽略不计。(静电可由物质的接触与分离、静电感应、介质极化和带电微附着等物理过程而产生)。13.1.2.静电场 Electrostatic Field静电荷在其周围空间所激发的电场。它是一种特殊的物质，其最基本的特征是对位于该场中的其它电荷施以作用力。且不随时间而改变。13.1.3.静电位 Electrostatic Potential静电场的标量函数。其梯度冠以负号等于电场强度。静电其中某点的静电位值等于把单位正电荷从该点移至无限远处静电场力所用作的功,它亦等于位正电荷在该点的电位能。 13.1.4静电感应 Electrostatic Induction在静电场响

8、下引起物体上电荷重新分布的现象。13.1.5电阻率Resistivity 表征材料导电性能的物理量。其侄数为电导率。 13.2.静电起电、静电积聚和静电消散13.2.1.(静电)起电 (Electrostatic)Electrification使电介质或绝缘导体产生静电荷的过程。13.2.2.摩擦起电 Triboelectrification用摩擦的方法使两物体分别带有等值异号电荷的过程。13.2.3.冲流起电(流动起电) Streaming Electrification液体类物质与固体类物质接触时,在接触界面形成整体为电中性的偶电层。当此两物质作相对 运动时,由于偶电层被分离,电中性受到破

9、坏而出现的带电过程。 13.2.4 剥离起电 Stripping Electrification剥离两个紧密结合的物体时引起电荷分离而使两物体分别带电的过程。13.2.5 喷射起电 Injection Electrification固体、粉体、液体和气体类物质从小截面喷嘴高速喷射时,由于微粒与喷嘴和空气发生迅速磨 擦而使喷嘴和喷射物分别带电的过程。13.2.6 吸附起电 Attached Electrification 人体由于吸附场所中的带电微粒而使之产生静电的过程。13.2.7 沉降起电 Sedimentation Electrification各种固体微粒、液体、气体在相到混合接触时,由

10、于比重差异发生沉降,使在不同物质交界面 上形成的偶电层发生电荷分离而产生静电的过程。13.2.8 溅泼起电 Splash Electrification溅泼液体时,微小的非湿润液滴落在物体表面并在其界面产生偶电层。由于液滴的惯性滚动而发生电荷分离,使液滴及物体分别带上不同符号电荷的过程。13.2.9 喷雾起电(飞沫起电) Spray Electrification射在空间的液体类物质由于扩展分散和分离,使之形成许多微小液雾和新的界面,当此偶电层被分离时而产生静电的过程。13.2.10 感应起电 Induced Electrification利用静电感应原理,使导体带电的过程。13.2.11 破

11、裂起电 Crack Electrification固体或粉体类物体破裂时发生电荷分离,由于正负电荷平衡受到破坏而产生静电的过程。13.2.13 碰撞起电 Collision Electrification粉体类物体由于粒子与粒子或粒子与固体之间发生碰撞,形成快速的接触和分离而产生静电的过程。13.2.13 滴下起电 Dropping Electrification附着在器壁等外的固体表面上的珠状液体逐渐增大,由于自生形成液滴(或水滴),在坠落脱离时而产生静电的过程。13.2.14 极化起电 Polarized Electrification在外电场作用下,由于介质极化而使其内部及界要上出现束缚

12、电荷的过程。13.2.15 静电(起电)序列 Electrostatic (Electrification) Series根据两种物质相互接触时产生静电的极性,将各物质依次排成的序列(根据这种序列,前后两种物质接触时,前者带正电,后者带负电)。13.2.16 静电积聚 Electrostatic Accumulation由于某种起电因素使在电介质或绝缘导体上产生电荷的速率超过电荷的消散速率而在其上呈现同性电荷的积累过程。13.2.17 静电消散 Electrostatic Dissipation带电体上的电荷由于静电中和,和静电泄漏,静电放电而使之部分或全部消失的现象。13.2.18 静电中和

13、 Electrostatic Neutralization带电体上的电荷与其内部和外部相反符号的电荷(电子或离子)的复合而使所带静电部分或全部消失的现象。13.2.19 静电泄放 Electrostatic Leakage 将静电荷安全传导到大地。13.2.20器件敏感度 Electrostatic Susceptivity 元器件所能承受的静电放电电压值。13.2.21 静电敏感器件 Electrostatic Sensitivity Device (ESSD)静电敏感器件是指对ESD(Electrostatic Discharge)的承受能力较低,在制造、运送、储存和测试等过程中容易因静电

14、放电而遭致损伤的器件。器件对ESD的承受能力可以用静电放电敏感度表示，它是指器件所能承受而不至于遭受损坏的最大静电放电电压，基本单位是伏(V)。静电放电敏感元器件可分为两类:静电放电敏感电压小于或等于1000 V的元器件称为I类静电放电敏感电压大于1000 V但小于或等于4000 V的元器件称为类。13.2.22 （荷）驰豫(缓和) Relaxation Time (of Discharge)带电体上的电荷(或电位)消散(或下降)至其初始值的1/e时所需要的时间。13.2.23 (电荷)半值时间(半衰期) Halfvalue Time(of Discharge)带电体上的电荷(或电位)消散(或

15、下降)至其初始值的一半时所需要的时间。13.2.24 静置时间 Time of Repose在有静电危险的场所进行生产时,由设备停止操作到物料(通常为液体)所带静电消散至安全值以下,允许进行下一步操作所需要的间隔时间。13.3 静电放电现象13.3.1 静电放电 Electrostatic Discharge (ESD)当带电体周围的场强超过周围介质的绝缘击穿场强时,因介质产生电离而使带电体上的电荷部分或全部消失的现象。13.3.2 尖端放电 Discharge at Sharp Point 在带电导体曲率半径很小处所发生的放电现象。13.3.3 电晕放电 Corona Discharge发生

16、在不均匀的、场强很高的电场中的辉光放电。注:电晕放电时,在电极周围有微弱发光的电晕层。13.3.4 辉光放电 Glow Discharge当电场强度超过某值时,以发光形式表现出来的气体中电传导现象。此时,没有大的嘶声或噪声,也没有显著的发热或电极的蒸发。13.3.5 刷形放电 Brush Discharge指发生于带电量大的绝缘体与导体之间空气介质中的一种放电形式,其放电通道不集中,呈分枝状。13.3.6 火花放电 Spark Discharge由于分离两电极间的空气或其它电介质材料突然被击穿,使电流急剧上升,电压急剧下降,引起有瞬间闪光、并有集中通道的短暂放电现象。13.3.7 表面放电 S

17、urface Discharge当带静电的物体接近接地体而在两者间发生放电时,沿带电体表面产生的发光放电,呈树枝状。13.3.8 对地电压 Voltage to Earth 带电体与大地之间的电位差(令大地电位为零)。13.3.9 击穿电压 Breakdown Voltage 使电介质击穿的最低电压。13.3.10 (静电)电磁危害 Electromagnetic Hazard由于静电放电产生的电磁辐射而对电子元器件及仪器所产生的有害影响,如电子仪器发生误动作或故障或电子元器件被击穿以及发生静电噪声等现象。13.4 防静电材料及制品13.4.1 表面电阻率(s) Surface Resisti

18、vity沿试验物质样品表面电流方向的直流电场强度与单位长度的表面电流之比。其在数值上等于物质表面每单位宽度的电位梯度和电流之比。其中,电位梯度按照材料中电流方向测量。表面电阻率表征固体介质表面的导电能力。13.4.2 体积电阻率(v) Volume Resistivity沿试验物质样品体积电流方向的直流电场强度与该处表面密度之比,其在数值上等于电位梯度与电流密度之比。其中,电位梯度按照物质中电流方向测量。表面电阻率表征固体介质内部的导电能力。13.4.3 静电保护材料 Static Protective Material具有以下一种或多种能力的材料,被称作静电保护材料:限制产生静电,迅速耗散材

19、料表面或体积上的静电荷,屏蔽静电放电、火花放电、静电场。静电保护材料根据其表面电阻率的大小(或导电性)分为导电材料、静电耗散材料和抗静电材料。13.4.4 导电材料 Conductive Material表面电阻率小于或等于105的静电放电保护材料。13.4.5 静电耗散材料 Static Dissipative Material表面电阻率大于105 、小于或等于109 的静电放电保护材料。13.4.6抗静电材料 Anti-static Material表面电阻率大于109 、小于或等于 1014的静电放电保护材料。13.4.7 静电绝缘材料 Insulative Material表面电阻率大

20、于1014 的材料。13.4.8 导电纤维 Conductive Fibre全部或部分使用金属或有机物以及防静电剂等导电材料或亚导电材料纤维的统称。导电纤维分金属导电纤维和有机导电纤维。13.4.9 防静电纤维 Anti-static Fibre采用加入防静电剂的亚电材料制成的纤维。13.4.10导电橡胶(塑料) Conductive Rubber (Plastics)为了降低橡胶(塑料)材料(或制品)的电阻率,在生产工艺中采用某种措施(如掺入导电材料)而制成的橡胶(塑料)。13.4.11导电地面(板) Conductive Floor由电阻率小的材料制成的、旨在提供静电泄漏途径的地面(板)。

21、13.4.12 导电涂料 Conaductive Paint涂覆在物体表面,能形成牢固附着的连续薄膜,并能导除积聚其上电荷的一种工程材料。13.4.13导电垫 Conductive Cusion为了防止人体及地面上的金属物体的静电带电,在其生产加工中混入金属和碳等导电材料而制成的导电良好的垫子。 13.4.14防静电织物 Anti-static Fabric通过多种工艺方法,使纤维表面电阻率降低,从而形成或生产出的一种具有防止静电积聚的织物。13.4.15防静电服 Anti-static Clothing为了防止人体和衣物的静电积聚,用防静电织物为衣料而缝制的工作服。13.4.16防静电鞋 A

22、nti-static Shoes鞋底用电阻变化小的防静电材料制作,不仅具有防止人体静电积聚的性能,而且还能避免因偶然触及工频电(220V以下)而导致人体遭受电击的鞋类。13.4.17导电鞋 Conductive Shoes具有良好的导电性能,因此可在尽可能短的时间内消除人体静电积聚,但不能防止因偶然触及工频电(220V以下)而导致人体遭受电击的鞋类。13.4.18防静电剂 Anti-static Additive加入物体中以提高其电导率,使其不能积聚危险的静电,且又不影响该物体其它性能的物质。13.5 静电事故及其防护 13.5.1 静电安全 Electrostatic Safety指在生产过

23、程中不发生由于静电现象而导致人体怕伤害、设备损坏或财产损失的状况和 条件。13.5.2 静电安全工程技术 Engineering and Tecnology of Static Safety为消除和防止静电灾害与事故而采取的各种工程技术方法或防护措施(如静电接地、静电屏蔽、静电缓和、添加防静电剂、相对湿度控制、装设静电消除器,以及静电检测、监控等)。13.5.3静电障害 Static Accident由于某种静电现象的作用,导致生产系统、设备、工艺过程、材料、产品等发生故障、损害(如生产率不降、产品质量不良,以至失效、破坏等)的现象或事件。13.5.4 静电灾害 Static Disaster

24、 由于静电放电而导致发生重大财产损失或众多人员伤亡的危害、损害的现象或意外事件(如火灾、爆炸、静电电击有及由此造成的二次事故等)。13.5.5 (静电)二次事故 (Static) Second Accident由于静电电击使人体失去平衡,导致人员由高空坠落或触及其它障碍物而引起的伤害或造成已存在的火灾、爆炸的后果进一步扩大等危害的现象或事件。13.5.6 静电电击 Electrostatic Shock由电体向人体,或带静电的人体向接地的导体,以及带电的人体相到间发生静电放电,其所产生的瞬间冲击电流通过人体而引起的病理生理效应。13.5.7 人体静电 Electrostatic on Huma

25、n Body人体由于自身行动或与其它的带电物体相接触或相接近而在人体上产生并积聚的静电。13.5.8 人体电容 Capacitance of Human Body与人体位置、人体姿势、鞋和地面及其它客体等因素有关的人体对地或对其它客体所构成的电容。13.5.9 人体电阻 Resistance of Human Body人的体内电阻与皮肤电阻之总和。13.5.10 Earth Ground任何一点的电位按惯例取为零的大地或导电物质。13.5.11（静电）接地 Grounding将金属导体(通过接地线)与大地进行电气上的连接,使金属导体的电位接近大地电位的措施。通常是连接到能供给或接受大量电荷的物

26、质(如地面、舰船或运载式具外壳等)。硬接地(Direct Grounding):直接接地或通过一低阻抗同大地相连。软接地(Indirect Grounding):通过足够的阻抗接地,从而把电流限制在人体安全电平(一般为5mA)下。软接地所需阻抗取决于靠近接地点的人员所可能接触到的电压电平。13.5.12 接地电阻 Earth Resistance被接地体与地下零电位面之间接地引线电阻、接地器电阻、接地器与土壤之间的过渡电阻和土壤的溢流电阻之和。13.5.13泄漏电阻 Leakage Resistance物体在不带电的情况下,从被测点到接地连接系统间的等效电阻。13.5.14 静电泄漏通道 Ch

27、annel of Electrostatic Leakage 带电区的静电荷通过带电体内部表面而使之泄漏的途径。13.5.15人体接地 Human Body Grounding通过使用导电垫、导电地面、导电鞋或其它各种接地用具使人体与大地保持通导状态的措施。13.5.16（静电）连接 (Electrostatic) Connection 将彼此间没有良好导电通路的物体进行导电性连接,使相互间大体上处于相同电位的措旋。13.5.17静电接地连接系统 Electrostatic Connection System of Grounding 带电体上的电荷向大地汇漏、消散的外界导出通道。13.5.1

28、8静电屏蔽 Electrostatic Shielding为了避免外界静电场以带电体或非带电体的影响,或者为了避免带电体的静电场对外界的影响,把带电体或非带电体置于接地的封闭的金属外壳或金属栅网内的措施。13.5.19接地极 Grounding Electrode埋入大地以便与大地良好接触的导体或几个导体的组合。13.5.20防静电工作区 ESD Protected Area为保障静电敏感器件(ESSD)免受静电伤害而采用必要的防静电材料和设备建立和装备起来的区域,通常有明显的防静电警示标志。进入防静电工作区域的人员,必须严格遵循防静电作业规范。13.5.21防静电操作系统 Electrost

29、atic Operating System 根据防静电要求,为建立保护面积和进行保护性操作所必须配置的设施和工具的统称。13.5.22 人体静电防护系统 Static Protective System of Human Body 人体静电防护系统主要由防静电工作服、腕带、鞋袜、帽、手套或指套、围裙、脚套等组成。这种整体的防护系统兼具有静电泄露、中和与屏蔽的功能。13.5.23人体静电接地系统 Electrostatic Grounding System of Human Body人体防静电接地系统是为有效泻放人体表面的静电、防止静电积累而构建的一套连接人体和大地的完整接地通路,主要由防静电腕

30、带或脚环、防静电鞋、防静电台垫、防静电地面或地垫、接地支线和公共接地线组成。13.5.24 静电消除器 Electrostatic Eliminator 一种能产生消除带电体上的电荷所必要的正负离子的设备或装置。13.5.25放射性静电消除器 Radioactive Static Eliminator 利用放射性同位素产生的射线,使周围空气电离成正负离子,以中和积聚在带电体上的表面异性电荷的一促静电消除装置。13.5.26离子化静电消除器 Ionizing Static Eliminator凡利用空气电离以产生为中和带电体上的表面异性电荷所必须的正负离子的各种型式静电消除装置的统称。13.5.

31、27电晕放电式静电消除器（外加电源式静电消除）Static Eliminator by Corono Discharge利用外加电源能量使电极发生电晕放电,从而产生为中和带电体上的表面异性电荷所必须要正负离子的一种静电消除装置。13.5.28自感应式静电消除器(自放电式静电消除器) Static Eliminator by Self Inductance利用带电体自身的静电能量感应于电极,借此电晕放电而产生正负离子,以中和原带电体上的表面异性电荷的一种静电消除装置。3. 附录B: 常用的防静电标志 4. 附录C:部分静电敏感器件的静电敏感电压静电敏感器件的类型最小静电敏感电压(V)VMOS30

32、1800MOSFET100200砷化镓FET100300EPROM100以上JFET1407000SAW(声表面波滤波器)150500运算放大器1902500CMOS2503000肖特基二极管3002500SMD薄膜电阻器3003000双极型晶体管3807800射极耦合逻辑电路5001500可控硅6801000肖特基TTL10025005. 附录D:引用的标准及参考文献5.1. 电子产品制造防静电系统测试方法SJ/T 10694-19965.2. 防静电安全工作台技术要求SQJ2177-915.3. 电子设备制造防静电技术要求SJ/T 10533-945.4. 电子元器件制造防静电技术要求SJ

33、/T 10630-19955.5. 电子元器件防静电要求QJ1693-895.6. 防静电操作系统技术要求QJ1950-905.7. 通信机房静电防护原则YD/T 754-955.8. 电子产品防静电放电控制大纲中国国家军用标准5.9. 电子工业静电防护技术陕西出版社5.10. ESD From A to Z J.M.KOLYER&D.E.WATSON5.11. Acceptability of Electronics Assemblies IPC-A-6105.12. ESD工艺规范 DMBMA.0524.235G5.13. ANSI/ESD S20.20-19995.14. Ele

34、ctronic Industries Alliance. (1988). Packaging material standards for ESD-sensitive items. ANSI/EIA-5415.15. ESD STM2.1：1997Resistance test method for electrostatic discharge protective garments5.16. ESD SP3.3：2000Periodic verification of air ionizers5.17. ANSI ESD S8.1：1993ESD awareness symbols5.18. ANSI ESD