实验一面形的三维干涉测量及评价(PV值与RMS值)_第1页
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文档简介

实验一：面形的三维干涉测量及评价（PV值与RMS直）一、实验目的：1. 了解表面三维形貌的高精度实时测量原理2. 实测一个平面光学零件的表面形貌3. 对评价指标PV，RMS的定义有所掌握二、实验原理：本实验采用数字干涉测量原理进行，本实验与实验二的不同是测量中采用了扫描技术，因而可以实现面形的三维测量。高精度光学平面零件的面形精度可用下列二个评价指标，如下图所示。1. PV值是表面形貌的最大峰谷值2. RMS值是表面形貌的均方根值，RMS的定义是:RMSV2式中v xi,Xi单次测值,Xi重复测定次数。三、实验光路231024计.算 23Jy机2220 14181激光器 3,5 定向孔6,7,9,16 反射镜 8 物镜10 准直透镜1614分光棱镜18带压电陶瓷的组合工作台20成像透镜22 可调光阑23 光电接收器24 导轨四、实验步骤：1. 扩束2. 将工作台16, 18上的平面反射镜换成曲面或台阶面（其干涉条纹的形状与反射面面形 有对应定量关系）3. 调整CCD23在轨道上的位置，使干涉条纹清晰，锁定234. 调节可调光阑22孔径位置，滤除寄生干涉光5. 测量程序操作见软件操作说明书五、实验记录被

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