北京凯硕恒盛科技有限公司减薄机HRG说明书综述

1、HRG-150AM TECHNOLOGY Co., Ltd.序言-i-HRG-150AM TECHNOLOGY Co., Ltd.ftg零件警告说明A主轴，皮带，电机旋转BOscillation Motor旋转，移动C工作砂轮旋转D修整砂轮旋转，移动E修整轮的电机旋转，移动F工作台旋转，移动G工作轴电机旋转，移动H进给工作轴电机旋转，移动K控制面板电气危险LNFB,效用提高电气危险M电气柜电气危险-37-O 一般注释你必须定期的执行这个过程以保持设备的状态良好.但有些工作包含非常危险的部分 .所以你必须小心、集中精力去做这项工作.最重要的是“保证安全及事故预防”你必须仔细阅读并认真遵守这个章节

2、里面的内容.O关于设备的运输至于有关设备的装载和卸载，说明书中的运输部分已经给出说明，一定要按照其中 的操作规程去做.包装上面的说明和符号一定要接受 .警告：设备举起后，不要在下面行走和停留；设备不要举过头顶O关于进入操作和操作过程中的注意事项在连接设备的电气线路之前，必需检查目前的主电源电压是否和输入的电压一致 主电源线路不是单独装有保险丝的，所以要提供一个合适白保险盒.连接主要的电缆后检查旋转方向是否正确（电力上的）反复紧固设备上的电气终端元件.开始工作前，必需检查工作砂轮是否已经用螺丝紧固 .当所有的安全装置装好后，例如安全门、盖子及机壳等才能启动设备 .当从锋利的工作砂轮上装卸工作零件

3、时要格外小心.O关于设备的维护保养操作说明书中已经说明了设备检查、维护和保养期间的注意事项，要严格遵守.要有两个或以上人员从事维护保养工作，工作的各方面都要正确的装卸O电气系统部分在进行所有检查、维护和保养之前，一定要将设备的主开关置于“OFF”位置.当管路系统或装置工作时，保证恰当的部件（阀，阀门）保持关闭压缩空气管路的压力应该是安全的.冷却水管路里面应该是空的.不要修复破损的管路，应该及时更换新的.当出现多孔或裂缝时，立即更换软管 .为防止有螺丝的接头漏泄，应在没有压力下拧紧.设备和辅助设备之间的弹性软管不能扭结，避免受到损害工作时使用正确合适的工具.立即更换有故障的零件，任何不得不拆卸的

4、部分必'须相应的标明记号 .当移动盖子，较链盖，电气封闭塞时 ，在任何封闭现场标明记号.重新装配前清洁密封面.作为一个基本原理，紧固件应该时常更新，主要是指螺丝、螺母、弹簧垫圈、普通垫圈等.有螺纹的接口装配时应使用适当的润滑剂或密封剂.润滑之前彻底地清洁内接头.当更换油或油脂时，应确保所用的油脂是厂商指定或推荐使用的警告：处理清洁原料和溶剂、黏结剂、润滑剂时，必须遵守事故预防有关条例进行处理，以防事故和火灾的发生.由于严格禁止杂物或碎屑落下，所以设备经常清洁.清洗时不要把喷射水对准曲经密 封面（防止磨削碎屑进入主轴部分）.保证设备周围地面的清洁和干净.当移除润滑剂清洁剂和溶剂或油之类等

5、废弃物时，必需遵守环境保护相关的规章制 度.当进行电气方面的操作时，主电源的开关要关闭并锁紧，并在醒目的位置标明危险 字样.关闭电气部分的主开关后，在进行下一步工作前，先检查各元件（包括损坏的和能正常工作的）的上面是否存在电压.在没有电的情况下才允许把插头拔出来.连接设备的电缆不要拉的太紧，不要用拉电缆的方法把插头从插座中拔出来额外的电气装置或系统只能用插座连接，不能在电气柜里面接 After use, refit closure caps to sockets to prevent ingress of dirt and moisture.当处理检查维修电气元件时，要有静电保护措施，静电防护

6、的方法如下：地面导电、 工作面接地、戴有导电条的手套和鞋、静电保护服、合适的静电包装纸或容器等.不要把废旧电池扔火里：有爆炸的危险.只能使用同一型号的电池，当丢弃废旧电池时，遵守环境保护的相关规定.多余的在塑料容器里低温干燥保存，不能在包装里面保存超过6个月.O维护保养完成后注意事项当完成维护保养后，请按照下面的操作进行：正确安装所有的挡板.检查设备、电气系统和附属的装置和系统以确保正常功能其余细节会在操作说明书中适当的章节做说明，小的册子是关于连接设备的附属装 置或系统的说明书.绪论导言HRG-150 卧式旋转研磨机有如下几个特征：安全，整洁、高效率研磨及人性化的操作面板.有很高的精度（平面

7、度：1?, 厚度：±2?）操作简单易学，即使初次使用的也能很好的掌握THE IN-PROCESS 修整系统让你实现更高的性能HRG-150 提醒！!+82-31-319-1906,或发邮件:请在仔细阅读本手册后再启动运行设备 . 除指定的人员外其余人员不得操作设备 . 否则会出现报警信息或造成设备的损坏 . 如果您遇到任何问题，请立即给我们打电话: amtamtechnology.co.kr感谢您使用我们的设备.第一章.控制面板（I ）1.控制面板（I ）启动设备前的预防措施！ ！启动设备前，请按照下面的提示认真检查（1）干燥的压缩空气是否供给？压缩空气压力是否大于0.5 MPa?-

8、我们经常设定压缩空气压力为0.50.6 MPa （56 kg/?）（2）连接设备的软管是否紧固？（冷却水、干燥空气）（3）电气供给是否达到所需要求？1）修整时间： No Function .2）砂轮主轴转速仪表：显示工作主轴的旋转速度.3）改变修整砂轮旋转速度的电阻，65%相当于500 rpm4）位置显示：当工作轴置于回复位置时5）真空度显示：当真空压力超过设定值时起作用.6）工作显示：工作状态下起作用.7）错误信息显示：当出现错误时这个显示器起作用.8）回复按钮：若出现异常或错误的情况下，此按钮弹回.9）电源开关：开/关10）修整开/关：？菜单模式+修整开 一修整砂轮会旋转工作，冷却液供给

9、.11） B/W : ?菜单模式+此按钮 一修整砂轮会移向工作轴直到按 F/W按钮或传感器（附在 汽缸上面的）已经探测到.（修整砂轮的位置传感器探测到修整砂轮的反向移动）12） F/W :?菜单模式+此按钮 一 修整砂轮会移向砂轮方向知道按下B/W按钮13)手动/自动/修整模式选择器 S/W14)真空开/关S/W :若真空不开，你不能开始工作步骤.15)进给速度高/低选择器S/W :手动模式选择？ +按下F5按钮+ or 一工作主轴 以此速度移动.16) JOG (+)按钮：手动模式选择？ +按下F5按钮+这个按钮一工作轴移向砂轮 轴.17) JOG (-)按钮：手动模式选择？ +按F5按钮+

10、这个按钮一工作轴反向移动到砂轮轴.18)压力START按钮：自动模式选择？，打开真空？，Door sensor开(门已经关闭)， 你可以用这个按钮打开工作压力.19)压力STOP按钮：停止工作压力或修整压力 .则工作轴回到起始位置.20)复位按钮：手动模式选择？ +按JOG(+)(-)按钮 or +这个按钮当前工作 轴位置数据变为速度数据并且移动到起始位置.如果已经选择修整模式在？，那么当前位置的数据不会在 RAPID POSITION中保存 下来.21)紧急按钮S/W:按下这个会使整个设备所有的系统停止.向右转动开关就可以使它复位，工作轴也会回到原始位置.(The set data have

11、 no22)工作主轴速度R.P.M.:这个转速仪表显示工作主轴的旋转速度function )第二章.数据的设定2-1.操作面板（口）2-2.菜单模式的说明2-3.详述各个模式的作用2-4.减薄研磨的操作步骤2-1.操作面板(n)启动设备前的预防措施！!启动设备前，请按下面的提示认真检查MPa (5 6 kg/?)叵思叵三E回口回包回区JI3-3回 EEEE回mhh 口(1)干燥空气压力是否大于 0.5 MPa ?-我们经常设定空气压力为 0.50.6 管路的连接是否紧固(冷却水、空气)(3)电气方面的供给是否符合要求？寺i|n no|! NHi3000容黑西图 m_ MkU r77*n Erf

12、w* me 回mke5gLtfJIWfW戒Tono0o按下启动按钮.注意！在设备关闭后不要立即启动设备 .REVISION LEVE请稍候十几秒钟.当设备启动后，面板上面显示如下内容：设备型号，电源，产品序号,L,设计者名称.下面内容只能显示3秒钟.AM TECHNOLOGY LTD.MODEL NO : HRG-150ELECTRIC SOURCE : 220V 3PHASE 30AS / N : 01A102EREV 7.1PROGRAM BY AM TECHNOLOGY LTD2-2.菜单模式的说明AM TECHNOLOGY LTD. GRIND M/C NO=01POS = 000.0

13、00 MMWORK DRESS SETADDJOGESCDATA MODE HOME WORK MODEAUTO这是初始菜单的显示屏幕.NO.:屏幕上显示晶片的顺序号： NO.1 NO.2 NO.3当自动运行步骤启动后，这个数字加1.During Add Work Mode process, the figure will not increased自动修整后，这个数字自动回复为"1".2-2-1. POS=000.0000 MM显示当前位置的坐标.因此，当设备由关 一开时，你最好按F3设定HOME.2-2-2.工作数据若你按F1，你可以修改工作数据.操作者可进行存储切削量

14、，切削进给速度，磨削抛光时间和刀具校正的输入这些数据会一直保存在存储器中.2-2-3.修整模式若你按F2 ,允许你设定修整步骤的有关参数 。你可以修改切削量（DWP）,切削进给速度（DWV）和快速移动的位置（DRP）.这些数据也被保存在存储器中.2-2-4. SET HOME当你按F3,工作台会移动到自动寻找的中心位置，中心位置的发光二极管点亮。不管你何时启动设备或设备出现错误，在启动设备前都要把工作台恢复原位注意：复位之前不要开动设备 .否则会发生事故.2-2-5. ADD WORK MODE在AUTO RUN MODE下工作后，测量工件尺寸。如果还需要再磨削，就用 ADD WORK MOD

15、E.。你可以保存加工时间， 在ADD WORK MODE中，rapid position 就是AUTO R UN MODE中的最终位置.在这种情况下，你可以用 ADD WORK MODE 工作.2-2-6. JOG MODE当你选择JOG MODE F5键，允许你缓慢移动工作台.你可以通过选择开关来选择高速或低速.用这个可以在砂轮和工件间找到接触点.找到接触点后，按下 HOME按钮.这.时，如果你选择MANUAL MODE.那么设备就会自动的犯 1 文个点看作磨削的参 考点(rapid movement position )。但是，若你选择 AUTO MODE 或DRESS MODE,那么工作

16、轴就会在没有保存相对于参考点的位置而移 动到零位置。2-2-7. AUTO RUN MODE如果你选择F6 ,允许你自动反复的运行设备。你可以在MANUAL/AUTO/DRESS 选择开关上选择 AUTO,进入这个菜单。如果你选择： MANUAL MODE，工作砂轮和工作轴就会旋转， 冷却液开，但工作轴不会移动到工作位置。DRESS MODE,当你按下开始按钮后，修整砂轮就会行进直到被前面的传感器感应到， 工作轴移动到 DRP位置并开始修整。当工作轴到达修整的最终位置 (DWP+DR P)时，工作轴稍后3秒钟做磨削抛光时间，然后工作轴回到中心位置，汽缸也 到达最原始的位置。我们把这一步骤称为S

17、EMI-AUTO DRESSING PROCESS 。AUTO MODE,当你按下开始按钮后，那么平常的工作步骤就会进行2-3.各个模式的作用2-3-1. WORK DATA当你按下F1时，你能看到下面的显示画面。你可以输入存储切削量，移动速度，磨削时间和TC （刀具校正）。AM TECHNOLOGY LTD GRIND M/CWORK POSITION MOVE DATA CHANGEPOS1=0.300VEL1=1SK1=30RP1=49.290POS2=0.300VEL2=1SK2=30RP2=49.290POS1, VEL1, SK1, RP1分别表明操作步骤前的存储磨削量，移动速度，

18、磨削时间和参考位置的数值。POS2是存储的新的存储磨削量。单位是 mm.例如，若你想要 300?的磨削量，你只要输入0.3按ENTER即可。如果你只是按ENTER而没有改变数值，那么就会显示以前的数值，光标也会移动到VEL2位置。现在光标停留在VEL2位置。VEL2允许你设定进给速度，单位是? /sec。例如，如果你想要 1 ? /sec,只要输入1然后按下ENTER即可。如果你只是按ENTER而没有改变数值，那么就会显示以前的数值光标也会移动到SK2位置。现在光标停留在SK2位置SK2 表示 SPARK-OUT TIME.你可以在SECOND部分设定数值。例如，你想输入30,这表示 SPAR

19、K-OUT 是30秒。如果你只是按ENTER而没有改变数值，那么就会显示以前的数值并且光标也会移动到PR2位置。现在光标停留在RP2位置。RP2允许你设定参考点(接触点)。单位是 ? /sec这个数据会被自动保存下来。首先，选择MANUAL MODE.按F5功能键选择JOG MODE。用JOG HIGH/LOW SPEED, JOG+, JOG-按钮移动工作轴。当你找到参考点后，按下HOME按钮。那么这个当前位置会被保存在这个RP2 ,工作轴也会回到0'位置。如果这时你选择 AUTO MODE或DRESS MODE,那么工作轴移动到0'位置而不会 保存这个当前位置在 RP2中。

20、如果你只是按ENTER而没有改变数值，那么以前的数值就会显示显示屏幕也会变为最初的 显示屏幕。请谨慎的输入新的数据再次检查If you do mis-input data,只要按ENTER直至U MENU Screen 显示。选择F1 WORK DATA 然后再次编辑数据。输入错误数据如果在DRESS MODE(DRP+DWP) 中的最终位置比在 AUTO RUN MODE 中的大，则显示信 息 “WRONG DATA INPUT ” , 当你选择 F6 AUTO RUN MODE 时。DRP + DWP > POS + RP => "WRONG DATA INPUT&q

21、uot;->当这个信息显示时，你不能进行操作步骤。改变DRP然后开始工作步骤。DRP + DWP > 40 mm => "CHECK DRESS STONE"->当这个信息显示时，你不能进行操作步骤。更换心的修整砂轮并找到修整砂轮的参考位置(DRP).当工作砂轮是新的的时候决定设定的数据，修整用的磨石剩余2mm。2-3-2.修整模式AM TECHNOLOGY LTD GRIND M/CDRESS AXIS MOVING DATA SETTING MODEWP=0.200 WV=5 DRP=25.036 TC=10CNT=02EN=1WP=0.200

22、WV=5 DRP=25.036 TC=10CNT=02EN=1如果你选择F2键，你可以编辑关于修整的数值.WP, WV, DRP是关于修整方面的参数。输入数据的方法和 WORK DATA中提到的相同。WP表示修整砂轮的存储磨削量单位是 mm.WV表示修整轮到达DRP位置直到工作轴到达修整的最终位置（WP+DRP）的进给速度。单位是 um/secDRP 表示位于前进位置的修整砂轮轴下的修整用砂轮磨石的 the Rapid approaching position 。单位是 mm.你可以象这样找到这个DRP位置.看右边的图片。1 .选择 Manual Mode .2 .按F5功能键选择JOG MO

23、DE。3 .按F/W按钮用来移动修整轮的轴向前面方向移动。4 .用JOG(+), JOG(-)按钮来移动工作轴直到工作轮和修整轮相遇 在A.5 . 看屏幕并 t己下 current position .JOG MODEPOS=006.260 MM6 .选择Auto Mode或Dress Mode.7 .按HOME按钮，则工作轴回到0'位置。如果在第6步你不选择Auto Mode 或Dress Mode,那么current position 会被自 动保存在RP1 F1中。8 .按F2功能键并输入上面的位置数据到DRP中。请认真仔细白检查数值！!如果你有两个这样的数值，请用JOG MOD

24、E再次确认证实一下。TC 表示距离补偿。自动修整后，RP1(Rapid approaching position for wafer ;见2-3-1) will be added with this distance.现在设定为 10 um.单位是umCNT : When the count of wafer reached to this parameter, then after you pushed START but ton in the next Auto Run Mode, the Auto Dressing process will be started automaticall

25、y. Th is parameter will be count in the program, and will not count in Add Work Mode. Maximum is 99.EN :是否使用上面的 CNT功能。当你把这个参数设为“ 1”，那么就意味着你要使用 CNT功能。但是，如果你不是设为“ 1 例如，"2",如"，"4".,那么就意味着你不使用CNT功能。2-3-3. SET HOME任何时候你启动设备 或遇到错误的情况下，按F3键再次设定MECHANICAL HOME POSITION 。如果你按 F3键，工作台

26、移动寻找 HOME POSITION.After that, the screen will be changed with MENU SCREEN.HOME LED点亮。AM TECHNOLOGY LTD GRIND M/CRETURN TO HOME POSITION MODEPOS000.000 MMPLEASE WAIT2-3-4. JOG MODEJOG MODE用来手动研磨工件或者是寻找砂轮表面和工件表面的接触点。如果你按F5键，将允许你移回工作台，前面你可以从屏幕上看到从原始位置移动到当前位置 你也可以通过转动JOG SPEED SELECTOR 开关来控制速度的高和低。JOG

27、MODEPOS=000.000 MM如果你想要找到工作轮和工件之间的接触点：1 .选才i Manual Mode 和高的 Jog Speed.2 .通过JOG(+) and JOG(-) 按钮移动工作台到砂轮头前面，距砂轮头0.5mm。3 .选择 LOW SPEED.4 .再次移动工作台到砂轮头直到工作砂轮和工件有接触。5 .旋转砂轮头检查接触点。6 .当你得到接触点后，按 HOME按钮。7 .则这个当前位置会被保存在RAPID movement position.这个位置数据会被字空保存在程序里面。(你不能对它做修改)。8 .工作轴回到0'位置。You can check this

28、saved contact position after the screen changed to Menu Screen and selected AUTO MODE and pressed F6 for Auto Run Mode. (for example, RP=54.230)如果你不想在上面第 6步保存当前位置在RAPID movement position中，选择Auto或Dress MODE 然后按HOME按钮。那么工作轴回到0'位置而不用 保存当前位置在程序中。2-3-5. ADD WORK MODEAUTO RUN MODE and ADD WORK MODE 之间

29、的不同主要表现在 are rapid position 和速 度。因此，如果你用ADD WORK MODE ,你可以节省时间.WORK DATA F1 .SAVED IN PROGRAMPOS1 mmCONTACT POSITION (A)0.1mm 一iL 1JRAPID 2RAPID 1INITIALPOSITION POSITIONPOSITIONALJT口 RUNMODE DATAVEL.1 um/sBc ISET INEROGRAM5E? IN FROGRAMVELnCITYDAT由FfJAL POSIHONRAPID 1PQ5ITIDNr.lTIAIPOSITIONFNALPTUT

30、IONR4PID 2PCSiriONK1VING BIRECTrnN DF WDRK AXISADD WCRKMODE DATAI II fdpiD 2I positionRAPID 1POSITIONINITIALPOSITION1LILW/D mmJ L,L dm0.1mm/L.JRK DATA FINAL PDSriQN-0.1 lrrPOSITIONDATA选择 ADD WORK MODE F4.AUTO AOD WORK MODE W/D=0.060 NO=。1POS = + 000.000 MMFP-10.260 RP=10,200 WP-0.060 DP=6.030那么在W/D输

31、入数据，单位为mm。输入W/D数据后按ENTER,则屏幕显示如下。AUTO ADD WORK M0。卜 PRESS RUN KEY NC=01POS = + 000.000 MMFP-10.260 RP=1 0,200 WP=0.060 DP=6.030检查 the rapid position RP, final position FP, Dress rapid position DP其余要做的和 AUTO RUN WORK MODE 中相同。请查阅2-3-6 。2-3-6.自动退出当你按F6键时，屏幕显示如下AUTO RUN WORK MODE PRESS START KEY NO=01P

32、OS=+000.000 MMFP=10.100RP=10.000WP=0.100DP=6.030例如上面显示的屏幕遵照下面的输入方法输入数据。工作数据POS=0.1, VEL=1, SK=30, RP1=10.000修整模式下的数据WP=0.200, WV=3, DRP=6.030, TC=10, CNT=2, EN=1FP表示final position, R/P + W/P.RP 表示 RAPID APPROACH POSITION.WP 表示 WORK DATA POSITION ,和 STOCK REMOVAL AMOUNT 相同。DP 表示修整砂轮的 the rapid approa

33、ching position 。如果在这个菜单下你按START按钮，你可以看到下面的屏幕显示。AUTO RUN WORK MODE RAPID 1 STEP NO=01POS=+009.900 MMFP=10.100RP=10.000WP=0.100DP=6.030屏幕显示的是 RAPID APPROACH operation.工作台仅向前移动 10-0.1mm=9.9mm with RAPID SPEED.(This rapid speed and 0.1 mm distance are fixed in the program )AUTO RUN WORK MODE RAPID 2 STE

34、P NO=01POS=+010.000 MMFP=10.100RP=10.000WP=0.100DP=6.030 下一个屏幕显示9.900和10.000之间的速度近似值。这个接近速度在程序中也被确定下来。当工作台接近10.00 ,如上面显示要暂停1秒钟。AUTO RUN WORK MODE WORKINGNO=01POS=+010.078 MMFP=10.100RP=10.000WP=0.022DP=6.030这个屏幕显示研磨步骤的百分比。当我们输入 WORK DATA POSITION 0.1 mm,设备以1 ? /sec的进给速度研磨工件0.1 mm。AUTO RUN WORK MODE

35、SPK OUT : 30NO=01POS=+010.100 MMFP=10.100RP=10.000WP=0.000DP=6.030当工作台到达最终位置时，停止 30秒钟(as set times)然后工作台回到起始位置，显示屏幕返回原始的菜单显示。AM TECHNOLOGY LTD. GRIND M/C NO=02POS = 000.000 MMWORK DRESS SETADDJOGESCDATA MODE HOME WORK MODEAUTOAfter you working 1 more Auto Run, then the 3 rd Auto Run, the auto dressi

36、ng procedure will be done before start grinding.2-4.减薄研磨的操作步骤上面的图片显示的是操作的面板回叵回亘画回 口口回FZl E B B lZ H rn z e g efi eI - I I U I . IEg | . |2-4-1.放置工件当接触到夹盘上的夹具后打开真空。然后检查真空测量表是否到达60mm/Hg.如果达到 60mm/Hg , VACUUM LED点亮。如果没有，请检查工件和夹盘之间是否存在杂质，然后重试一次2-4-2.设定原始位置按F3键，木查HOME LED是否点亮。这一步骤只需要一次，当电源关一开的情况下或者按下RESE

37、T键或STOP或EMG按钮。（见2-3-3中的描述）2-4-3.设定研磨的参考点(接触点)1 .选择MANU模式。2 .放置工件后把真空打开。3 .按F5键进入JOG MODE 显示屏幕。4 .用JOG(+), JOG(-)以高和低的速度移动工作轴直到工作砂轮和工件接触。5 .按HOME按钮，则当前位置会被自动保存在 RAPID POSITION 数据中RP1。 (见2-3-4中的描述)这时，当你找到接触位置后如果你选择Auto Mode 或Dress Mode,按下HOME按钮,则当前位置就不会被保存在 程序中。2-4-4.设定工作数据选择F1键，输入工作数据变量。用数字键和回车键输入 PO

38、S2 (STOCK REMOVAL AMOUNT), VEL2(REMOVAL SPEED), SK2 (SPARK-OUT TIME) 和 RP2(REFERENCE POSITION)。(见2-3-1中的描述)2-4-5.检查修整模式数据请查阅2-3-2中描述的方法检查这个模式中的数据。如果有错误的数据，和编辑工作数据的方法一样编辑这些数据。2-4-6. EXECUTION AUTO RUN MODE选择AUTO模式。按F6键。检查FP, RP, WP和DP的数据 按下START按钮。设备自动实现研磨操作。(见2-3-4中的描述)2-4-7. SEMI-AUTO DRESSING适用94%

39、氧化铝薄片，首先我们需要修整。当你找到修整用的砂轮磨石和工作砂轮之间的接触点时DRP,关闭前盖。修整轴是否已经位于反转位置？修整用的磨石是否有足够的剩余用于修整？选择Dress Mode按下START按钮。则修整轴移动到前进位置然后再移动到DRP位置。修整工序后，工作轴回到0'位置，完成。2-4-8. AUTO-DRESSINGAfter Semi-dressing procedure, working the wafer with Auto Run Mode.If you set the dataTC=10, CNT=2, EN=1Then after this 1 st Auto

40、Run procedure, the NO in the Initial Menu screen will be10.Then do Add Work and make the wafer thickness what you want to.After this 1 st wafer, loading the new 2 nd wafer.Select Auto Run Mode, and press START button to start working.After this 1 st Auto Run procedure, the NO in the Initial Menu scr

41、een will be 2'.Then do Add Work and make the wafer thickness what you want to.After this 2 nd wafer, loading the new 3 rd wafer.Select Auto Run Mode, and press START button to start working.At this moment, after you press START button, Dress axis move to Forward position to start auto-dressing p

42、rocess because the CNT=2 and EN=1.At this moment, if the EN is not equaled to 1''(2,3,4 )，then the auto-dressing process doesn't occurred.Then the work axis move to the DRP position and do dressing procedure.After dressing process, the dressing axis returned to Backward position.And the

43、work axis move to RP2 position.At this moment, the RP2 position will be changed to RP2+TC automatically.After this Auto Run process, the NO in the Initial Menu screen will be 10.2-4-9.其余按键的功能.RESET按钮：当出现异常情况或错误的时候按下这个按钮。一旦按下这个按钮，工作轮的运动控制器和伺服传动器也要重新设aEoSTOP按钮 ：此键停止所有的电机工作。研磨工作中你按下这个按钮，工作轴就会回到0'位置

44、。EMERGENCY开关：此键停止所有的操作系统回复开关，向右旋转开关，工作轴会回到0'位置。然后按下RESET按钮。冰 如果你按下 STOP按钮或 EMG开关，请再次按下 RESET 按钮和 SET HOME F3 。如果你想按下START按钮开始工作，必须- 真空传感器已经探测到（真空压力超过60 mmHg ）- 门传感器已经探测到（门必须关闭）- 工作轴的力学内部传感器必须开启。CHAPTER 3. 维护保养3-1.细述工作台的图纸3-2.如何调整工作台的角度3-3.更换砂轮3-4.改变每个部分的旋转速度3-5.冷却器3-6. OSCILLATE FUNCTION3-7.皮带张力

45、3-8.修整砂轮3-9.废气排放压力3-10.油脂3-11.真空传感器3-1.细述工作台的图纸（19mm）活扳手截面？M12固定轴壳的扳手螺栓M6改变砂轮头方向的M6固定螺丝 Dial Indicator M10 hexagonal-bolt for oscillation? M10固定砂轮的扳手螺母?工作轴?工作空间的照明?门传感器3-2.如何调整工作台的角度？ bolts must首先， Untighten 3 pieces of bolts with M12 wrench. It means one of,M6 set screws.be tightened.Next, Then tur

46、n the wheel-head to proper angle by usedSee the Dial indicator for reference.BCEMethod 1Fixed the bolt ,untighten ？. Screw in the set screw number .Method 2.Fixed the bolt ? , untighten . Screw in the set screw number .壳A: A点比其它各点要高首先，松开螺栓直到它和主轴底板没有接触为止。壳B: A点比其它各点要低首先，松开固定螺丝直到它和底板没有接触为止。Method 1Fix

47、ed the bolt ，untighten ？. Screw the set screw number .Method 2.Fixed the bolt ? , untighten . Screw the set screw number .Method 3.Fixed the bolt ，untighten ？. Screw the set screw number .X以这些说明作为参考。你可以用 检查砂轮头的改变，千分表3.所有的事情OK后，然后拧紧？螺钉。派请确定检查所有的干扰后小心的移动砂轮头使砂轮末端和工作台中心相一致。3-3.更换工作砂轮A.把M10套筒扳手嵌入 ？螺钉上，19

48、mm扳手卡住主轴 B.逆时针旋转扳手。C.那么你就可以把它拆卸下来。D.从轴上把砂轮取下来。E.更换砂轮并重新把它拧紧。F.用千分表检查砂轮的径向跳动。设定径向跳动在 0.02 mm以内。3-4.每个部分的旋转速度你可以通过控制面板上的VR（Volume Resister）开关来改变修整砂轮的旋转速度。修整砂轮次65% 大概相当于 500 rpm.用V/R 改变速度.工作砂轮X主轮的旋转速度（工作）由2速度确定.工作时，它是用参数No.9（大概2250 rpm）来设定假如是修整时，它的旋转速度的设定由参数No.8（大概1150 rpm）决定.因此你可以从伺月艮放大器来改变旋转速度。Please

49、 refer to the attached manual for the servoamp.工作轴%工作轴的旋转速度确定为560 RPM .你可以从逆变器中改变旋转速度.3-5.冷却器右图显示的是冷却器的控制面板如果你想改变冷却液的温度A打开电源（按按钮）B.按显示屏幕闪烁（数据改变模式）C.用来改变数据功能KOREANENGLISH诺定将钿? ?SET向上的按钮? ?UP向卜的按钮? ?DOWN主电源开/关? ?POWER懿疆昭 里 他CHILLERCONTROLLERD.再次按。完成3-6.振动功能x振动原理首先，松开M10六角螺母 again securely.Next, move t

50、he spin guide what you want to and tight boltWe usually recommended this eccentricity rate as 02.5 mm.FIRSL LOOSE THISMIO HEXAGDNAL-BOLT,3-7.如何控制每条皮带的张紧程度出厂时我们已经使皮带张紧。因此，如果不是需要，不要更改皮带的松紧程度.3-7-1.工作轴(BELT SPEC. : 7M 630 - POLYMAX BELT)首先，松开图中显示的4个螺钉。然后移动电机使皮带张紧。重新把4个螺钉固定好。LEESE THIS4 BQLT3-7-2 步进电机 (

51、BELT SPEC. : 184 MXL - 9mm TIMING BELT)首先松开图中显示的4个螺钉。然后移动电机使皮带张紧。重新固定好4个螺钉。LUISE THIS q EnT3-7-3 工作轴 (BELT SPEC.: 7M 1750 - POLYMAX BELT)首先，松开图中的4个螺钉。然后移动电机使皮带张紧。重新固定好4个螺钉。HRG-150AM TECHNOLOGY Co., Ltd.-39-3-8.修整砂轮which recommended当你购买了一个新的砂轮用于工作时，需要修整For the truing process, use the dressing wheel a

52、ttached with jig by working wheel supplier3-8-1.精密修整1 . Marking on the surface of working wheel.2 .选择 MANUAL MODE(use the MANU/AUTO selector switch)3 .按下 F5 JOG MODE4 . Find the touch point by used Jog speed High/Low and Jog(+), Jog(-) button.5 .按HOME按钮6 .工作轴回到0'位置后，按下F1来输入工作数据。7 .输入数据。POS2=0.5

53、mm , VEL2=3 um/sec, SK2=3 sec8 .选择AUTO模式9 .按下F6进入自动运行模式，按下START按钮。10 . 这一步骤完成后, check the marking on the working wheel.If the pen mark has erased, truing is completed, else try truing again.The truing and dressing process is very similar, but the Truing process need just one time if the wheel is a new one.3-8-2.修整砂轮有3个途径用来修整工作砂轮。I . Use the dressing wheel attached to the Jig. This way is same with truing procedure except POS2=0.2 mm.1 .选择 MANUAL MODE(use the MANU/AUTO selector switch)2 .按 F5 JOG MO