真空镀膜机安全管理规定_第1页
真空镀膜机安全管理规定_第2页
真空镀膜机安全管理规定_第3页
全文预览已结束

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

1、真空镀膜机安全管理规定 真空镀膜设备是电阻加热式蒸发真空镀膜设备。操作人员必须具体阅读该机说明书，了解设备结构、工作原理、操作程序并由专业人员指导培训，熟练掌握各操作要领。经有关专业人员确认符合操作规范，方能独立上岗操作。 一、该机开机前应先检查电控柜的接线是否有松脱现象，接上电源，并检查真空室内电极绝缘性，钨丝接触是否可靠，工件架转动是否自如。联轴器，输入电极接触是否优良，各密封处特别是动密封处是否优良。还需检查扩散泵、旋片泵、罗茨泵、滑阀泵等的油量是否满足要求。提供的电源、气源，各种机械泵转向都应正确。注意：试验罗茨泵转向一定要在真空状态下进行。 经过上述检查，各项性能优良，才能进行抽气试

2、机。如果镀膜室长期暴露大气，还必须进行"炼气'，就是按照操作规程，不进行镀膜，只让机械泵、扩散泵等连续抽气，察看真空度上升的稳定状况，假设真空度坚持稳定，才能进行下一步操作。一般"炼气'时间要达10小时以上。调试时主要检查： 二、满足以上各项检查后，进入操作和使用： 1.在非特别状况下，请勿以断拉闸(断电)方式停机。 2. 本设备通电及运行过程中，请勿触摸电气控制柜内部和外部用电器件，注意安全。 3. 确认安全无误时才能操作设备。 4. 不要将设备交给非本设备操作人员操作。 5. 设备及电源控制柜必须优良接地。 6. 非专业人员请不要修理本设备。 三、工作中

3、还必须注意以下几点： 1.平常，整个系统要坚持真空状态，工作前才充入气体，不要使真空室长期暴露在大气中; 2.真空室镀膜200-250次后，要清洗真空室和工作支撑架; 3.常常检查胶封是否优良，特别是动密封圈，定期给动密封圈加上真空脂; 4.定期检查电气元件，清除灰尘，改换烧坏的电器元件; 5.在真空状态下不得拆卸扩散泵和阀门; 6.罗茨泵、粗抽泵、维持泵要定期加油，换油(坚持油面在油镜中心为佳); 7.充气阀门充气动作失灵时，必须进行检修; 8.镀膜完毕时先关闭真空测量计，再关闭精抽、前置阀，待精抽阀、前置阀完全关闭后才能充入大气，否则会烧坏电离规管，氧化扩散泵油及发生不必要的以外; 9.镀膜机在工作过程中，不得断水，假设在工作过程中突然停电，应马上关闭精抽阀门，减少因系统漏气泵油的氧化; 1

人人文库> 全部分类> 生活休闲 > 科普知识

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论