宋春艳——降低PECVD工序产生的不良

1、降低降低PECVDPECVD工序产生的不良工序产生的不良部门：生产制造部部门：生产制造部组长：孟小龙组长：孟小龙小组成员：杜延朝、宋春燕、姚立彬、李刚、高东岗小组成员：杜延朝、宋春燕、姚立彬、李刚、高东岗日期：日期：2010.07.052010.07.05目录目录 1、小组信息 2、问题定义/ 改善主题和目标设定 3、现状分析 4、真因分析及验证 5、对策拟定与实施 6、效果确认 7、持续改善及效果评估 8、防止再发、标准化与认知 9、残余及潜在问题1、小组信息、小组信息组名：PE之星组长： 孟小龙小组成员：杜延朝、宋春燕、姚立彬、李刚、高东岗。小组目标：将PE碎片率降低到0.13%以内，PE

2、崩边降低到0.02%。部门：生产制造部起止日期：2010.4.14-2010.6.252. 问题定义问题定义/ 改善主题和目标设定改善主题和目标设定问题描述及目标：问题描述及目标：分类分类描述描述问题描问题描述述PE会产成大量碎片和隐裂，到丝印第一道就会形成碎片导致丝印碎片率升高，后检测同样产生大量的PE崩边影响整体合格率。现状现状三月份碎片率0.35%0.35%，崩边率0.14%0.14%，与目标碎片率0.13%0.13%、崩边率0.02%差距很大。目标目标六月份结束要达到碎片率降到0.13%0.13%，PE崩边降低到0.02%0.02%。差距差距达到理想碎片还需要降低降低0.22%0.22

3、%，崩边率降低0.11%0.11%2. 问题定义问题定义/ 改善主题和目标设定改善主题和目标设定问题定义：5W2H分析所要改善主题的描述（所要改善主题的描述（5W2H）What？降低PECVD工序产生的不良Who？组长：孟小龙。组员：杜延朝、宋春燕、姚立彬、高东岗When？2010.04-2010.06Where？PE工序Why？改善效益、提升品质How？制定标准作业流程，改善设备状况How much？0.13%3. 现状分析现状分析数据分析：数据分析：PE碎片率0.35%（2.25-3.25）PE崩边率0.16%（3.25-4.13）PE崩边丝印碎片率0.60%（3.25-4.14）数据分析

4、：数据分析：3. 现状分析现状分析丝印上料台3. 现状分析现状分析现状分析：5W2H分析PE产生不良高（产生不良高（5W2H）When？PE工序生产时，包括插片、卸片Where？PE工序What？PE工序生产时造成的碎片，PE崩边Why？动作不规范、石墨舟清洗不及时卡点换的不合格。Which？观察员工动作、收集数据How？从规范PE工序内工的动作着手，制定石墨舟的合理清洗流程How much？三月碎片率0.35%，崩边率0.14%4. 真因分析及验证真因分析及验证碎片种类定义产生原因 吸片掉片插片、卸片及其他需要吸笔移动硅片的过程中，操作不当导致的掉片人工碎片插片碎片插片时动作不稳定，用力不当

5、或碰撞导致碎片卸片碎片卸片时动作不稳定，用力不当或碰撞导致碎片卸片隐裂运行工艺之前，有损伤的硅片，经炉内高温后，成为隐裂或碎片，直到卸片时被发现测试膜厚碎片测试过程中，动作不稳定，导致碎片上/下料掉片由于人为原因，未将硅片固定于卡槽内，导致上、下料时硅片被设备净化风和热排风吹落花片无法返工的镀膜不良设备碎片吸笔掉片吸笔故障，吸力不足导致掉片卡点掉片石墨舟卡点安装不标准或卡点松动，硅片无法在石墨舟内固定卡点碎片石墨舟卡点磨损变深（表现为卡点过大），导致插片或卸片时，硅片与卡点之间摩擦力过大而导致碎片舟硅片出炉后发现的碎片（硅片尚未受到卸片操作的外力作用）按碎片原因分类按碎片原因分类：碎片分类碎片

6、分类按碎片原因分类按碎片原因分类数量数量比例比例总计总计所占比例所占比例来料来料隐裂隐裂8424.56%8424.56%人为人为吸片掉片吸片掉片19657.31%73.57%插片插片7236.73%卸片卸片9950.51%测试膜厚测试膜厚52.55%上上/ /下料掉片下料掉片73.57%花片花片63.06%设备设备吸笔掉片吸笔掉片6218.13%34.83%卡点掉片卡点掉片2219.35%卡点碎片卡点碎片2829.03%舟舟946.77%4. 真因分析及验证真因分析及验证碎片统计（碎片统计（4.21-5.04）：PE碎片构成碎片构成4. 真因分析及验证真因分析及验证卡点未及时更换或者更换不合格

7、设备碎片高员工动作不标准人为碎片高不标准动作4. 真因分析及验证真因分析及验证PE不良不良人人法法物物.料料机机动作不标准厚薄不均石墨舟卡点更换不标准隐裂多速度过快没有标准作业流程石墨舟使用次数过多地面不平安排不合理吸笔吸力不足疲劳原原 因因分分 析析人人动作不标准动作不标准观察动作，确定合理动作观察动作，确定合理动作速度过快速度过快实行标准工时插片时间不得低于实行标准工时插片时间不得低于10min/批，批，卸片不得低于卸片不得低于4min/批，严格执行批，严格执行疲劳合理安排，杜绝浪费机机吸笔吸力不足建立吸笔磨损笔记，定时更换卡点更换不合格卡点更换不合格跟踪卡点磨损程度，跟踪卡点磨损程度，2

8、月更换月更换石墨舟清洗不及时石墨舟清洗不及时100次清洗次清洗地面不平推车小心，地面磨平物、料物、料隐裂多追查原因，严抓等刻厚薄不均前检投入严格控制法法没有没有SOP建立建立SOP安排不合理确定工作顺序，杜绝工作时快时慢。4. 真因分析及验证真因分析及验证5. 对策拟定与实施对策拟定与实施实施计划及方案实施计划及方案： 第一步： 观察工序内工作时的动作，确定最科学合理的工作动作。统一操作工的操作动作，编写成SOP，作为以后培训员工的标准。 第二步：确定标准工时，规定插片时间不得低于10min/批，卸片速度不得低于4min/批，并严格执行。编号编号实施项目实施项目责任人责任人1规范PE插片卸片方

9、法孟小龙、杜延朝、宋春燕、姚立彬2合理的石墨舟清洗杜延朝、宋春燕、姚立彬3规定PE插片速度及卸片速度孟小龙、杜延朝、宋春燕、姚立彬4石墨舟卡点磨损记录杜延朝定时更换卡点时间的确定跟踪石墨舟结果：使用时间卡点最大磨损深度0.5个月（图1）0.531个月（图2）0.741.5个月（图3）1.142个月（图4）1.48结论：为避免卡点过大造成B级片，卡点需每两个月更换一次。图一图四图三图二石墨舟查检表：石墨舟查检表：合理的清洗程序：时间轴时间轴正常使用正常使用清洗清洗烘干烘干饱和饱和待饱和待饱和0H24000024H20400036H20040042H20002248H20402054H204000

10、60H200400每个舟饱和需要3H下班前饱和刚上班时饱和饱和舟上班3H时后可用舟舟号号12、14、16、42、3、7、19、33、1、35、39、4、应有循环应有循环3、班放入清洗机、班放入清洗机3、20B班上班时放入班上班时放入烘干机烘干机3、20B班下班前放入班下班前放入机器完成机器完成12、14的饱的饱和和3、21C班上班时放入班上班时放入机器饱和机器饱和16、423、21C班放入清洗机班放入清洗机3、21A班上班时放入班上班时放入烘干机烘干机3、21A班下班前放入班下班前放入机器完成机器完成3、7饱和饱和3、22C班上班时放入班上班时放入机器饱和机器饱和19、333、22C班放入清洗

11、机班放入清洗机3、22A班上班时放入班上班时放入烘干机烘干机3、22A班下班前放入班下班前放入机器完成机器完成1、35饱和饱和3、23B班上班时放入班上班时放入机器饱和机器饱和39、4舟舟号号10、15、32、20、22、24、38、8、 37、12、14、16应有循环应有循环3、23B班放入清洗机班放入清洗机3、23C班上班时放入班上班时放入烘干机烘干机3、23C班下班前放入班下班前放入机器完成机器完成10、15饱和饱和3、24B班上班时放入班上班时放入机器饱和机器饱和32、203、24B班放入清洗机班放入清洗机3、24C班上班时放入班上班时放入烘干机烘干机3、24C班下班前放入班下班前放入

12、机器完成机器完成22、24饱和饱和3、25A班上班时放入班上班时放入机器饱和机器饱和38、83、25A班放入清洗机班放入清洗机3、25B班上班时放入班上班时放入烘干机烘干机3、25B班下班前放入班下班前放入机器完成机器完成37、12饱和饱和3、26A班上班时放入班上班时放入机器饱和机器饱和14、16动作观察及分析动作观察及分析平持法（图一）竖持法1（图二） 竖持法2（图三）平持法动作分解：插进吸片提拉反转放片插进吸片提拉放片竖持法1 动作分解：竖持法2 动作分解：插进吸片提拉放片动作观察及分析动作观察及分析平持法因其多余动作多，产生过多的崩边片和碎片所以此种取片方法不合理。竖持法，因其优点多是

13、一种科学合理的取片法。为配合目前生产线上线痕片的产出，需要规范在线员工的取片方法，竖持法1和竖持法2都是科学的，但是两种取片法，取出的线痕方向不一致。如图（7）（8）红线表示线痕方向。目前如图（8）的取片方法的人数多，所以建议规定竖持法2为标准的 取片法。图7图8动作观察及分析动作观察及分析3月份未统一规范动作时的碎片率0.35%4月份为0.24%，统一取片方法。5月份为推广规范动作的碎片率为0.15%6月份为实行标准工时的碎片率为0.12%6. 效果确认效果确认丝印碎片率由4月份0.60%，到5月份0.40%，到6月份0.32%6. 效果确认效果确认7.持续改善及效果评估持续改善及效果评估

14、三月份PE平均碎片率0.35%，六月份为0.12%，降低了0.23%。PE崩边由三月份的0.14%降低到六月份的0.02%，降低了0.12%。以月产160万，合格率每片A级片25元，B级片10元计算，降低后每月碎片增加成品利润92000元，崩边增加28800元。总共增加120800元，一年增加1449600元（降低碎片后的每一片都是纯利润）。 七月份持续改善，目标降低至0.10%8.防止再发、标准化与认知防止再发、标准化与认知1、根据分析制定了PECVD插片标准作业PECVD卸片标准作业PECVD膜厚与折射率测量标准作业PECVD上下料标准作业石墨舟清洗流程PE返工流程2、推行标准工时制：插片速度不得低于10min/批，卸片速度不得低于4min/批。3、做好员工的员工的培训，保证每员工都按照标准作业工作。9. 残余及潜在问题残余及潜在问题1、标准作业的持续改善。、标准作业的持续改善。2、因地面而造成大量石墨舟损毁及碎片。