扩散新工艺实验推广报告ppt课件

1、分散新工艺实验分散新工艺实验2021.5.182021.5.18;实验背景： 优化工艺，提升效率。stepmessage工艺设定时间/minGasFlowN2（slm）LN2（slm）LO2（slm）0STADNBY05.0 001BOAT IN72.0 002BOAT OUT52.0 003TESTING0.56.5 004HEAT UP412.0 005PREPURGE212.0 01.06DEPOSITION1712.0 1.0（0.95）0.357POSTPURGE512.0 0.050.58DRIVE IN612.0 0.054.25（4.5）9DEPOSITION212.0 1.0

2、（0.95）0.3510DRIVE IN68.0 0.054.5（3.5）11COOLDOWN312.0 0012BOAT IN54.0 0013BOAT OUT74.0 00Recipe更改：调整思绪：降低总磷源流量，降低外表浓度，并且配合利用氧气加强分散思绪，提高开压和电流。分散工艺优化实验;1.1 小试实验结果采用新工艺姊妹片验证，开压，电流有提升，效率较产线有0.022%的提升。方案电性能结果效率提升(%)数量(pcs) Voc(mV) Isc(A) Rs(m) Rsh() FF(%) Eta(%) 方阻/STD(%)1467634.8 8.786 2.82 356 78.72 18.

3、05 993.660.02461634.3 8.786 2.83 361 78.72 18.03 983.062454635.3 8.818 2.76 623 78.55 18.08 1003.810.00467634.5 8.812 2.65 567 78.71 18.08 922.373476636.5 8.784 2.80 573 78.66 18.07 982.510.04449635.6 8.773 2.78 634 78.68 18.03 933.254466634.0 8.753 2.83 758 78.62 17.93 1024.160.03457633.6 8.750 2.8

4、4 673 78.59 17.90 1012.74分散工艺优化实验;新工艺推行后，std和和产线差别不大添加0.12%，方阻平均值为97ohm/sq，返工和产线差别不大。分散工艺优化实验1.1分散工艺中试实验结果分类工艺切之前工艺切之后std3.363.48方阻95ohm/sq97ohm/sq分散std变化趋势扩散返工情况实验0.24%1.2大线数据正常产线0.27%同期3.4.5线备注：5.13号晚班开场在一二大线推行。;分类方阻平均实验组刻蚀前98.297.5105.2103.497.794.8100.4刻蚀后103.6103.9107.9105.4101.596.3104.46差异5.4

5、6.42.723.81.54.06baseline刻蚀前100.299.38102.596.695.992.798.916刻蚀后103.8102.5105.9102.6101.197.7103.18差异3.63.123.465.254.261.2 刻蚀后方阻上升情况刻蚀后方阻上升和产线工艺差别不大。分散工艺优化实验;分类TotalVoc(mV)Isc(A)Rs(m)Rsh()FF(%)Eta(%)Irev2(A)Rs3比例漏电比3Rs4比例低效比17.0%备注时间切线之前(1.2线)571165 635.60 8.789 2.78 452 78.63 18.05 18.05 0.15 8.10%0.24%0.06%0.39%5.9-5.13切线之后（1.2线）410993 636.95 8.794 2.73 389 78.67 18.08 18.08 0.16 5.71%0.24%0.08%0.32%5.13-5.16切线后同期（3.5线）434159 636.00 8.792 2.71 333 78.63 18.07 18.07 0.17 3.14%0.21%0.03%0.26%5.13-5.16推行后，效率较产线同期提升0.01%。分散工艺优化实验下一步方案：新工艺对产线下一步方案：新工艺