玻璃的减薄技术及不良影响

1、LOGO整理课件玻璃的减薄（玻璃的减薄（Slimming） 工艺工艺.整理课件Contents减薄的作用1减薄工艺简介2常见的减薄不良3整理课件减薄的作用减薄的作用1.减少占有的空间2.使Glass达到一定的柔性整理课件减薄工艺简介减薄工艺简介蚀刻蚀刻激光激光离子离子稳流稳流渐开渐开减减薄薄方方法法整理课件技术一：蚀刻技术一：蚀刻 蚀刻工艺蚀刻工艺以以HF溶液作为蚀刻溶液溶液作为蚀刻溶液1.以固定流速以固定流速沿玻璃基材沿玻璃基材垂直下流垂直下流 2.蚀刻溶液依蚀刻溶液依靠重力下流，靠重力下流，蚀刻玻璃基材蚀刻玻璃基材表面表面 。整理课件Text in here蚀刻蚀刻清洗清洗清洗清洗技术一：

2、蚀刻技术一：蚀刻Slimming减薄流程减薄流程整理课件减薄设备减薄设备其余组件： 供酸装置 HF酸浓度计 温度控制器 洗气装置Loader单元单元预清洗单元蚀刻单元清洗单元干燥单元Unloader单元 整理课件技术二：真空激光减薄技术二：真空激光减薄所谓真空激光减薄技术所谓真空激光减薄技术, 是指利用激光器发是指利用激光器发出的出的脉冲激光束脉冲激光束聚焦成直径很小的光斑聚焦成直径很小的光斑, 并并调节到适当的能量密度调节到适当的能量密度,对于处在真空环境对于处在真空环境中的待减薄膜层进行高速扫描中的待减薄膜层进行高速扫描,使膜层汽化使膜层汽化, 从而达到减薄膜层的目的。从而达到减薄膜层的目

3、的。整理课件技术二：真空激光减薄技术二：真空激光减薄系统原理系统原理： 激光束经过聚焦、偏转后激光束经过聚焦、偏转后, 经经由石英窗口由石英窗口, 照射放置在真空度为照射放置在真空度为10- 3 Pa 高真空环境中的待加工高真空环境中的待加工晶片晶片, 以实现对晶片表面银电极层以实现对晶片表面银电极层的激光减薄。的激光减薄。系统工作原理图如图。系统工作原理图如图。整理课件技术二：真空激光减薄技术二：真空激光减薄优点优点：( 1) 可以实现对膜层的精确减薄, 且减薄后的膜层不存在性能漂移不存在性能漂移现象; ( 2) 工作在真空环境下,膜层减薄过程中不会出现对膜层污染、氧化不会出现对膜层污染、氧

4、化等问题,加之激光加工为非接触加工, 不会对膜不会对膜层产生机械损伤层产生机械损伤; ( 3) 利用激光移动灵活的特点, 可以实现快速的多片薄膜大面积的薄膜减薄多片薄膜大面积的薄膜减薄。整理课件技术三：离子减薄技术技术三：离子减薄技术两个离子枪两个离子枪从真空室两侧插入从真空室两侧插入 离子束以一定的离子束以一定的掠射角掠射角(连续可调连续可调) 从样品的两侧轰击样品。从样品的两侧轰击样品。聚光灯从样品聚光灯从样品背面照明背面照明 当样品出现微孔时当样品出现微孔时停止减薄。停止减薄。1234整理课件纵向和横向纵向和横向控制好锡液控制好锡液流动流动控制好玻璃控制好玻璃液的温度液的温度合理配置好合

5、理配置好拉边机进行拉边机进行双向拉薄双向拉薄技术四：双向稳流拉薄法技术四：双向稳流拉薄法关键点关键点：围绕玻璃厚薄差和微观波纹度，在：围绕玻璃厚薄差和微观波纹度，在“ 稳稳” 字上采取有效的技术措施。字上采取有效的技术措施。适用范围适用范围：超薄玻璃的生产。：超薄玻璃的生产。整理课件技术五：逐级渐开拉薄法技术五：逐级渐开拉薄法1、是在试验的基础上建立起来的；2、是在超薄浮法玻璃的实际生产当中, 通过参照普通浮法玻璃的拉薄方法, 对原有的拉薄方法( 强冷重热拉薄法、徐冷拉薄法和双向展薄法) 进行了试验探索；3、其整板厚度、厚薄差、微观波纹度均能满足用户的质量指标要求。整理课件减薄工艺自身不良1.不可擦拭脏污2.薄化不匀薄化不匀整理课件减薄工艺自身不良减薄工艺自身不良玻璃本身含有杂质.1. 除胶未干除胶未干净，有残留净，有残留2. PT等未清等未清洗干净洗干净 玻璃被蚀刻时玻璃被蚀刻时局部蚀刻不一致局部蚀刻不一致工艺设备工艺设备玻璃表面玻璃表面玻璃本身玻璃本身整理课件Slimming后划伤后划伤Slimming前发生前发生轻微轻微ScratchSlimming后后Scratch程度加重程度加重Human eye invisibleHuman eye invisibleSlimming整理课件Slimming后划伤后划伤 Lift Pin