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文档简介

1、 内部技术规范EMS厂ESD管理规范V3.02015年05月31日发布 2015年06月10日实施修订声明Revision declaration目 录Table of Contents 1ESD控制方案要求61.1人员安全61.2ESD管理要求61.2.1人员防静电要求61.2.2防静电用品认证&管理要求61.2.3ESD稽查、培训与认证71.2.4防静电问题处理流程81.3ESD技术要求81.3.1EP区域环境建设要求81.3.2生产现场防静电接地要求101.3.3静电防护区域基本控制措施121.3.4防静电检测方法及要求131.3.5防静电包装材料技术要求151.3.6工装、夹具

2、ESD要求161.3.7防静电敏感器件存储、周转、运输要求171.4其它事项192附录203参考文献Reference Document20EMS厂ESD管理规范V3.0范 围 ScopeEMS厂作为公司产品加工的重要执行主体之一,纳入华为的质量保证范畴;本规范阐述了生产公司产品所涉及的静电放电控制要求,制定了静电产生及静电放电控制的程序和最基本需求,这些程序和需求适用于所有涉及静电敏感器件、组件或产品的PCBA加工、模块组装、整机装配等加工环节。 本规范中的EMS厂泛指与华为合作,加工 产品的厂商,包括但不限于EMS、ODM、JDM、高维厂等。简 介 Brief introduction本规

3、范明确了EMS厂建立ESD控制方案体系所必须包含的管理要求和技术要求,EMS厂商按照本方案的要求,设计、建立、实施、维护ESD控制方案并核实方案的实施情况。为确保EMS厂ESD控制方案及实施过程符合华为的要求,建立了EMS厂ESD控制体系综合评审认证方法。此方法也同样适用于华为对EMS厂的防静电稽查。通过建立统一的、切实可行的标准来规范各EMS厂的ESD行为,减少或消除静电放电对电子产品的损伤,提高产品质量和生产效率,满足客户需求。并通过建立有效的、高质量的管理和稽查程序,保证本标准的有效实施。关键词 Key wordsESD, EMS, EPA, 防静电引用文件:下列文件中的条款通过本规范的

4、引用而成为本规范的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本规范,然而,鼓励根据本规范达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本规范。序号No.文件编号Doc No.文件名称 Doc Title1ANSI/ESD S20.20-2014For the Development of an Electrostatic Discharge Control Program for Protection of Electrical and Electronic Parts, Assemblies and Equi

5、pment (Excluding Electrically Initiated Explosive Devices)2IEC 61340-5-1Protection of electronic devices from electrostatic phenomena General requirements3ANSI/ESD S1.1Wrist Straps4ANSI/ESD STM2.1Garments-Resistive Characterization5ANSI/ESD STM3.1Ionization6ANSI/ESD S4.1Worksurfaces-Resistance Measu

6、rements7ANSI/ESD S6.1Grounding-Recommended Practice8ANSI/ESD STM97.1Floor Materials and Footwear-Resistance Measurement in Combination with a Person9ANSI/ESD STM97.2Floor Materials and Footwear-Voltage Measurement in Combination with a Person术语和定义Term&Definition:名称定义ESD是Electrostatic Discharge的缩

7、写,指带有不同静电电势(电位差)的物体或表面之间的静电电荷转移。分为接触放电和电场击穿介质放电。 静电电荷的突然释放能够对ESD敏感器件造成损害。EPA是ESD Protected Area的缩写,指为保障静电敏感器件(ESDS)免受静电伤害而采用必要的防静电材料和设备建立和装备起来的区域,通常有明显的防静电警示标志。进入防静电工作区域的人员,必须严格遵循防静电作业规范。EPA内的静电产生和静电放电受到控制,能够防护ESD损害。ESDS是Electrostatic Sensitivity Device的缩写,指对ESD的承受能力较低,在制造、运送、储存和测试等过程中容易因静电放电而遭致损伤的器

8、件。器件对ESD的承受能力可以用静电放电敏感度表示,它是指器件所能承受而不至于遭受损坏的最大静电放电电压,基本单位是伏(V)。1 ESD控制方案要求ESD控制方案中包括管理和技术要求,其中ESD管理要求包含人员防静电要求、防静电用品认证&管理要求、防静电稽查、培训与认证要求、防静电问题处理流程等,ESD技术要求包含EPA区域环境建设要求、防静电标识要求、防静电包装材料技术要求、工装/夹具ESD要求、防静电检测方法、防静电敏感器件存储、周转、运输要求、生产现场防静电接地要求等。按照本ESD控制方案的要求,EMS厂确立记录实施维护该方案并核实方案的实施情况。EMS厂应建立明确的ESD组织机

9、构,并有专门的ESD负责人推行ESD工作。ESD控制的各组织及各层级人员应具有明确的职责分工,并纳入ESD控制方案文件内。1.1 人员安全本规范中描述的工作流程和设备,或许会导致操作人员暴露于有害的电气环境,本规范的用户应选择符合相关法律、管理条例和内/外部政策的设备。用户应慎重地注意到,本规范不能替换或代替其它关于操作人员的要求。当降低危险与ESD控制相冲突时,降低危险优先,首先满足安全要求。无论在哪里,只要操作人员会与电源相接触的地方,接地断路器及其它安全保护措施应被采用。特别提醒,通过ESD测试方法测试得的电阻不能用来评估人员暴露在高交流或直流电压下的安全性。1.2 ESD管理要求1.2

10、.1 人员防静电要求 人体的运动是静电产生的主要来源之一,对人体静电压的控制我们通常采取减少静电电荷的产生和人体接地释放静电电荷两种方法同时控制,主要通过使用腕带、工衣、工鞋、工帽、手套、防静电椅等方式加以控制,使得人体产生的静电安全地释放,达到ESD防护的目的。因此,ESD控制方案内应明确制定人员(包括外来人员)进入EPA区域的穿戴要求、人员防静电作业要求,人员防静电接地要求及其有效性的检测方法(人员每日防静电腕带和人体综合电阻的测试),确保人员满足静电防护的需要。1.2.2 防静电用品认证&管理要求为了确保选用的防静电用品符合ESD控制要求,需建立各类防静电用品引入认证方法及要求。

11、在实施本规范之前已安装使用的防静电用品,持续的符合性验证记录可作为产品认证的证据。由于用品的防静电性能与测试设备、方法、标准、环境以及测试人员技能有很大关系,防静电用品的技术认证必须由ESD责任人来组织。为实现对防静电用品进行有效的监控和管理,在ESD控制方案中应明确建立对防静电用品的申购、检验、领用/发放、维护/维修、报废等环节的实施方法和操作要求。1.2.3 ESD稽查、培训与认证(1)ESD稽查ESD控制体系的维护主要是通过稽查,发现问题、纠正问题来实现的。ESD标准也明确要求实施稽查,并作为正式条款列出。各EMS厂的ESD控制方案内必须建立一整套完整内外部ESD稽查控制程序,包括周度稽

12、查、月度稽查、季度稽查、年度稽查、供应商/外协厂ESD审查等,以确保所有与ESD相关的环节得到了合适的关注与控制,所有发生的ESD问题都得到了有效纠正与预防。对于一级EPA区域,需要定期的进行周度稽查、月度稽查、季度稽查、年度稽查;对于二级EPA区域,需要定期的进行月度稽查、季度稽查、年度稽查。检查与测量采用合适的仪器和方法、同时记录予以保存(记录一般保存时间:2年,如华为客户对记录保存有特殊要求的,以客户要求为准),使之与ISO9000的要求相符合。(2)ESD培训与认证所有操作或有可能接触ESD敏感器件、组件或产品的人员都必须进行ESD培训,同时为确认防静电培训的效果,参加ESD培训的员工

13、需要通过防静电知识的考核(认证)。为了促进员工防静电知识的不断提升,需要对员工进行培训、认证、再培训、再认证等一系列过程。由于产品静电防护涉及的部门很多,人员的岗位也相差很大,培训的对象涉及管理层、技术层、操作层,为了保证培训效果,应分层次确定培训目标并制定相应培训教材。培训计划应确定静电防护培训类型和频率、方法和具体技巧,培训计划还应包括用于检查学员理解及培训是否合适的检查方法。员工培训记录要求保留至少两年,并规定这些记录存放何处。为了保证培训效果,培训与认证应分为:初级培训和认证、周期性培训和认证、提高培训和认证、特殊培训和认证。a) 初级培训和认证:在员工接触静电放电敏感产品之前,应提供

14、初级的培训和认证。b) 周期性培训和认证:一级EPA区域内的工作人员ESD培训的有效期为一年,一年后需要进行周期性培训和认证;二级EPA区域内的工作人员ESD培训的有效期为两年,两年后需要进行周期性培训和认证; c) 提高培训和认证:由于工种变化或者转到新的部门,如从非EPA转移到EPA,从二级EPA转移到一级EPA等,需要适应新环境ESD控制要求进行提高培训与认证。d) 特殊培训和认证:由于企业要对静电防护体系进行日常维护,需要每一个部门(或EPA区域)确定一名ESD责任人(或由接口人执行),各个部门需要对ESD责任人或稽查人员提供特殊培训与认证,或由公司ESD主管部门对所有ESD责任人员、

15、稽查人员提供特殊培训与认证。1.2.4 防静电问题处理流程ESD工作实行部门主管负责制,其中部门主管为第一责任人,各部门ESD责任人或各ESD分项工作负责人为第二责任人。各类稽查问题处理应本着快速、高效的原则进行。各EMS厂须建立完整的ESD问题处理流程,对于ESD重大问题或无法处理的问题提交EMS厂ESD委员会及华为ESD项目组共同处理。(删除建议流程)1.3 ESD技术要求1.3.1 EPA区域环境建设要求EPA区域的划分以该区域内是否出现静电敏感物品为准则,只要可能出现静电敏感物品,且静电敏感物品未处于静电屏蔽状态,则应定义为防静电区,否则可定义为非防静电区。防静电区域的边界范围由区域负

16、责人与ESD责任人共同确定。生产区域分为一级EPA区域和二级EPA区域。一级EPA区域适用于静电敏感度大于或等于HBM100V、CDM200V的产品生产;二级EPA区域适用于静电敏感度大于或等于HBM500V、CDM200V的产品生产;华为产品生产区域对应的EPA等级定义及ESD要求参照下表一。说明:本规范适用于静电敏感度HBM100V、CDM200V的产品防护,如产品有更高的静电防护要求,相应的控制措施应进行调整。如华为的客户有更高要求的,也应以华为客户要求执行。表一:华为产品生产区域对应的EPA等级定义及ESD要求EPA控制一级EPA二级EPA备注防护水平HBM 100VCDM 200VH

17、BM 500VCDM 200V孤立导体35V35V适用区域IQC、元器件库房、PCBA及模块加工等环节;终端智能手机、平板电脑、MBB模块类产品等涉及静电敏感度HBM 100V的器件或组件的加工环节泛网络产品的整机组装、调测、终端功能手机等涉及静电敏感度HBM 500V的器件或组件加工环节温湿度要求温度:2030相对湿度(RH):45%75%EPA内应配备具有数据采集功能的温湿度计,并保存记录温度:1030相对湿度(RH):30%75%EPA内应配备温湿度计,并至少在每班次采集一次记录1.产品物料对环境温湿度有特殊要求时,应根据物料的特性需求和实际条件采取相应的局部环境保证措施;2.当指标超出

18、规定的范围时,必须采取适当的措施予以改善。标识要求(1)各楼层EPA入口处或不同EPA等级的转换处粘贴对应等级的EPA区域警示牌;(2)员工能正确区分EPA和非EPA,防静电区域的外边界粘贴EPA地面警示标识;(3)防静电设施、器材等防静电物品,以及静电敏感器件及组件等有关包装上标注有醒目的ESD标识。(1)各楼层EPA入口处或不同EPA等级的转换处粘贴对应等级的EPA区域警示牌;(2)员工能正确区分EPA和非EPA,防静电区域的外边界粘贴EPA地面警示标识;(3)防静电设施、器材等防静电物品,以及静电敏感器件及组件等有关包装上标注有醒目的ESD标识。人员要求(1)着装要求:穿戴防静电网格工衣

19、、工鞋、工帽;(2)测试要求:所有进入EPA的人员必须通过ESD测试方可进入;(3)操作要求:接触静电敏感产品必须佩戴防静电腕带或手套(坐式作业或直接操作静电敏感器件的岗位必须佩戴防静电腕带);(4)培训及认证要求:参见1.2.3(1)着装要求:穿戴防静电网格工衣、工鞋、工帽;(2)测试要求:所有进入EPA的人员必须通过ESD测试方可进入;(3)操作要求:接触静电敏感产品必须佩戴防静电腕带或手套(坐式作业或直接操作静电敏感器件的岗位必须佩戴防静电腕带);(4)培训及认证要求:参见1.2.3EPA内的工作人员禁止使用鞋跟带或鞋套。静电源控制要求(1)不必要的静电源(如水杯、塑料袋、手提包等)禁止

20、带入EPA;(2)必要的静电源按十二英寸原则控制或进行离子化、防静电喷涂等方式处理;(1)不必要的静电源(如水杯、塑料袋、手提包等)禁止带入EPA;(2)必要的静电源按十二英寸原则控制或进行离子化、防静电喷涂等方式处理;静电源的防静电处理方式需经ESD责任人确认。接地要求参见1.3.2参见1.3.2ESD硬件配置要求(1)离子风机配置:SMT线体:印刷前、印刷后、贴片后、回流炉前、回流炉后、检验位焊接/组装线体:静电场大于100V的工位其它关键工位:如维修工位,软件烧录工位或其它静电场大于100V的工位。(2)接地监控仪配置:EPA内涉及直接操作静电敏感器件的工位需配备接地系统监控仪;其它ES

21、D硬件配置参见1.3.3(1)离子风机配置:SMT线体:印刷后、贴片后、回流炉后、检验位焊接/组装线体:静电场大于500V的工位其它关键工位:如维修工位,软件烧录工位或静电场大于500V的工位。(2)接地监控仪配置:EPA内涉及直接操作静电敏感器件的工位需配备接地系统监控仪;其它ESD硬件配置参见1.3.31.要求使用直流自平衡离子风机;2.回流炉前如不进行任何操作,可不配置离子风机。3. 离子风机应覆盖整个静电源存在区域,确保工作区域内一直保持静电平衡的状态。4. 接地监控仪需根据产品指导书要求进行功能测试及定期校准,校准应由计量人员或经ESD专业培训的人员来进行。硬件设施检测要求参见1.3

22、.4参见1.3.4防静电包装要求参见1.3.5参见1.3.5工装/夹具ESD要求参见1.3.6参见1.3.6稽查要求周度稽查、月度稽查、季度稽查、年度稽查,具体参见1.2.3月度稽查、季度稽查、年度稽查,具体参见1.2.3备注:智能手机及平板电脑组装线体腕带、离子风机的配置标准参见附录D,其它产品线体的配置要求参照上述表格所列要求。1.3.2 生产现场防静电接地要求EPA区域所有的设备、仪器、测试环境装备、工具、人体应进行安全可靠的接地,以保证静电敏感物品、工作人员和其它所有导体处在等电位状态,使静电敏感物品免受ESD损伤。接地/等电位相连系统EPA区域内应实行接地/等电位相连接系统,以保证静

23、电放电敏感物件、人员和所有其它导电体(如移动设备),处在同样的电位,参见下图。人员接地坐式作业人员必须采用手腕带系统进行接地,站立式作业人员可通过手腕带系统或地板-鞋系统进行接地,当采用地板鞋系统时,应符合:系统的总电阻(从人体,通过鞋和地板,到接地/等电位相连系统)小于1×109欧姆,且人体走动电压100V(地板认证时测试),具体见下表二:表二:人员接地要求人员接地之技术要求测试方法指标要求手腕带系统参照ANSI/ESD S1.13.5×107地板/鞋系统(两者都要求)参照ANSI/ESD STM97.11×109参照ANSI/ESD STM97.2100VEP

24、A内的设施接地要求1) 防静电工作台上及其周边的仪器、测试架、工具(如电批、烙铁)、防静电器具、台垫、台面、地垫、腕带插孔等都应采用导线进行可靠接地,接地线连接点应该采用螺钉、焊接、双线交绕的紧固连接方式,保证连接点连接可靠、接触电阻小,禁止使用鳄鱼夹、挂接等不可靠的连接方式。2) 防静电工作区应在合适的位置提供接地端子和双回路腕带插孔座,以便于操作者腕带的插孔座到防静电线之间的电阻应小于2。3) 在落地设备、流水线、产品整机等上面本身应提供防静电腕带的接地插孔,通常插孔的接地采用防静电地引入,但在环境不满足时,允许使用电气保护地代替防静电地。4) 工作台表面的对地电阻应能保证最大对地漏电不超

25、过5mA。5) 对于直接放置静电敏感产品的表面应使用静电耗散材料制成,并进行可靠接地。其表面电阻及接地电阻应该保持在1.0×104R1.0×109。如有特殊原因必须使用导体材料则需提交华为ESD项目组确认。6) 防静电工作区安装和移位后,区域硬件设施的ESD各项指标应该重新测试,并保证在规格之内后才能投入使用。7) 所有连接电源主线的设备、仪器、工具等,都必须可靠地和电源系统安全地线相连接。仪器工具、设备的外壳都要增加加强接地线,采用紧固连接。8) 所有静电敏感器件、单板在加电测试之前都必须保证接地良好,禁止在产品测试过程中带电插拔单板和器件,产品具有热插拔设计和特殊测试要

26、求的除外。9) 腕带的接地线应该直接接入腕带专用插孔座内,而不应该通过任何其他设施,如工衣,工作表面等接地。10) EPA区的防静电接地只允许使用并联接地,串联接地是一种不可接受的接地方式。11) 机柜在测试过程中必须接电气保护地线,机柜的装配过程中,如机柜上有ESDS,在装配之前也必须进行接地。12) 要求静电敏感器件及其组件的加工设备、测试仪器、工具、装备(如测试设备仪器、工装和夹具、SMT系列设备、波峰焊机、烘烤箱、成型系列设备、电批、电烙铁等)有可靠接地;电批、电烙铁、热风筒要求加强接地,没有出现漏电的情况。13) 焊接锡丝应可靠接地。1.3.3 静电防护区域基本控制措施表三:静电防护

27、区域基本控制措施要求 EPA等级ESD控制措施一级EPA二级EPA备注区域封闭性防静电标识防静电地板或地垫防静电窗帘、屏封(与EPA的距离小于50cm时)温/湿度仪器防静电桌垫防静电工作椅防静电双回路腕带防静电工作手套、指套防静电工作服禁止使用条纹状防静电工衣防静电工作鞋腕带测试仪和人体电阻测试仪ESD数据采集系统ESD门禁系统ESD测试有人监管视为有门禁系统静电消除器(如:离子风机、离子风蛇)具体参照1.3.1ESD硬件配置要求接地系统监控仪具体参照1.3.1ESD硬件配置要求防静电烙铁防静电吸锡枪其它用于产品的常用装配、调试及辅助工具防静电处理静电场测试仪仪器的量程、精度、尺寸等要求应满足

28、ANSI/ESDA标准。兆欧表离子风机测试仪防静电周转工具防静电包装材料防静电文件夹防静电作业指导书袋防静电液防静电状态卡防静电工卡套防静电胶纸键盘防静电处理鼠标防静电处理显示器防静电处理非必要的静电产生材料禁止带入EPA区域外或独立区域对非防静电包装进行拆包1.3.4 防静电检测方法及要求防静电系统各要素(包括地板、接地系统、工作台、工作椅、物流传递工具、包装材料、人员、腕带、服装、离子风机、防静电工具、工装夹具、电烙铁、电批等)要求建立有效的引入认证要求和来料检验/验收计划,以确保选用的ESD控制产品符合要求。防静电用品的认证测试一般要求在温度为50的环境下烘烤12天,在温度23±

29、;2、相对湿度在25%±5%的环境下放置48小时后进行测试。对于防静电工衣的认证测试,应模拟实际应用场景,对工衣清洗50次(清洗时间33H)后放置在温度23±2、相对湿度25%±5%的环境下48小时后进行测试。防静电系统各要素的认证指标可根据实际应用要求进行收严,最低标准应满足符合性验证指标要求。新引入的焊接/脱焊工具(如电烙铁)应增加漏电压、漏电流认证要求,满足接地电阻小于1,漏电压小于20mV,漏电流小于10mA;对于投入使用的防静电设施要求进行定期符合性检测及记录。为使各项检测要求能真正落实,要求ESD控制方案内需对各静电测试仪器的使用方法、防静电系统各要素

30、的检测指标及检测方法进行详细的阐述,以提供确实可行的指导。测试方法具体参照ESD TR53, Compliance Verification of ESD Protective Equipment and Materials,防静电系统各要素的符合性检测指标及检测周期详见下表四。表四:防静电设施的检测指标及检测周期要求测试项目接地电阻()表面电阻()体电阻()系统电阻()摩擦电压(V)检测周期(最低要求)一级EPA二级EPA防静电地极接地母线与大地之间:4每1年每1年仪器设备、装备、夹具到接地母线:硬接地4;软接地1×105Rg1×109每月抽检1/3,一季度全覆盖每月抽检

31、1/3,一季度全覆盖防静电地板到接地母线:1×104Rg1×1091×104Rs1×109100每季度抽检,每150平米至少抽测两个点每半年抽检,每150平米至少抽测两个点防静电烙铁到接地母线:要求10每天全检每天全检电批到接地母线:要求20每天全检每天全检热风筒到接地母线:要求20每月全检每月全检腕带插孔座到接地母线:要求2 每月全检每月全检腕带人体腕带接地电阻:0.75×106Rg3.5×107每天全检(只检测腕带系统电阻是否通过)每天全检(只检测腕带系统电阻是否通过)工鞋、鞋跟参照:1.3.2人员接地要求每天全检(只检测工鞋、鞋

32、跟系统电阻是否通过)每天全检(只检测工鞋、鞋跟系统电阻是否通过)台垫、地垫到接地母线:0.75×106Rg1×1091×105RS1×109(耗散面)100每月全检每季度全检工衣、工帽、手套0.1×106Rs1×109(点与点、袖对袖、片与片)100每月抽检10%每月抽检10%工作椅1×109(椅面对脚轮)100每月抽检每季度抽检防静电周转箱、托盘、器件盒1×104Rs1×1091×104Rv1×109100每月抽检每季度抽检防静电周转车1×104Rs1×109(导

33、轨槽)1×104Rs1×109100每月抽检每季度抽检防静电传送带到接地母线:1×104Rg1×1091×104Rs1×109100每月抽检1/3,一季度全覆盖每月抽检1/3,一季度全覆盖吸嘴1×104RS1×109100每月抽检每月抽检防静电屏蔽袋、防潮袋1×104RS1×1010(内/外表面)100每月抽检每月抽检吸塑盒、tray盘1×104RS1×1091×104RV1×109(作周转用时检测)100每月抽检每月抽检离子风机衰减时间T±10

34、00±100V6s(在静电敏感产品操作台面检测);离子平衡度:±35V(在风口正前方30CM处检测)注:EPA区域必须使用直流离子风机每月全检每月全检离子风蛇距离风蛇口正前方15cm处测量衰减时间T±1000±100V3s离子平衡度:±50V每月全检每月全检备注:1. 对于连接接地监控仪的腕带插孔座,如接地电阻无法满足小于2,则要求监控仪的主地线接地电阻小于2,并每月进行全检。2. 防静电屏蔽袋、防潮袋等屏蔽材料除对上述指标要求外,还要求其屏蔽残余电压小于30V或耦合能量小于50nJ。如EMS厂不具备屏蔽指标的测量能力,在引入及例行管控中应要求

35、生产厂家提供第三方测试报告。1.3.5 防静电包装材料技术要求ESD敏感器件的包装应该提供一种安全的保护方式,以防止由于包装或外界原因对器件造成ESD损伤。包装上的ESD标识能够提醒员工,包装内是ESD敏感器件,取出时应该采取ESD防护措施。防静电包装材料的防静电性能必须通过检验测试合格才能用于器件、单板、产品包装。用于包装ESD敏感产品的防静电材料在温度为25±5和相对湿度为25%±5%的环境下应满足规定的防静电性能指标要求,进入公司的防静电包装材料应进行不定期的稽查抽测,用以验证其防静电的有效性。发现的不合格问题按照正常流程处理得到了有效纠正与预防。防静电参数要求参见表

36、五:表五:静电敏感产品包装ESD指标要求类型周转用包装材料发货用包装材料备注直接包装层间接包装层直接包装层间接包装层器件&单板级表面电阻:1×1041 ×109 摩擦电压:100V表面电阻:1 ×1011 摩擦电压:100V方案一方案一:使用屏蔽材料屏蔽残余电压30伏或耦合能量50nJ表面电阻:1×104R1 ×1010摩擦电压:100V表面电阻:1×1011 ;摩擦电压:100V在静电敏感产品未进行屏蔽包装前,所用的包装材料(含填充料、缓冲料等)都应为低起电或静电耗散材料,满足摩擦电压小于100V,如使用胶带,还要求其解卷电

37、压小于100V。-方案二表面电阻:1×104R1 ×109摩擦电压:100V使用屏蔽材料:屏蔽残余电压30伏或耦合能量50nJ表面电阻:1 ×1011摩擦电压:100V模块级(指有金属外壳屏蔽但存在单板接口/端口外露的产品)表面电阻:1×1011摩擦电压:100V表面电阻:1×1012表面电阻:1×1011摩擦电压:100V-不包括光模块、二次电源模块、MBB模块。注:a) 在EPA外运输、储存的静电敏感产品,其直接包装层可采用防静电周转箱、屏蔽袋、吸塑盒等包装方式,间接包装层可采用防静电缓冲材料(如防静电泡沫EPE、防静电气泡袋等)

38、,直接包装层、间接包装层至少有一层是静电屏蔽材料。b) 有防静电要求的包装材料,周转用防静电性能使用寿命至少大于两年,如周转材料技术能达到永久性防静电性能,建议尽量使用永久性防静电性能的周转材料;发货用防静电性能使用寿命至少大于半年;c) EMS厂发往华为的静电敏感物品(如单板、模块等)的包材应满足上表发货用包装材料的要求。如涉及防静电包装材料变更,应提前反馈给华为ESD项目组,经确认合格后,方可切换。d) 在EPA内,如包装材料上放置有静电敏感产品并进行操作,则相当于操作台面,要求所使用的包装材料的对地电阻介于1×1041×109之间。1.3.6 工装、夹具ESD要求工装

39、、夹具作为器件和产品的直接操作装置,如果存在静电问题,会对其操作的器件或产品造成批量甚至持续性的损伤,将严重影响产品的质量。因此工装夹具在开发设计时应全面进行静电防护性能的设计,分析装备和工装的静电问题,对其静电风险进行评估,以确定必要的材料选择、静电接地、防静电处理等措施。(1) 材料选择要求a) 为避免CDM失效发生,工装和夹具上用于放置或操作静电敏感器件的承载面及与静电敏感器件引脚接触的材料必须采用静电耗散材料(电阻介于1*1041*109欧姆)并接地。 b) 工装和夹具上的器件拾取装置(如吸头、爪具、夹子、真空杯等)应采用静电耗散材料并接地(特殊场景下需使用导体材料则要经ESD评估)。

40、 c) 装备和工装中,距离单板或单板上静电敏感器件30cm以内的所有装备用零件(如盖板、压接条、支撑座、夹子、导轨、插槽、顶针、定位柱等)应该采用导体或防静电材料,当由于其他性能要求必须采用绝缘材料时应该采取必要的防静电处理措施(如屏蔽、电镀、金属涂覆等手段)进行静电防护,避免静电电荷的产生和累积。(2) 接地要求 a) 工装和夹具上用于放置或操作静电敏感器件的台面应该有接地通路,保证该装置的操作对象(如静电敏感器件、单板、模块)在操作时具有良好的接地性能。 b) 工装和夹具上的的导体外壳、金属屏蔽体、金属平台、内部导体部件必须采用硬接地措施。 c) 接地设计应该与测试仪器等同,采用并联接地方

41、式,保证接地路径最短(最近连接),接地回路最小,不能串联接地。 d) 工装和夹具上运动分离、旋转分离的部件应采用合适的接地方式以保证其连续接地通路,如采用柔性导体、辫状电缆、金属刷子、石墨换向器、铜皮换向器、导电剂等接地方式。e) 工装和夹具在设计时必须预留接地点,且结合现场应用场景确保接地有效。f) 测试夹具在未扣合前,其内部测试针与单板不接触且不外露,避免单板一放入就与顶针接触发生CDM失效。(3) 认证和验收要求a) 工装和夹具上所使用的防静电基材应通过各EMS厂的ESD项目组认证,并出具详细的ESD认证报告。b) 工装和夹具在投入使用之前,应通知对应的ESD负责人进行验收并出具验收报告

42、,验收项目包括表面电阻、接地电阻、摩擦电压等(具体见表六),验收合格后方可投入使用。表六:工装夹具验收ESD要求分类摩擦电压(V)表面电阻()接地电阻()工装夹具验收要求用电与产品接触1001*1051*1091*1051*109与产品不接触1001*1011/不用电与产品接触1001*1041*1091*1041*109与产品不接触1001*1011/1.3.7 防静电敏感器件存储、周转、运输要求ESD控制方案内应制定静电敏感物品的包装、存储、周转和运输等各环节的实施办法以及操作要求,使静电敏感物品处于良好静电防护状态中,以确保产静电敏感物品免受ESD损伤。静电敏感器件及其组件在EPA外进行

43、存储、周转、运输等过程都必须采用防静电屏蔽包装,即采用法拉第笼的包装形式,避免器件受到静电损伤。在EPA外存储、周转、运输过程中都不得对ESDS进行拆包等直接操作,只能在EPA内的防静电工作环境中进行直接操作。1. 存储要求表七:静电敏感产品存储ESD要求分类操作方式EPA设置温度相对湿度(RH)备注元器件拆包操作一级EPA20-3045%75%不拆包非EPA参照一般物料存储要求,ESD不做要求如元器件未进行屏蔽包装,则按拆包操作方式要求管控。单板、模块拆包操作二级EPA103030%75%不拆包非EPA参照一般物料存储要求,ESD不做要求如单板、模块未进行屏蔽,则按拆包操作方式要求管控。注:

44、当存储区域(库房)的自然温湿度达不到要求时,应使用空调或增湿器、抽湿机予以调节,直至满足要求为止。对环境有特殊要求的,如潮湿敏感器件等,请遵照相应的专用操作指导书执行。未屏蔽的静电敏感器件及其组件不得直接放置于未接地的货架或不具有防静电功能的周转箱内或周转车上,应通过防静电屏蔽袋或防静电周转箱等储放。静电敏感的单板、组件:存放主要采用屏蔽袋、防静电吸塑盒、防静电托盘、防静电周转箱、单板周转车等。周转箱一般用于生产现场的短时间存放,当使用防静电周转箱较长时间存放单板时,应采用防静电屏蔽袋或周转箱盖板盖住周转箱箱口,以保证其防静电效果并防灰尘。静电敏感器件:可以采用IC管、防静电托盘、防静电的卷盘卷带、防静电屏蔽袋等存放。存放时要保证包装的封闭性,因此使用防静电托盘存放IC类物料时外部应采用防静电屏蔽袋(或防潮袋)包装。防静电器件盒一般只用于生产现场的器件短期放置,不用于库房的器件存储。静电敏感器件尽量保持原包装状态,严禁随意拆封。用于静电敏感器件散装清点、分料和发料的工作台必须铺设防静电台垫,并可靠接地。操作人员应佩戴防静电手套、指套或将有绳防静电腕带接入防静电接地系统。禁止使用无绳腕带。静电敏感器件和组件的存储环境中不得有强静电、强电场、磁

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