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1、会计学1电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用第1页/共24页第2页/共24页第3页/共24页第4页/共24页第5页/共24页我国真空区域划分为：粗真空、低真空、高真空、超高真空和极高真空。第6页/共24页Pa61103331103331Pa106103331103331Pa10103331Pa35103331100131Pa13103331103331第7页/共24页间。第8页/共24页l旋片式机械泵通常由转子、定子、旋片等结构构成。偏心转子置于定子的圆柱形空腔内切位置上，空腔上连接进气管和出气阀门。转子中镶有两块旋片，旋片间用弹簧连接，使旋片紧压在定子空腔的内壁上。转

2、子的转动是由马达带动的，定子置于油箱中，油起到密切、润滑与冷却的作用。第9页/共24页l当转子逆时针转动时，空气由被抽容器通过进气管被吸入，旋片随着转子的转动使与进气管相连的区域不断扩大，而气体就不断地被吸入。当转子达到一定位置时，另一旋片把被吸入气体的区域与被抽容器隔开，并将气体压缩，直到压强增大到可以顶开出气口的活塞阀门而被排出泵外，转子的不断转动使气体不断地从被抽容器中抽出。第10页/共24页第11页/共24页第12页/共24页第13页/共24页气体分子碰撞到一般的表面上反射时，与刚性球在刚性表面上遵从镜面反射规律完全不同。它的反射方向是一带有概率特征的随机事件。入射分子沿可能反射方向反

3、射的概率cosddP第14页/共24页凡是反射方向落在CAD范围内的分子皆能由右侧到左侧一次通过叶列，而反射方向落在BAE范围内的分子显然不能通过而返回到右侧。 反射方向落在BAE范围内的分子皆不能通过而返回叶列左侧。而反射方向落在CAD范围内的分子才能从左侧到右侧一次通过叶列 由于CADCAD，即一次碰撞就可通过叶列的分子从右侧到左侧数量大于从左侧到右侧的数量。由于BAEBAE，即一次碰撞不能通过的分子返回在左侧的数量大于返回右侧的数量 第15页/共24页如图所示的高速运动的叶列，与动轮相间排列的静轮，除了倾斜方向相反其余完全一样。气体分子从右侧到左侧的传输几率大于从左侧到右侧的传输几率 第16页/共24页第17页/共24页第18页/共24页第19页/共24页钨(W，mp=3380)钽(Ta，mp=2980)钼(Mo，mp=26

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