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文档简介

1、。无掩膜光刻技术激光无掩膜光刻技术，又称激光直接成像技术（LDI,LaserDirect Imaging）, 是直接利用图形工作站输出的数据，驱动激光成像装置， 在涂覆有光致抗蚀剂的基材上进行图形成像的技术。LDI 可以实现不使用掩膜板，因此不仅可以降低成本，同时可以减少流程，节约制程时间。在传统印制电路板（ PCB）生产中大约需要 250 分钟 -300 分钟，9 个工序的制程， 使用 LDI 支撑可以节约到 5 分钟， 3 个工序。但是由于存在生产效率，激光束准确度，准确度验证和检查，与现有成熟工艺兼容，重合误差等问题，在使用范围上仍受到一定限制， 目前主要应用在 PCB领域，在平板显示，

2、半导体制程中，仍然难以进入量产阶段。不同的 LDI 设备差别较大， 主要看最小线宽和最大基材面积这两个指标。在图形质量方面， LDI 受到激光能量和光线照射角度的影响。 在生产率方面， 影响 LDI 速度的主要有多面镜转动速度和计算机数据处理和输出效率。目前， LDI 主要应用在电路板行业，尤其是 HDI（高密度互联板）企业，主要用于小批量样品， 随着高感光度干膜应用， LDI 进入连线试用阶段，进而提高了效率。目前最小线宽可以做到10 微米的范围。主要设备企业有以色列的奥宝， 日本的富士， 德国的海德堡等，中国国内企业主要有合肥芯碁微，中山新诺和大族激光等。1。根据大族激光 2015 年年报披露， 2015 年大族激光 LDI 设备营收达到 2000万元。合肥芯碁微的 Tripod 系列可以应用于各类 HDI、软板、软硬结合板等，内、外层与防焊生产曝光设备，其最小线宽/ 间距可达到 30/30 m，工作台尺寸为 610× 800mm。随着可穿戴设备、智能手机等电子产品销量不断增长，对HDI 产品的需求也在不断增长，由于增长态势属于缓慢增长，因此工厂大多采用升级更新，因此影响了LDI 设备的快速增长。2。欢迎您的下载，资料仅供

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