触摸屏蚀刻生产工艺

1、文件编号XXX-WI-RD-038XX光电有限公司版本A修订日期2015-01-01适用车间丝印版次1修订部门工艺部作业指导书页数5/4机种ALL机台号ALL名称蚀刻生产工艺1. 酸液1) 新配酸液和使用过的酸液浓度的测定a:将酸液稀释用吸量管吸取10ml酸液, 放入100ml 容量瓶中, 然后加入纯水至刻度处, 盖好玻璃塞, 摇匀备用。b.测定酸液当量浓度用吸量管吸取10ml " a " 之稀释液, 放入锥瓶中, 加纯水约30ml摇匀,再加酚 指示剂1 - 2 滴, 用氢氧化钠(NaOH) 标准溶液滴至粉红色后摇匀, 1分钟后不褪色为 终点, 读取氢氧化钠(NaOH)体积

2、(ml)计算。2) 酸液浓度的计算:N酸 -待测酸浓度 ( N )N NaOH -NaOH标准溶液浓度 ( N )V酸 -待测酸溶液体积 ( ml .此处为10ml)V NaOH -NaOH标准溶液用量 (ml)2. 碱液1) 新配碱液和使用过的碱液浓度的测定用吸量管吸取2.0ml碱液, 放入锥瓶中, 加纯水约30ml,再加甲基橙指示剂1-2滴(这时溶液呈橙黄色), 然后用盐酸(HCL)标准溶液滴至由橙黄色变成橙红色后摇匀, 1分钟后不褪色即为终点,记下用去的HCL体积(ml)。2) 碱液浓度的计算:N NaOH-待测碱液(NaOH)当量浓度 ( N ) N HCL-盐酸标准溶液当量浓度 (

3、N ) V NaOH-测定时所吸取碱液的体积( ml ) V HCL-测定时所用去盐酸的体积 ( ml ) 核准审核编制一、生产设备的设定1. 生产设备蚀刻及除油墨设备生产线分酸蚀、碱蚀、水洗、超声波清洗、风刀、烘干六段。酸蚀、碱蚀段带水洗部分。各段喷头要畅通, 不能有堵塞现象。此设备可用于蚀刻ITO Glass或ITO Film。欣裕达(新)蚀刻线酸蚀段只有一槽酸，其酸浓度为18%26%调机值23、24，专门用于ITO Film的蚀刻。科宇达（旧）蚀刻线酸蚀段有两槽：第一槽酸浓度为18%26%调机值23、24，第二槽的酸浓度为18%26%调机值23、24。专门用于ITO Glass的蚀刻，且

4、须同时使用两槽酸液。2. 机器参数的设定(1)膜酸蚀刻参数表A. ITO Film材料类别材料编码材料方阻/酸液浓度HCL设置温度设置速度m/min酸喷淋压力水喷淋压力P上kg/cP下kg/cP上kg/cP下kg/c膜ALL35050018%-26%30451.8-2.51.0-1.500.8-1.30.5注：a.以上Film材料为我司现常用物料，生产过程中如遇新物料蚀刻参数可咨询工程部；b.酸液蚀刻Film材料时设置的温度、速度、需根据酸液的浓度及材料导电层附着力的强弱而调节。以能完全刻断、不短路为原则。如出现刻不断等其它的现象时请优先调整各阶段的速度，以1.8为基准往上调或往下调；c.生产

5、前需做首件检测原材料方阻，方阻需在要求范围之内才可正常生产；d.酸液流量要适中范围；e.酸槽的速度必须小于且不等于纯水槽的速度。B. ITO Glass(1)玻璃酸蚀刻参数表材料类别材料编码材料厚度mm材料方阻/酸液浓度1HCL+HNO3酸液浓度2HCL+HNO3设置温度设置速度m/min酸喷淋压力kg/c水喷淋压力kg/cP上P下P上P下玻璃ALLALL3505008012018030018%-26%18%-26%354511.812.512.511.50.50.8注:a.第一、二槽酸液蚀刻Glass材料时设置的温度、速度、需根据酸液的浓度及材料导电层附着力的强弱而调节,以能完全蚀刻、不短路

6、为原则并配合碱段的参数；b.同时生产前需做首件检测原材料方阻,方阻需在要求范围之内才可正常生产；c.两槽酸液流量要适中范围；d.如出现刻不断等其它的现象时请优先调整各阶段的速度以1.5为基准往上调或往下调； e.酸槽的速度必须小于不等于碱槽的速度。（2）碱洗、脱膜(Glass)材料碱液浓度设置速度m/min设置温度碱喷淋压力kg/c水喷淋压力kg/c备注P上P下P上P下Glass59%1.01.835450.71.50.51.00.61.20.51.0Film膜暂时不用碱液注:a.机器运转速度,随碱液的浓度调节。以能将材料上的耐酸油墨洗脱干净为原则。转速要与酸洗速度相配合，比酸段的快,或将材料

7、放入酸蚀刻段时间的间隔拉长；b.碱液流量要适中范围。（3）烘干(以可烘干且不变形为原则)、水洗及超声波清洗材料水喷淋压力kg/c烘干温度烘干速度m/minP上P下Film0.81.30.30.560±51.82.5Glass1.01.60.50.860±51.02.3注: a.烘干速度应与碱洗速度相同；b.水洗时水量较大,要确保冲洗干净。(4)注：开机运行到设定温度后(约1520分钟),方可测试酸液及碱液的浓度,其在规定范围内可进行生产。 二、酸溶液的配制1.酸液 1)第二槽酸液配制方法:a.开槽配360升左右酸液b.配制比例: 盐酸HCL(3638%) : 纯水H2O 1

8、 : 1.5 c.取178升的HCL慢慢加入267升纯水中(边搅拌边加入) 。配好后测试酸的当量浓度,在范围内方可使用。 2)第一槽酸液配制方法:a. 开槽配360升左右酸液b.配制比例: 盐酸HCL (3638%) : 硝酸HNO3(6568%) : 纯水H2O 50 : 4 : 60c.取172升HCL慢慢加入175升的纯水中(边搅拌边加入)，再取14升HNO3慢慢加入以上酸液中，边搅拌边加入。配好后,测试酸的当量浓度在范围内方可使用。 3)配制两槽酸液的注意事项:a. 不能将水加入酸中,否则极易爆炸；b.HCL、HNO3不慎沾到皮肤上,应立即用大量水冲洗；c.酸加入水中,速度不能快,必须

9、慢慢加入；d.整个过程必须在通风良好的环境中进行,并必须配带耐酸、碱手套，并戴口罩及防护眼镜。三、碱溶液的配制1) 配制比例 氢氧化钠(分析纯) NaOH (g) : 纯水H2O(ml) 1 : 45 (约2%) 2) 配制方法 a.开槽配制约200升碱液；b.称取4.4kg氢氧化钠, 置于白色塑料筒中, 再量取约195升纯水将其溶解。3)配制碱液的注意事项:a.先将固体氢氧化钠(NaOH)尽量捣碎, 再用适量纯水溶解,最后加入剩余的纯水配成；b.整个过程中,需不停搅拌,尽可能不让氢氧化钠沉淀结块；c.搅拌速度适中,不宜过快。四、纯水a.用精密PH试纸(5.08.0)测试, PH=6.57.0

10、方可生产；b.开启排水阀及进水阀正洗水质电阻率(即混床电阻率)1Mcm(1s/cm),方可生产。五、补充液的添加量1) 酸液A. 第二槽酸液: a.12-3638%盐酸当量浓度(N)V补充-酸补充液的体积(L)N前-使用前酸液的浓度(N)V前-蚀刻前酸液的体积(L)N后-蚀刻后酸液的浓度(N)V后-蚀刻后酸液的体积(L) b.3638%HCL,当量浓度=12NB.第一槽酸液:a.补充酸液体积公式同上(A-a.) b.因为VHCL : VHNO3 50 : 4, 硝酸体积与盐酸相差较大, 故酸补充液先按盐酸计算:根据计算出的体积, 按比例计算出HNO3体积。c.添加盐酸体积按盐酸含量换算； d.

11、 3638%HCL，当量浓度=12N 2) 碱液W NaOH40 x ( V前 N前 - V后N后 )W NaOH -补充NaOH的重量(g)40-NaOH克当量V前-使用前NaOH的体积(L)V后-使用后NaOH的体积(L)N前-使用前NaOH的浓度(N)N后-使用后NaOH的浓度(N)备注:由于补充液的添加均要求知道溶液的体积。因此, 每次开机前要记录溶液体积。六、酸/碱体积比的检验方法：开机运行到设定温度后(约1520分钟),测试酸液及碱液的体积比,在规定范围内方可进行生产。1酸液 1）新配酸液和使用过的酸液的测定 a.将酸液稀释 用吸量管吸取10ml酸液，放入100ml容量瓶中，然后加

12、入纯水至刻度处，盖好玻璃塞，摇匀备用； b.测定酸液当量体积 用吸量管吸取10ml“a”之稀释液，放入锥瓶中，加入纯水30ml摇匀，再加入酚酞指示剂13滴并记下锥瓶内溶液的体积为V1，再取氢氧化钠（NaOH）标准溶液倒入滴管内一般以50ml为基准，然后缓慢滴入锥瓶中，滴至粉红色后摇匀一分钟后不褪色为终点，计下此时锥瓶内的数据为V2，根据以下公式计算出溶液的体积比； 2）新配酸液和使用过酸液体积比的计算:待测酸液体积比(ml) HCL浓度盐酸当量浓度为0.35(N) V110ml“a“之稀释液+30ml纯水+13滴酚酞 V210ml“a“之稀释液+30ml纯水+13滴酚酞+氢氧化钠标准溶液 VN

13、aOH测定时所用去氢氧化钠（NaOH）标准溶液所用的体积(ml)2碱液 1）新配碱液和使用过的碱液体积比的测定 用吸量管吸取2.0 ml碱液,放入锥瓶中,加纯水约30ml,再加甲基橙指示剂13滴(这时溶液呈橙黄色) 并记下锥瓶内溶液的体积为V1, 再取盐酸(HCL)标准溶液倒入滴管内一般以2025ml为基准,然后缓慢滴入锥瓶中,滴至由橙黄色变成橙红色摇匀一分钟不褪色为终点, 计下此时锥瓶内的数据为V2，根据以下公式计算出溶液的体积比； 2) 碱液体积比的计算N碱待测碱液体积比(ml) HCL浓度盐酸当量浓度为0.35(N) V12ml碱液+30ml纯水+13滴甲基橙 V22ml碱液+30ml纯

14、水+13滴甲基橙+盐酸标准溶液 VHcL测定时所用去盐酸(HCL)标准溶液所用的体积(ml)七、注意事项1) 配制前,所用容器、工具必须洁净干燥,每次使用完毕,应立即清洗；工作桌面保持清洁、整齐；2) 使用完的试剂,必须立即将瓶盖拧紧,避光放于阴凉处；3) 配制溶液,所需用水必须采用纯水,溶液配制完后用塑料勺加入槽中；4) 溶液配制必须在通风处进行,操作人员需配戴耐酸、碱手套、口罩、防护眼镜及穿雨鞋；5) 配制酸液时,不能将水注入酸中,否则极易产生爆炸；酸、碱不慎沾到皮肤上, 应立即用大量水冲洗；6) 配制标准溶液的试剂均采用分析纯。生产用盐酸、硝酸、氢氧化钠采用化学纯；7) 酚酞为碱指示剂,用适量乙醇溶解；甲基橙为酸指示剂,用适量纯水溶解；8) 每次开机前,酸液、碱液的浓度必须测试。连续生产时,每3.54.0小时需测试槽中酸、碱液的浓度。若浓度不足,需添加。当生产量大, 应适当增加测试频率,以确保溶液浓度在要求范围内；11)碱液:每工作72小时（3天）或4000sht换一次槽液并清洗碱槽(具体视