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文档简介

晶体生长参数坩埚尺寸拉制晶体直径3石英坩埚坩埚外径（DIO.Omm投料量55kg 55规格过渡圆弧（RIO.Omm已拉制晶体长度0 mm2底部圆弧（R20.0mm JHlO.Omm已拉制晶棒重量 H20.0mm剩余硅料重量 H30.0mm硅料体积石英坩埚埚壁壁厚（WIO.OmmJ壁厚圆角壁厚（W20.0mm当前硅液体高度埚底壁厚（W30.0mm#NAME?当前埚跟比#NAME?.0.00mm #NAME?By YiTo ngFan 2009.2.20.00kg实际引晶埚位与理论埚位差值实际埚位21912.35 cm355.00kg 理论埚位 #NAME?6 inch坩埚规格 D1R1R2H1H2H3W1W216"18"20"22"24"28"TerritoryVolume sin 0 L放肩消耗量晶体直径V1#NAME?#DIV/0! 4 inch V2#NAME?#DIV/0!5 inch V3#NAME?6 inch 8 inch10 inch 12 inch0.0 mm说明:选定晶体直径、坩埚规格，确定投料量,0.00kg拖拽已拉制晶体长度可以实时计算相关参数。白底色单元格内数据需要根据实 际状况修改。其余单元格不可修改。放肩消耗量晶体

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