沉铜速率与蚀刻速率的测定_第1页
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1、沉铜速率与蚀刻速率的测走使用化学沉铜镀液，对沉铜速率有一定的技术要求。速率太 慢就有可能引起孔壁产生空洞或针孔；而沉铜速率太快，将产生 镀层粗糙。为此，科学的测定沉铜速率是控制沉铜质量的手段之 一。以先灵提供的化学镀薄铜为例，简介沉铜速率测定方法：(1) 材料：采用蚀铜后的环氧基材，尺寸为100100 (mm) o (2)测定步 骤：A、将试样在120-140°C烘1小时，然后使用分析天平称重 Wl(g);B、在350-370克/升辂阡和208-228毫升/升硫酸混合液 (温度65°C)中腐蚀10分钟，清水洗净；C.在除鎔的废液中处理(温度30-40°C)3-5分

2、钟，洗干净;D、按工艺条件规定进行预浸、活化、还原液中处理；E、 在沉铜液中(温度259)沉铜半小时，清洗干净；F、试件在120- 14CTC烘1小时至恒重，称重W2(g) <> (3)沉铜速率计算：速率=(W2-Wl)104 /8. 9310100. 52( nm) (4)比较与判断：把测定的结果与工艺资料提供的数据进行比较 和判断。2.蚀刻液蚀刻速率测定方法通孔镀前，对铜箔进行微蚀处理，使微观粗化，以增加与沉 铜层的结合力。为确保蚀刻液的稳定性和对铜箔蚀刻的均匀性， 需进行蚀刻速率的测定，以确保在工艺规定的范围内。(1)材料：0. 3mm覆铜箔板,除油、刷板，并切成100100

3、 (mm)； (2)测定程 序:A.试样在双氧水(80-100克/升)和硫酸(160-210克/升)、 温度3CTC腐蚀2分钟，清洗、去离子水清洗干净；B.在120- 14CTC烘1小时，恒重后称重W2(g),试样在腐蚀前也按此条件恒 重称重W1 (g)。(3)蚀刻速率计算速率=(W1-W2) 104 /28. 933T( um / min)式中：s-试样面积(cm2)T-蚀刻时间(min) (4)判断：1-2 um/min腐蚀速率为宜。(、5-5分钟蚀铜270-540mg) o 3.玻璃布试验方法在孔金属化过程中，活化、沉铜是化学镀的关键工序。尽管 定性、定量分析离子锂和还原液可以反映活化还原性能，但可靠 性比不上玻璃布试验。在玻璃布沉铜条件最苛刻，最能显示活 化、还原及沉铜液的性能。现简介如下：(1)材料：将玻璃布在 10%氢氧化钠溶液里进行脱浆处理。并剪成5050(mm),四周末端除 去一些玻璃丝，使玻璃丝散开。(2)试验步骤：A.将试样按沉铜 工艺程序进行处理；B、置入沉铜液中，10秒钟后玻璃布端头应沉铜完全，呈黑 色或黑褐色，2分钟后全部沉上，3分钟后铜色加深；对沉厚铜， 10秒钟后玻璃布端头必须沉铜

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