表面强学习教案

1、会计学1表面表面(biomin)强强第一页，共53页。疲劳破坏主要(zhyo)包括裂纹的萌生和发展两个阶段。从原始表面到产生0.076mm长裂纹的过程即为裂纹的萌生。 疲劳裂纹总是在应力最高、强度最弱的机件表面上形成。机件表面上机械加工的切削纹、表面擦伤、结构上的内圆角及亚表面的夹杂物等应力集中处，均易于造成局部高应力，是疲劳裂纹萌生的首发地区。 第1页/共53页第二页，共53页。 疲劳裂纹萌生的三种主要形式：疲劳裂纹萌生的三种主要形式：1 1滑移带开裂滑移带开裂 在循环应力的作用在循环应力的作用(zuyng)(zuyng)下，塑性应变的滑移局限下，塑性应变的滑移局限于某些晶粒内，首先在试样表

2、面形成，然后于某些晶粒内，首先在试样表面形成，然后逐渐向内部扩展，形成逐渐向内部扩展，形成“驻留滑移带驻留滑移带”。表面驻留滑移带形成后，由于不可逆的反复表面驻留滑移带形成后，由于不可逆的反复变形，便在表面形成变形，便在表面形成“挤出带挤出带”和和“侵入沟侵入沟”(”(右右图图) )，其中的侵入沟将发展为疲劳裂纹。，其中的侵入沟将发展为疲劳裂纹。 第2页/共53页第三页，共53页。2晶界开裂晶界开裂滑移带到达晶界时，在晶界上受阻。滑移带到达晶界时，在晶界上受阻。随着滑移的继续进行，位错在晶界随着滑移的继续进行，位错在晶界旁塞积。当位错塞积造成的应力达旁塞积。当位错塞积造成的应力达到材料的强度极

3、限时，在晶界处会到材料的强度极限时，在晶界处会产生开裂形成产生开裂形成(xngchng)微裂纹。微裂纹。材料的晶粒尺寸愈大，晶界上的应变量愈大，位错塞积愈严重，所材料的晶粒尺寸愈大，晶界上的应变量愈大，位错塞积愈严重，所产生产生的应力就愈高，裂纹就愈易形成的应力就愈高，裂纹就愈易形成(xngchng)。因此，以晶粒细化来防止晶界的开裂和推迟裂纹的萌生是很有效的。因此，以晶粒细化来防止晶界的开裂和推迟裂纹的萌生是很有效的。 第3页/共53页第四页，共53页。第4页/共53页第五页，共53页。3-1-2 影响疲劳强度的因素影响疲劳强度的因素 1表面的机械处理表面的机械处理 喷丸、冷滚压等机械处理，

4、在服役的表面形成有残余压应力的薄喷丸、冷滚压等机械处理，在服役的表面形成有残余压应力的薄层，对提高疲劳抗力是行之有效的表面强化方法。层，对提高疲劳抗力是行之有效的表面强化方法。表层压应力的存在表层压应力的存在(cnzi)，降低了外加交变应力中容易造成损，降低了外加交变应力中容易造成损伤的拉应力分量，从而可大幅度提高疲劳裂纹的萌生寿命。伤的拉应力分量，从而可大幅度提高疲劳裂纹的萌生寿命。第5页/共53页第六页，共53页。2表面的腐蚀表面的腐蚀腐蚀作用使金属表面变为粗糙，形成腐蚀坑等应力集中腐蚀作用使金属表面变为粗糙，形成腐蚀坑等应力集中点，在交变应力的作用下，裂纹萌生的寿命很短，使疲点，在交变应

5、力的作用下，裂纹萌生的寿命很短，使疲劳强度大大降低。劳强度大大降低。一般说来，在较强的腐蚀环境下，材料对于腐蚀疲劳的一般说来，在较强的腐蚀环境下，材料对于腐蚀疲劳的基本抗力主要取决于材料对腐蚀的抗力，即增加材料对基本抗力主要取决于材料对腐蚀的抗力，即增加材料对腐蚀的抗力比增加其疲劳强度更为重要。腐蚀的抗力比增加其疲劳强度更为重要。残余压应力可以减慢残余压应力可以减慢(jin mn)侵蚀介质向物体内的浸透，侵蚀介质向物体内的浸透，减慢减慢(jin mn)腐蚀损伤即疲劳裂纹源的形成和发展。采腐蚀损伤即疲劳裂纹源的形成和发展。采用金属和非金属涂层保护层，并在表面上制造合适的压用金属和非金属涂层保护层

6、，并在表面上制造合适的压应力，对于抑制腐蚀损伤具有重大的意义。应力，对于抑制腐蚀损伤具有重大的意义。第6页/共53页第七页，共53页。3 3其它表面处理其它表面处理(chl)(chl)方法方法表面处理表面处理(chl)(chl)的方法是多种多样的，各种处理的方法是多种多样的，各种处理(chl)(chl)方法对疲劳强度的影响还有待于人们进一步的研究。方法对疲劳强度的影响还有待于人们进一步的研究。任何一种处理任何一种处理(chl)(chl)都会影响到表面对疲劳的抗力，但都会影响到表面对疲劳的抗力，但是究竟是增加还是减少，增加或减少的程度如何，比较复是究竟是增加还是减少，增加或减少的程度如何，比较复

7、杂。因为即使对于同一种处理杂。因为即使对于同一种处理(chl)(chl)方法，例如电镀，方法，例如电镀，镀层的种类可达上百种，各种镀层特性不可能相同，因而镀层的种类可达上百种，各种镀层特性不可能相同，因而会得出不同的结果。会得出不同的结果。第7页/共53页第八页，共53页。第8页/共53页第九页，共53页。第9页/共53页第十页，共53页。3-2-1 薄膜应力的起因薄膜应力的起因 薄膜应力是由表面张力薄膜应力是由表面张力S、热应力、热应力T和内应力和内应力I 三部分组三部分组成的。成的。表面张力也是一种应力，如果膜层上表面的表面张力为表面张力也是一种应力，如果膜层上表面的表面张力为1，膜层与基

8、板表面的张力为膜层与基板表面的张力为2，薄膜厚度为，薄膜厚度为d，则由此产生的表，则由此产生的表面张力面张力: S = (1 +2)d 热应力是由于膜层与基板之间的热膨胀系数不同而引起的，可热应力是由于膜层与基板之间的热膨胀系数不同而引起的，可表示表示(biosh)为为: TS 和和TM分别为沉积和测量时的基板温度；分别为沉积和测量时的基板温度；f和和s分别为薄分别为薄膜和基板的热膨胀系数；膜和基板的热膨胀系数；Ef为薄膜的杨氏模量。为薄膜的杨氏模量。 第10页/共53页第十一页，共53页。第11页/共53页第十二页，共53页。第12页/共53页第十三页，共53页。第13页/共53页第十四页，

9、共53页。3-2-2 3-2-2 沉积工艺对应力沉积工艺对应力(yngl)(yngl)的影响的影响(1)(1)基板温度：基板温度既影响热应力基板温度：基板温度既影响热应力(yngl)(yngl)，又影响内应力，又影响内应力(yngl)(yngl)。 随着基板温度升高，内应力随着基板温度升高，内应力(yngl)(yngl)减小，热应减小，热应力力(yngl)(yngl)增加。增加。 第14页/共53页第十五页，共53页。(2)(2)真空度：真空室中残余氧、氮和水气对应力都有影响。真空度：真空室中残余氧、氮和水气对应力都有影响。在沉积在沉积SiOSiO时，随着水气分压升高，其应力从张应力逐渐变时，

10、随着水气分压升高，其应力从张应力逐渐变为压应力。为压应力。在沉积在沉积AlAl膜时，若真空度低于膜时，若真空度低于10102 Pa2 Pa，则，则A1A1膜由通常的张应膜由通常的张应力变为压应力，其它金属也有类似现象。这是因为气体渗入力变为压应力，其它金属也有类似现象。这是因为气体渗入金属晶格金属晶格(jn )(jn )，从而抑制了金属晶格，从而抑制了金属晶格(jn )(jn )的膨胀。的膨胀。 第15页/共53页第十六页，共53页。第16页/共53页第十七页，共53页。 (4) (4)膜厚：有些膜厚：有些(yuxi)(yuxi)薄膜的应力与膜厚的关系是一个薄膜的应力与膜厚的关系是一个N N形

11、。形。第17页/共53页第十八页，共53页。(5)(5)热处理：薄膜在空气中烘烤对于消除缺陷、减小应力有着重要的热处理：薄膜在空气中烘烤对于消除缺陷、减小应力有着重要的 作用。作用。在低温退火时，原子主要通过晶格振动在低温退火时，原子主要通过晶格振动(zhndng)(zhndng)交换能量，使位于畸交换能量，使位于畸变位置的原子得到恢复；在较高温度下，产生体内和界面扩散，发生再变位置的原子得到恢复；在较高温度下，产生体内和界面扩散，发生再结晶，使晶粒增大，晶界减小，应力降低。结晶，使晶粒增大，晶界减小，应力降低。(6)(6)时效：随着薄膜吸潮，应力可减小。对时效：随着薄膜吸潮，应力可减小。对M

12、gF2MgF2单层膜，应力可降低单层膜，应力可降低 50 50左右。左右。 (7)(7)混合膜和多层膜：用具有压应力和张应力两种材料混合的单层膜混合膜和多层膜：用具有压应力和张应力两种材料混合的单层膜 或由它们组成的多层膜可显著降低薄膜应力。或由它们组成的多层膜可显著降低薄膜应力。 第18页/共53页第十九页，共53页。3-3 3-3 表面活性介质对力学性能的影响表面活性介质对力学性能的影响(yngxing) (yngxing) 3-3-1 Rebingry3-3-1 Rebingry效应效应 固体的机械性能，诸如强度、塑性、耐磨性等都可能受到与固体的机械性能，诸如强度、塑性、耐磨性等都可能受

13、到与其表面接触的气体和液体的影响其表面接触的气体和液体的影响(yngxing)(yngxing)而产生显著变而产生显著变化。在许多情况下，这些环境介质的作用会使固体强度大大化。在许多情况下，这些环境介质的作用会使固体强度大大降低。降低。因环境介质物理、化学的影响因环境介质物理、化学的影响(yngxing)(yngxing)及表面自由能减及表面自由能减小而导致固体表面强度降低的现象，称为小而导致固体表面强度降低的现象，称为RebingryRebingry效应。效应。任何固体存在这种效应。例如，玻璃和石膏吸附水蒸气后，任何固体存在这种效应。例如，玻璃和石膏吸附水蒸气后，其强度明显下降。铜表面覆盖熔

14、融的铋薄膜后，会使铜原来其强度明显下降。铜表面覆盖熔融的铋薄膜后，会使铜原来的高塑性丧失，在远比空气中拉伸低得多的应力下发生脆性的高塑性丧失，在远比空气中拉伸低得多的应力下发生脆性破坏。破坏。 第19页/共53页第二十页，共53页。第20页/共53页第二十一页，共53页。第21页/共53页第二十二页，共53页。第22页/共53页第二十三页，共53页。第23页/共53页第二十四页，共53页。3-3-2 3-3-2 影响影响RebingryRebingry效应的因素效应的因素1 1固体和液体金属固体和液体金属(jnsh)(jnsh)的本质的本质 降低固体和环境介质界面的表面自由能对出现降低固体和环

15、境介质界面的表面自由能对出现RebingryRebingry效应有效应有关键的作用。关键的作用。液体金属液体金属(jnsh)(jnsh)在固体中的溶解度越小，则在相应的界面上在固体中的溶解度越小，则在相应的界面上表面能的降低越强烈。表面能的降低越强烈。固体和使表面能强烈降低的介质接触，引起的后果之一就是急固体和使表面能强烈降低的介质接触，引起的后果之一就是急剧改变其表面的机械性能。剧改变其表面的机械性能。 第24页/共53页第二十五页，共53页。第25页/共53页第二十六页，共53页。3-3-4 Rebingry效应的利用及防止效应的利用及防止利用吸附性降低强度的这种特性，为固体的顺利加工提供

16、了广泛利用吸附性降低强度的这种特性，为固体的顺利加工提供了广泛的的 可能性。例如降低强度引起脆性可利于精磨。使材料表面增塑，可能性。例如降低强度引起脆性可利于精磨。使材料表面增塑，会有利于金属压力加工，诸如拔长，轧制，模锻，拉丝等等。会有利于金属压力加工，诸如拔长，轧制，模锻，拉丝等等。表面活性介质强烈影响磨削过程。用易熔金属做金钢石砂轮的填表面活性介质强烈影响磨削过程。用易熔金属做金钢石砂轮的填料料 可以大大提高加工金属陶瓷、硬质合金和特殊钢的速度，也使可以大大提高加工金属陶瓷、硬质合金和特殊钢的速度，也使砂轮的耐磨性提高几倍，并显著提高磨削生产率。砂轮的耐磨性提高几倍，并显著提高磨削生产率

17、。磨削过程能这样获得显著改善，是由于粘结在砂轮内的易熔金属，磨削过程能这样获得显著改善，是由于粘结在砂轮内的易熔金属， 在切削时的高温作用下被熔化了，从而促进被加工材料表面断在切削时的高温作用下被熔化了，从而促进被加工材料表面断裂裂(dun li)。 而且，微量活性金属提高磨削生产率，并不影响被磨零件以后而且，微量活性金属提高磨削生产率，并不影响被磨零件以后的机的机 械寿命。械寿命。 第26页/共53页第二十七页，共53页。 在大部分情况下，在大部分情况下，RebingryRebingry效应都是有害的效应都是有害的固体金属和金属熔融物接触是生产中最常见固体金属和金属熔融物接触是生产中最常见(

18、chn jin)(chn jin)的情况。的情况。金属钎焊和焊接、金属钎焊和焊接、轴承熔化，用液体金属作润滑剂、原子反应堆、火箭装置、内燃轴承熔化，用液体金属作润滑剂、原子反应堆、火箭装置、内燃机等机等均有这种接触。均有这种接触。要减少其危害，可根据各种具体情况选用敏感性小的材料或低活要减少其危害，可根据各种具体情况选用敏感性小的材料或低活性的性的熔融物，或求出机件运转的极限许用应力。在某些情况下，金属熔融物，或求出机件运转的极限许用应力。在某些情况下，金属经某经某些表面处理，如涂覆结合牢固的氧化物、碳化物和氮化物层等等，些表面处理，如涂覆结合牢固的氧化物、碳化物和氮化物层等等，可可保证固体金

19、属件不被熔融物浸润，从而阻止吸附引起的强度降低。保证固体金属件不被熔融物浸润，从而阻止吸附引起的强度降低。 第27页/共53页第二十八页，共53页。3-4 表面抗磨强度表面抗磨强度与固体物质接触并发生相对运动的机件表面都要承与固体物质接触并发生相对运动的机件表面都要承受摩擦磨损，提高机件的抗磨强度是表面工程技术受摩擦磨损，提高机件的抗磨强度是表面工程技术的重要目标之一。的重要目标之一。 在摩擦面之间加润滑剂是减少磨损的有效方法。在摩擦面之间加润滑剂是减少磨损的有效方法。润滑剂减少磨损的主要机理润滑剂减少磨损的主要机理(j l)是：是：流体膜润滑即流体膜把两金属隔开，把磨损减到最流体膜润滑即流体

20、膜把两金属隔开，把磨损减到最低限度；低限度；固体润滑即在固体表面采取固体润滑剂或使用的添固体润滑即在固体表面采取固体润滑剂或使用的添加剂能与金属的表面发生反应生成厚为加剂能与金属的表面发生反应生成厚为40400nm的的氧化物或硫化物，可以避免金属与金属之间的接触。氧化物或硫化物，可以避免金属与金属之间的接触。 第28页/共53页第二十九页，共53页。要提高机件的耐磨寿命，最重要的有两点：要提高机件的耐磨寿命，最重要的有两点：一是工程上的合理设计；一是工程上的合理设计； 二是耐磨件的表面强化。二是耐磨件的表面强化。 1 1耐磨设计耐磨设计 耐磨性是由多个独立的理化或机械性质综合作用决定的，并耐磨

21、性是由多个独立的理化或机械性质综合作用决定的，并不完全依靠材料的某一种内在性质。不完全依靠材料的某一种内在性质。设计时应对设计时应对(yngdu)(yngdu)零件的重要性、维修难易程度、产品零件的重要性、维修难易程度、产品成本、使用特点、环境特点等预先进行综合考察。成本、使用特点、环境特点等预先进行综合考察。 第29页/共53页第三十页，共53页。2抗磨材料的选择抗磨材料的选择在选择抗磨材料时必须查清影响产品寿命在选择抗磨材料时必须查清影响产品寿命(shumng)的基本因的基本因素和磨损过程是否始终以同样的磨损机理进行等情况，然后进素和磨损过程是否始终以同样的磨损机理进行等情况，然后进行选材

22、。行选材。 (1)确定材料在使用方面是否存在限制确定材料在使用方面是否存在限制: 这些限制包括工艺性能、这些限制包括工艺性能、使用环境、机械性能、理化性能等。使用环境、机械性能、理化性能等。 (2)确定负荷限制确定负荷限制: 考察材料是否能经受住运行中的载荷而不变考察材料是否能经受住运行中的载荷而不变形或无过分变形。形或无过分变形。 第30页/共53页第三十一页，共53页。第31页/共53页第三十二页，共53页。(4)(4)确定确定p p极限值极限值: : 其中其中p p是平均接触压力；是平均接触压力；是滑动速度。是滑动速度。 材料允许的最大载荷和滑动速度，通常以材料允许的最大载荷和滑动速度，

23、通常以p p形式形式(xngsh)(xngsh)给出。给出。(5)(5)确定机件工作循环特性确定机件工作循环特性: : 载荷交变的程度及机器运转的载荷交变的程度及机器运转的 间断性都会影响磨损。间断性都会影响磨损。 (6)(6)确定容许的磨损失效形式确定容许的磨损失效形式(xngsh)(xngsh)和机械表面的损伤程度。和机械表面的损伤程度。 第32页/共53页第三十三页，共53页。3 3薄膜硬度及耐磨表面处理薄膜硬度及耐磨表面处理从材料表面来研究提高耐磨性问题一般从两个方面着手：从材料表面来研究提高耐磨性问题一般从两个方面着手：一是具有良好的机械特性；二是设法形成具有非金属性一是具有良好的机

24、械特性；二是设法形成具有非金属性质的摩擦质的摩擦(mc)(mc)面。面。在机械性能中，最重要的是硬度，在大多数情况下磨损在机械性能中，最重要的是硬度，在大多数情况下磨损率都会随硬度的提高而降低。非金属性质的摩擦率都会随硬度的提高而降低。非金属性质的摩擦(mc)(mc)面则是通过物理或化学的作用来减小磨损的。面则是通过物理或化学的作用来减小磨损的。第33页/共53页第三十四页，共53页。第34页/共53页第三十五页，共53页。3-5 表面抗腐蚀强度表面抗腐蚀强度腐蚀对材料表面的损害是众所周知的，它可以使表面的腐蚀对材料表面的损害是众所周知的，它可以使表面的尺寸减小，使表面失去光洁度，更多的情况是

25、使表面产尺寸减小，使表面失去光洁度，更多的情况是使表面产生局部缺陷而造成应力集中，从而导致生局部缺陷而造成应力集中，从而导致(dozh)机件的机件的断裂。可以说全部的腐蚀破坏都是从损坏材料的表面强断裂。可以说全部的腐蚀破坏都是从损坏材料的表面强度开始的。度开始的。同同Rebingry效应所不同的是：一是损害的程度更加严重；效应所不同的是：一是损害的程度更加严重；二是不可逆的。二是不可逆的。表面工程的一个重要内容就是设法提高材料表面的抗腐表面工程的一个重要内容就是设法提高材料表面的抗腐蚀强度。蚀强度。 第35页/共53页第三十六页，共53页。1腐蚀可能发生的环境及影响腐蚀可能发生的环境及影响(y

26、ngxing)腐蚀的主要因素腐蚀的主要因素 第36页/共53页第三十七页，共53页。2金属表面膜若能在金属表面上生成或制成一层膜，把金属表面遮盖起来，从而防止或降低金属的腐蚀，这层膜即为表面保护膜。很多金属与空气中的氧作用，会在表面上形成(xngchng)一层氧化物的薄膜。膜的厚度取决于金属的性质、表面状态、氧化温度和介质种类。 第37页/共53页第三十八页，共53页。第38页/共53页第三十九页，共53页。比值过大且质地较脆的膜没有保护作用；一般认为1 Md/xDA (2.53)时，具有较好的保护性。由于硫化膜的MdxDA较大，保护性能一般不如(br)氧化膜。 第39页/共53页第四十页，共

27、53页。 化学表面膜的形成过程化学表面膜的形成过程 金属表面由于介质的氧化或腐蚀作用会生成氧化膜，膜的加金属表面由于介质的氧化或腐蚀作用会生成氧化膜，膜的加厚过程实际上是金属原子和介质原子通过已形成的表面膜进厚过程实际上是金属原子和介质原子通过已形成的表面膜进行扩散的过程。行扩散的过程。扩散有以下三种方式：扩散有以下三种方式： 1)1)金属原子和介质原子同时金属原子和介质原子同时(tngsh)(tngsh)通过已通过已 形成的膜向相反的方向扩散，在形成的膜向相反的方向扩散，在 膜的某一部位相遇而生长膜的某一部位相遇而生长(a)(a)； 2)2)仅是介质原子通过膜向内扩散，仅是介质原子通过膜向内

28、扩散， 使膜在金属使膜在金属- -膜界面处生长膜界面处生长(b)(b)； 3)3)仅是金属原子通过膜向外扩散，仅是金属原子通过膜向外扩散， 使膜在膜使膜在膜- -介质面处生长介质面处生长(c)(c)。 第40页/共53页第四十一页，共53页。 金属氧化膜的形成规律：金属氧化膜的形成规律：如果膜的如果膜的Md/xDA1的条件，且与形成条件及膜的性质有关。形成条件可影响膜的内应力大小。 由于氧化物的体积大于金属的体积，随着膜的成长，膜的体积会不断地膨胀，因而在膜中便产生沿平行金属表面方向的内应力；在某些局部同时会产生力图使保护(boh)膜脱离金属的拉压力，拉应力方向垂直于金属表面。 第43页/共5

29、3页第四十四页，共53页。由于温度由于温度(wnd)(wnd)的变化，膜的膨胀系数如果与基体不一样，界面处则会产生的变化，膜的膨胀系数如果与基体不一样，界面处则会产生剪切内应力，以致使两者分离，膜脱落。把高温氧化的钢件突然冷却剪切内应力，以致使两者分离，膜脱落。把高温氧化的钢件突然冷却时，氧化皮很快脱落便是一例。时，氧化皮很快脱落便是一例。膜的破裂会造成金属腐蚀量的增加膜的破裂会造成金属腐蚀量的增加图图3-323-32为铜在为铜在500500氧化时由于膜中产生氧化时由于膜中产生内应力的氧化曲线。此曲线由几段抛的内应力的氧化曲线。此曲线由几段抛的线段组成，表面膜在成长过程中曾多次线段组成，表面膜

30、在成长过程中曾多次因内应力而遭受破坏。因内应力而遭受破坏。 如果膜有足够的韧性，内应力不足以使其脱落，则膜的成长自始至终如果膜有足够的韧性，内应力不足以使其脱落，则膜的成长自始至终按某一规律变化，如铜在按某一规律变化，如铜在800800的氧化只遵循抛物线规律。的氧化只遵循抛物线规律。 第44页/共53页第四十五页，共53页。3控制腐蚀的途径控制腐蚀的途径(1)防蚀方法的分类防蚀方法的分类 根据金属腐蚀原理，控制腐蚀的主要途径如下：根据金属腐蚀原理，控制腐蚀的主要途径如下： 提高提高(t go)材料热力学稳定性的防蚀方法材料热力学稳定性的防蚀方法:材料的热力学稳定性是由整个腐蚀体系决定的，要提高

31、材料的热力学稳定性是由整个腐蚀体系决定的，要提高(t go)其稳定性可以从两个方面着手：其稳定性可以从两个方面着手：一是材料本身采用或加入电位较正的合金元素；一是材料本身采用或加入电位较正的合金元素；二是降低介质的腐蚀性，除去有害的物质乃至用涂层隔绝腐蚀二是降低介质的腐蚀性，除去有害的物质乃至用涂层隔绝腐蚀介质。介质。 第45页/共53页第四十六页，共53页。 增强阳极极化的防蚀方法增强阳极极化的防蚀方法: : 主要是采用防腐蚀合金，即在金属中加入容易钝化主要是采用防腐蚀合金，即在金属中加入容易钝化的元素，使金属元素易于钝化的元素，使金属元素易于钝化( (如不锈钢如不锈钢) )，此外，也，此外，也包括包括(boku)(boku)向腐蚀介质中加入阳极性缓蚀剂或对金向腐蚀介质中加入阳极性缓蚀剂或对金属进行阳极保护。属进行阳极保护。 第46页/共53页