洁净技术讲稿6

1、空空 气气 洁洁 净净 技技 术术6 室内微粒的运动室内微粒的运动 洁净技术的任务，控制室内的微粒数或含量，来保证微粒不洁净技术的任务，控制室内的微粒数或含量，来保证微粒不落在产品上，手术伤口处及药品内等，而微粒的下落或沉积受多落在产品上，手术伤口处及药品内等，而微粒的下落或沉积受多种因素的影响，有必要对微粒的运动有一较全面的了解。种因素的影响，有必要对微粒的运动有一较全面的了解。6.1 作用在微粒上的力作用在微粒上的力解决微粒的表面沉降和那些因素有关。教材归纳为五种：解决微粒的表面沉降和那些因素有关。教材归纳为五种： 1) 质量力：与微粒质量成比例的力，重力，惯性力。质量力：与微粒质量成比例

2、的力，重力，惯性力。 2) 分子作用力：由气体分子运动撞击微粒运动的力，如扩散力，分子作用力：由气体分子运动撞击微粒运动的力，如扩散力，分子热运动脉动撞击微粒而运动，针对小微粒分子热运动脉动撞击微粒而运动，针对小微粒0.3m。 3) 场力：除重力场以外的场力，电场力、磁场力等。场力：除重力场以外的场力，电场力、磁场力等。 4) 粒子间的吸引力。粒子间的吸引力。 5) 气流力：送、回风气流，热上升汽流，甚至人员走动，物体气流力：送、回风气流，热上升汽流，甚至人员走动，物体移动形成的气流携带微粒的运动的力。移动形成的气流携带微粒的运动的力。 就分析微粒在室内的运动而言，五种力中影响最大的是气流就分

3、析微粒在室内的运动而言，五种力中影响最大的是气流力，其次是质量力（重力、惯性）和扩散力，其余两种可以忽略。力，其次是质量力（重力、惯性）和扩散力，其余两种可以忽略。6.2 微粒的重力沉降微粒的重力沉降 微粒有质量就受到重力微粒有质量就受到重力F1作用，占有体积就受到期周围介作用，占有体积就受到期周围介质的浮力质的浮力F2，这两个力方向相反，在二力综合作用下微粒要移，这两个力方向相反，在二力综合作用下微粒要移动，就受到与运动方向相反的周围介质给予的阻力动，就受到与运动方向相反的周围介质给予的阻力F3，三个力三个力的表达式分别为：的表达式分别为：重力重力 N（1）浮力浮力 N（2） 实为介质重量实

4、为介质重量 阻力等于微粒相对运动的速度头与垂直于运动方向微粒投影阻力等于微粒相对运动的速度头与垂直于运动方向微粒投影面积的乘积，还要乘以与介质间的阻力系数。面积的乘积，还要乘以与介质间的阻力系数。阻力阻力 N （3）gdgmFppp316gdgmFapa32622223824vdvdFapap当三力达到平衡时，即当三力达到平衡时，即F1-F2=F3，微粒等速沉降，这时用微粒等速沉降，这时用vs表表示沉降速度，将各力的表达式代入平衡式，整理得示沉降速度，将各力的表达式代入平衡式，整理得 m/s（6-4）这是一个普遍适用的公式，阻力系数取决于流态实际，由雷诺这是一个普遍适用的公式，阻力系数取决于流

5、态实际，由雷诺数太小决定的取值。数太小决定的取值。当当Re小于等于小于等于1时，对于球形微粒，空气的阻力可写为：时，对于球形微粒，空气的阻力可写为： （5） 即为斯托克斯公式，已出现过多次，与公式（即为斯托克斯公式，已出现过多次，与公式（3）描述同一过程，）描述同一过程，整理得整理得 （6-6）aappsdv62. 3vdFp3322383sappvdvdFesapRvd2424公式表明，阻力与微粒的速度的一次方成正比，公式公式表明，阻力与微粒的速度的一次方成正比，公式是在是在Re很小情况下推出的，很小情况下推出的，Re1时正比关系不能成立，时正比关系不能成立，需修正。对于非球形微粒，阻力要大

6、一些，体现在阻需修正。对于非球形微粒，阻力要大一些，体现在阻力系数上乘以大于力系数上乘以大于1的修正系数，不同形状的见表的修正系数，不同形状的见表6-2，在空气中的微粒在空气中的微粒 ，则，则 m/s解出解出vs 当当 kg/m3 cm/s 2462. 32462. 32sppapasppsvddvdvppsdv2546. 02000p22106 . 0psdvpap 对于粒径小于对于粒径小于1m的粒子，其大小与气体分子的平的粒子，其大小与气体分子的平均自由行程相接近（均自由行程相接近（20时空气平均自由行程时空气平均自由行程0.065m），），粒子表面气体分子稀薄。因而在粒子表粒子表面气体分

7、子稀薄。因而在粒子表面形成气体滑流，对粒子的阻力相对减少，即沉降速面形成气体滑流，对粒子的阻力相对减少，即沉降速度加大。度加大。 C为库宁汉修正系数为库宁汉修正系数（6-11）为空气分子的平均自由行程。为空气分子的平均自由行程。ssCvv 21 . 1exp4 . 0257. 121ppddC6.3 微粒在惯性力作用下的运动微粒在惯性力作用下的运动 惯性力作用下的运动是指微粒在外力的作用下获惯性力作用下的运动是指微粒在外力的作用下获得初速度后外力立刻消失，微粒仅靠惯性维持运动，得初速度后外力立刻消失，微粒仅靠惯性维持运动，典型的例子。典型的例子。 当微粒受外力作用以当微粒受外力作用以v0为初速

8、作水平运动时，用为初速作水平运动时，用牛顿定律表示为牛顿定律表示为（6-12）F为外力，对于所讨论的惯性力情况为外力，对于所讨论的惯性力情况F=0。F3空气阻力，对于小微粒，空气阻力，对于小微粒，Re1可用斯托克斯公式，可用斯托克斯公式，对对1m还要考虑滑动修正，还要考虑滑动修正，C 1。3FFdtdvmCvdFp/33代入代入F3整理得，整理得，令，令，则则积分并求出速度，得：积分并求出速度，得：pdCmvdtdv3CdtvdvCtevvCtvv/00ln18361323ppppppddddm在时间在时间t内，在惯性作用下粒子运动的距离内，在惯性作用下粒子运动的距离当当t=时，时， ，为微粒

9、运动的最大距离，但值很，为微粒运动的最大距离，但值很小，在气溶胶力学中称小，在气溶胶力学中称“张驰时间张驰时间”，当，当dp=10m，p=2000 kg/m3时，在标准状态下时，在标准状态下仅为仅为6.0710-4 v0秒，因而即使初速秒，因而即使初速v0很大，微粒飞行距离很短，特别很大，微粒飞行距离很短，特别是是1m以下的小粒子，仅为万分之几厘米到千分这几以下的小粒子，仅为万分之几厘米到千分这几厘米，实际工程中的一次尘化作用不足以造成粉尘飞厘米，实际工程中的一次尘化作用不足以造成粉尘飞扬的道理是一致的。扬的道理是一致的。CtttCttevCdtevvdtS/000/010vCS6.4 微粒的

10、扩散运动微粒的扩散运动 前面曾多次提到微粒的扩散运动是由于空气分子运前面曾多次提到微粒的扩散运动是由于空气分子运动撞击微粒而引起微粒的运动，图动撞击微粒而引起微粒的运动，图6-3图示微粒作扩散图示微粒作扩散运动的起因及运动情况，运动的起因及运动情况，(a)空气分子作不规则的布朗空气分子作不规则的布朗运动，无规律可循；运动，无规律可循；(b)气体分子撞击微粒，当各个方气体分子撞击微粒，当各个方向撞击的力不平衡时将产生移动；向撞击的力不平衡时将产生移动；(c)图微粒在一个时图微粒在一个时间段内，受气体分子撞击后移动的轨迹，撞击是随时间段内，受气体分子撞击后移动的轨迹，撞击是随时的，方向不定。轨迹是

11、连续的但无规律可循。前苏联的，方向不定。轨迹是连续的但无规律可循。前苏联学者付克斯在学者付克斯在1960年出版的气溶胶力学一书中给出年出版的气溶胶力学一书中给出1秒秒钟内微粒在给定方向平均位移的绝对距离计算式：钟内微粒在给定方向平均位移的绝对距离计算式：DtSD4 D为微粒在空气中的扩散系数为微粒在空气中的扩散系数cm2/s， 传热学中给出物理意义：沿扩散方传热学中给出物理意义：沿扩散方向在单位时间内，每单位浓度降低的情况下通过单位向在单位时间内，每单位浓度降低的情况下通过单位面积扩散的物质量，其值与浓度无关，随温度高而升面积扩散的物质量，其值与浓度无关，随温度高而升高，随压力加大而下降，温度

12、压力一定，高，随压力加大而下降，温度压力一定，D为定值。为定值。如在标准大气压和如在标准大气压和0时，水蒸汽、时，水蒸汽、SO2在空气中的扩在空气中的扩散系数分别为散系数分别为0.22cm2/s和和0.103cm2/s。而微粒的扩散而微粒的扩散系数却与粒径有关系数却与粒径有关dpD，由图由图6-4可看出微粒的可看出微粒的D很很小，因而小，因而t=1s时，微粒由扩散而运动的距离也很小，时，微粒由扩散而运动的距离也很小，在在10-4cm量级。量级。 我们已了解到微粒靠重力沉降，其沉降速度很慢，我们已了解到微粒靠重力沉降，其沉降速度很慢，如粒径如粒径1m的微粒，的微粒，vs=0.006cm/s，下落

13、下落1m距离需距离需4.6h，很不易沉降，而在惯性力作用下和微粒的扩散很不易沉降，而在惯性力作用下和微粒的扩散运动，其运动的距离又是很小的。我们需要了解微粒运动，其运动的距离又是很小的。我们需要了解微粒是如何在表面上沉积的，与哪些因素有关。是如何在表面上沉积的，与哪些因素有关。DtSD46.5 微粒在表面上的沉积微粒在表面上的沉积（1）微粒在无送风室内垂直表面上的扩散沉积）微粒在无送风室内垂直表面上的扩散沉积 在无送风室内并不意味着空气完全静止，实际上是在无送风室内并不意味着空气完全静止，实际上是有对流存在的，而在传热学中扩散除微观分子扩散外，有对流存在的，而在传热学中扩散除微观分子扩散外，还

14、有涡流扩散。对于我们讨论的微粒扩散沉积问题，还有涡流扩散。对于我们讨论的微粒扩散沉积问题，扩散作用也是包括两部分，即远离表面的对流扩散和扩散作用也是包括两部分，即远离表面的对流扩散和离表面很近一层内的由分子扩散引起的微粒的扩散沉离表面很近一层内的由分子扩散引起的微粒的扩散沉积，而惯性作用引起微粒的水平运动会在垂直表面引积，而惯性作用引起微粒的水平运动会在垂直表面引起的沉积，但在无送风室内其不存在，其在垂直表面起的沉积，但在无送风室内其不存在，其在垂直表面引起的沉积不考虑。引起的沉积不考虑。 前苏联学者付克斯把两种扩散统一起来，解决了前苏联学者付克斯把两种扩散统一起来，解决了在微粒垂直表面上的沉

15、积计算问题，前提是已知微粒在微粒垂直表面上的沉积计算问题，前提是已知微粒由分子扩散而产生的扩散系数由分子扩散而产生的扩散系数D，而不是分子的扩散系而不是分子的扩散系数。数。 对于在表面沉积问题，由于沉积而造成微粒浓度对对于在表面沉积问题，由于沉积而造成微粒浓度对时间的变化率和微粒的浓度成正比，适应于各种沉积时间的变化率和微粒的浓度成正比，适应于各种沉积作用。作用。（6-18）整理后积分整理后积分 （6-19） 由于室内无风，那么空气中微粒的浓度由于沉积作由于室内无风，那么空气中微粒的浓度由于沉积作用是逐渐减少的，两个扩散作用看成两段，在紧靠垂用是逐渐减少的，两个扩散作用看成两段，在紧靠垂直平面

16、的一薄层约直平面的一薄层约为为20m左右，为分子扩散层，由左右，为分子扩散层，由于分子扩散的作用使微粒沉积到平面上，使得薄层内于分子扩散的作用使微粒沉积到平面上，使得薄层内微粒浓度下降，而对流扩散作用又使薄层内的浓度与微粒浓度下降，而对流扩散作用又使薄层内的浓度与室内趋于一致，而室内空气中微粒的浓度总体又是随室内趋于一致，而室内空气中微粒的浓度总体又是随时间下降的。时间下降的。NdtdNtNN0lntNdN 由于室内无风，那么空气中微粒的浓度由于沉积由于室内无风，那么空气中微粒的浓度由于沉积作用是逐渐减少的，两个扩散作用看成两段，在紧靠作用是逐渐减少的，两个扩散作用看成两段，在紧靠垂直平面的一

17、薄层垂直平面的一薄层约为约为20m左右，为分子扩散层，左右，为分子扩散层，由于分子扩散的作用使微粒沉积到平面上，使得薄层由于分子扩散的作用使微粒沉积到平面上，使得薄层内微粒浓度下降，而对流扩散作用又使薄层内的浓度内微粒浓度下降，而对流扩散作用又使薄层内的浓度与室内趋于一致，而室内空气中微粒的浓度总体又是与室内趋于一致，而室内空气中微粒的浓度总体又是随时间下降的。随时间下降的。在粒子扩散系数为在粒子扩散系数为D（单位时间内，在单位浓度下降情况下，单位时间内，在单位浓度下降情况下，通过单位面积扩散的物质量通过单位面积扩散的物质量）在）在层内，由于扩散浓度变层内，由于扩散浓度变化由化由N0表面，浓度

18、降为表面，浓度降为N/粒粒/cm3cm），），所以单位所以单位时间内由于扩散沉积到单位垂直表面积上的微粒为时间内由于扩散沉积到单位垂直表面积上的微粒为 粒粒/cm2s。若室内垂直表面积为若室内垂直表面积为S，而在而在dt时间时间内，由于扩散沉积的粒子数为内，由于扩散沉积的粒子数为SIdt，该值应等于室内空该值应等于室内空气中微业数的变化。气中微业数的变化。NDI （6-21）代入代入 得得则则将将代入代入 （6-19） 整理得：整理得：VSIdtdNNdtdNNVSIVSDVNSItNN0lntVSDNN0lntVSDeNN0SIdtVdN 为由于扩散作用使微粒在垂直表面沉积而引为由于扩散作用

19、使微粒在垂直表面沉积而引 起室内微粒浓度随时间变化的表达式。由此可起室内微粒浓度随时间变化的表达式。由此可计算任一时间因扩散沉积到单位面积垂直表面上的微粒数为计算任一时间因扩散沉积到单位面积垂直表面上的微粒数为 粒粒/cm2具体量化一下，一具体量化一下，一(万级万级)洁净车间洁净车间 6.105.002.6m t=3.6103s D=6.21010-7-7cm2/s cm2/s（查图）查图） 取取 =20m (d0.5m) N0=0.35粒粒/cm3 粒粒/cm2tVSDeNN0001/NeSVSNNVNVSDtg2461037. 11026 . 20 . 56 . 21 . 6106 . 2

20、0 . 51 . 6SV0081. 0VSDt39. 035. 011037. 10081. 02eNg（2）微粒在无送风室内水平面上的沉积）微粒在无送风室内水平面上的沉积 扩散作用同样也影响微粒在水平面上的沉积，同样扩散作用同样也影响微粒在水平面上的沉积，同样也包括分子扩散和对流扩散，影响微粒在平面上沉积也包括分子扩散和对流扩散，影响微粒在平面上沉积的另一因素是沉降。从重力沉降一节我们知道粒子的的另一因素是沉降。从重力沉降一节我们知道粒子的沉降速度与微粒的粒径、密度和气体粘性有关，在常沉降速度与微粒的粒径、密度和气体粘性有关，在常温温t=20空气中空气中p=2000kg/m3时时 ，vs0.

21、610-2dp2 cm/s，仅取决于粒径的平方，而扩散作用在离平面很仅取决于粒径的平方，而扩散作用在离平面很近时，空气对流速度趋近于零，对流扩散影响可忽略，近时，空气对流速度趋近于零，对流扩散影响可忽略，只考虑分子扩散所引起微粒的扩散，只考虑分子扩散所引起微粒的扩散，它只影响微粒的它只影响微粒的浓度而不影响沉降速度浓度而不影响沉降速度，所以在，所以在t 时间内沉降在单位面时间内沉降在单位面积上某个粒径的微粒数表示为积上某个粒径的微粒数表示为 粒粒/cm2 （6-24）扩散作用体现在扩散作用体现在N内。内。 tsgNdtvN0 在没有送风室内，没有新的微粒来源，因而单位面在没有送风室内，没有新的

22、微粒来源，因而单位面积气柱中微粒数的减少等于沉积到平面上的微粒数积气柱中微粒数的减少等于沉积到平面上的微粒数 整理积分得整理积分得代入代入 （6-24）式积分）式积分粒粒/cm2NdtvHdNsHtvseNN0HtvgseHNHNNN100tsgNdtvN0仍 用 前 面 万 级 洁 净 车 间 的 例 子 计 算仍 用 前 面 万 级 洁 净 车 间 的 例 子 计 算 , 室 内 尺 寸室 内 尺 寸6.105.002.6m，与计算相关量：与计算相关量：H=2.6m=260cm， 室内粒子浓度（洁净度）室内粒子浓度（洁净度）N0=0.35粒粒/cm3，沉积时间沉积时间t=3600秒秒 cm

23、/s 粒粒/cm2 对于垂直面，粒径的影响体现在对于垂直面，粒径的影响体现在D中，对于水平面，中，对于水平面，粒径的影响体现在粒径的影响体现在vs中。中。322105 . 15 . 0106 . 0sv87. 1126035. 0260106 . 3105 . 133eNg（3）微粒在送风室内平面上的沉积）微粒在送风室内平面上的沉积 与没有送风的室内微粒的沉积情况相比，有送风时室内空气与没有送风的室内微粒的沉积情况相比，有送风时室内空气中微粒的浓度中微粒的浓度N可以看作常量，不因沉积而发生变化，而无送可以看作常量，不因沉积而发生变化，而无送风时风时N是随时间而减少的。对于微粒在有送风的室内平面

24、上的是随时间而减少的。对于微粒在有送风的室内平面上的沉积，日本两名学者提出沉积量计算公式。沉积，日本两名学者提出沉积量计算公式。 粒粒/cm2 （6-26）N空气中微粒浓度，空气中微粒浓度，粒粒/cm3 ；vs沉降速度，沉降速度， cm/s ；f 沉积面积，沉积面积，cm2 ；hs房间高度；房间高度；h沉积平面到顶棚距离；沉积平面到顶棚距离；n换气次换气次数；数；T沉积时间。单位统一沉积时间。单位统一由于由于vs很小，很小， ，故上式简化为，故上式简化为 粒粒/cm2 （6-27）hnvnhsgssefTNvN11ssvnhfTNvNsg 仅适用于有送风的情况，而且是大的平面，而我仅适用于有送

25、风的情况，而且是大的平面，而我 们关心的是微粒在工件上的沉降数，如集成电路们关心的是微粒在工件上的沉降数，如集成电路板上，属局部平面。由于有气流会绕过局部平面，这时引起在板上，属局部平面。由于有气流会绕过局部平面，这时引起在局部平面上沉积的因素不止沉降一种，还有惯性、拦截和扩散局部平面上沉积的因素不止沉降一种，还有惯性、拦截和扩散等，需逐个考虑。我们以沉积效率这种相对量的形式比较它们等，需逐个考虑。我们以沉积效率这种相对量的形式比较它们的大小。的大小。1）惯性沉积）惯性沉积类似于惯性效应，惯性沉积效率类似于惯性效应，惯性沉积效率 其中惯性参数其中惯性参数表表6-6给出给出dp、局部平面直径及气

26、流速度、局部平面直径及气流速度u与的关系，可见与的关系，可见dp越大，越大，St ，平面直径越小，平面直径越小，St 。对大平面，不考虑惯性沉降。对大平面，不考虑惯性沉降的影响。的影响。fTNvNsg StfabtSfppvCSt2912）拦截沉积）拦截沉积很类似于第三章孤立单根纤维拦截过滤效率很类似于第三章孤立单根纤维拦截过滤效率 （3-3）对于对于Re较大的情况，较大的情况，如如Re=13.7，而拦截而拦截参数变为参数变为所以拦截沉降效率所以拦截沉降效率 其具体值见表其具体值见表6-7。 RRRRReR1111ln12ln2211222adadaRpppRRR1113）沉降沉积）沉降沉积微

27、粒在局部平面的沉降沉积效率微粒在局部平面的沉降沉积效率也为很小的值，见表也为很小的值，见表6-8。4）扩散沉积）扩散沉积 前面提到，对于水平面而言，对流扩散系数趋于零，前面提到，对于水平面而言，对流扩散系数趋于零，在距平面很近的薄层内，分子扩散在起作用，微粒的扩在距平面很近的薄层内，分子扩散在起作用，微粒的扩散沉积量要小于其对于垂直表面的沉积量，其沉积的几散沉积量要小于其对于垂直表面的沉积量，其沉积的几率是很小的。率是很小的。 教材以集成电路用直径教材以集成电路用直径3cm硅片为例，硅片为例，在两种粒径微在两种粒径微粒条件下，粒条件下，将上述四种途径沉积的几率列出，其相对大将上述四种途径沉积的

28、几率列出，其相对大小顺序为：沉降沉积、拦截沉积和扩散沉积，各高出一小顺序为：沉降沉积、拦截沉积和扩散沉积，各高出一个数量级，惯性沉积趋于零。个数量级，惯性沉积趋于零。uvsG 我们已解决了平面上沉降沉积的计算问题，在沉降我们已解决了平面上沉降沉积的计算问题，在沉降沉积的基础上乘以一大于的修正系数将拦截和扩散沉沉积的基础上乘以一大于的修正系数将拦截和扩散沉积的因素考虑进去，可以简化计算。按教材给的数据：积的因素考虑进去，可以简化计算。按教材给的数据：对于对于1m微粒，修正系数应为微粒，修正系数应为1.3，对，对5m修正系数为修正系数为1.2，经核算教材上边的各效率，对，经核算教材上边的各效率，对

29、5m应为应为1.06。 那么在有送风的室内，那么在有送风的室内，T时间内，以风速为时间内，以风速为u通过面通过面积为积为f平面的一段气流中，在单位面积上沉积的微粒量平面的一段气流中，在单位面积上沉积的微粒量（6-31）随着随着dp，修正系数修正系数a。TaNvffTaNvNssg/ 对于多分散微粒，对于多分散微粒，vs值应按某个平均粒径计算，由值应按某个平均粒径计算，由于微粒的沉降速度主要受空气阻力的影响，而该阻力于微粒的沉降速度主要受空气阻力的影响，而该阻力和微粒的投影面积成正比，所以应该用平均面积直径，和微粒的投影面积成正比，所以应该用平均面积直径，也就是第一章中提到的也就是第一章中提到的

30、 9 种平均直径中种平均直径中的即平均面积直径作为全部微粒的平均的即平均面积直径作为全部微粒的平均直径。直径。这样，由这样，由Dsv vs s=0.6=0.61010-2-2d dg g2 2N Ng g。 表表6-9列出几间洁净间沉积数量的实测值与计算值的列出几间洁净间沉积数量的实测值与计算值的对比，差别不是很大。对比，差别不是很大。用平面上的沉积量与前面讲到的在垂直面上的沉积计用平面上的沉积量与前面讲到的在垂直面上的沉积计算结果比，水平高是垂直面沉积量的几十倍。算结果比，水平高是垂直面沉积量的几十倍。iiisndnD2 学习了上述内容，在已知室内空气中微粒浓度情学习了上述内容，在已知室内空

31、气中微粒浓度情况下，在不考虑室内微粒发生源的情况下，我们可况下，在不考虑室内微粒发生源的情况下，我们可以计算在水平面和垂直面上的沉积量。如果工艺提以计算在水平面和垂直面上的沉积量。如果工艺提出对单位面积沉积量的限制，我们可以反推出所要出对单位面积沉积量的限制，我们可以反推出所要求的微粒浓度，即洁净度。求的微粒浓度，即洁净度。6.6 气流对微粒运动的影响气流对微粒运动的影响（1）影响室内微粒分布的因素）影响室内微粒分布的因素 前面在讨论微粒的沉积的作用因素时，曾分析由前面在讨论微粒的沉积的作用因素时，曾分析由于重力惯性力和扩散所造成的微粒的运动的速度很小，于重力惯性力和扩散所造成的微粒的运动的速

32、度很小，每秒千分之几厘米，所以它们的存在不会对室内微粒每秒千分之几厘米，所以它们的存在不会对室内微粒的浓度分布造成影响，但室内的送回风气流及其它由的浓度分布造成影响，但室内的送回风气流及其它由于热表面及人员行走所行成的气流速度一般均大于于热表面及人员行走所行成的气流速度一般均大于0.1m/s，足以携带微粒移动较长的距离，特别是室内足以携带微粒移动较长的距离，特别是室内的气流组织不是平行流而是乱流、室内又有微粒发生的气流组织不是平行流而是乱流、室内又有微粒发生源的时候，这些气流会影响到室内微粒的浓度分布。源的时候，这些气流会影响到室内微粒的浓度分布。微粒密度较大会不会偏离气流的轨迹不跟随气流运动，微粒密度较大会不会偏离气流的轨迹不跟随气流运动，实际情况是小微粒基本不会偏离气流流线的。实际情况是小微粒基本不会偏离气流流线的。 从两点可以说明：跟随速度概念，由于微粒密度从两点可以说明：跟随速度概念，由于微粒密度远大于空气，在气流中所受到的力与同体积气体相比远大于空气，在气流中所受到的力与同体积气体相比有差异，因而是造成其速度与携带微粒的气流速度有有差异，因而是造成其速度与携带微粒的气流速度有差异。我们称微粒具有的速度为跟随速度，该速度可差异。我们称