废气排放管理办法

1、废气排放管理办法2012-03-10发布2012-03-20实施废气排放管理办法A/0页号：1/9废气排放管理办法文件类别：文件初始编制者/日期:文件修订者/日期：作业类文件/动力系统管控胡家伟 /2009.11.30胡家伟 /2012.03.10文件审批记录:部门/职位姓名副总裁基建动力部总监ESH部经理文件修改履历:版本号Rev更改内容/描述Description of Changes发布日期Release dateA/0文件新编2009.11.30废气排放管理办法A/0页号：2/91目的与范围使 PM员，设备运行工程师，系统工程师熟悉废气排放流程，了解废气异常排放处理办法，预防及减 轻废

2、气系统管理不当及人为疏忽造成的对当地大气环境的影响，确保处理后之制程废气达到国家市政废气 排放标准安全排放。2规范性引用文件2.1中华人民共和国国家标准大气污染物综合排放标准3职责3.1相关部门因按照此办法规定的管理标准严格执行；3.2动力设备部相关工程师应严格管控生产废气达到国家标准排放；4术语和定义无5管理内容与治理措施方法5.1废气污染源分析废气处理系统所处理排放的废气主要来源于： 生产工艺过程包括扩散前清洗 （制绒） 、 去硅片氧化 物 （磷硅玻璃） 、刻蚀等使用氢氟酸、盐酸、硝酸、四氟化碳等化学试剂挥发产生的酸性、含氟废气；清 洗、扩散、PEVC 弟工序产生有机溶剂废气和少量工艺尾气

3、。5.2废气处理系统根据废气性质，将废气处理系统分为一般性废气（废热）排风系统、酸性废气处理系统、工艺尾气处 理系统和有机废气处理系统，新增加异丙醇回收装置，各系统考虑了将来达规模的生产要求，放大了处理 系统的能力，风机采用变频式风机，可根据需要变化排风量。5.2.1一般废气（废热）排风系统该系统排放一般的废气和高温排风，不需经处理而直接排放。5.2.2酸性废气处理系统酸性废气主要来源于工艺流程中使用各种酸液对硅片的腐蚀、清洗过程、扩散及等离子刻蚀产生的废气，主要污染物为氟化物、硝酸、HCl、Cl2 等；拟设置 1套酸性废气处理装置进行处理。酸性废气处理系统主要由废气洗涤塔、通风机、排气管和加

4、药系统等组成。废气先由排气管道输入废气洗 涤塔，吸收液为氢氧化钠溶液，碱液经回圈喷洒而下，利用氢氧化钠溶液作吸收液净化酸雾废气，吸收效 率为 93粉 98%5.2.2.1 酸性废气塔结构原理：废气排放管理办法A/0页号：3/95.3工艺尾气、碱性废气处理系统工艺尾气、碱性废气主要来源于：PEVCET 艺过程中使用氨气、硅烷等过程，碱性废气的主要成分为氨、工艺尾气中含有微量硅烷等。采用HWR生产工艺废气燃烧加喷淋的处理系统进行处理。5.3.1工艺尾气、碱性废气处理设备结构:：5.2.2.2 酸性废气处理流程:废气排放管理办法A/0页号：4/95.3.2工艺尾气、碱性废气处理流程图:5.4有机废气

5、处理系统有机废气主要来源于丝网印刷和烧结过程中产生的有机气体，主要成份为异丙醇等有机物。设置活性炭纤维吸附处理系统进行处理。采取的活性炭纤维吸附处理系统对VOG 勺处理效果能达到 90咐上，满足中华人民共和国国家标准大气污染物综合排放标准的要求。5.4.1有机废气系统处理流程挥发性有机化合物废气经过活性炭吸附塔，由内部活性炭过滤器吸附，处理后由风机抽引经烟囱排 至大气环境。5.4.2活性炭吸附塔结构原理:洗涤塔排风机市政自来水排员机排入大气排入大气硼性废气废水站处理废气塔喷液洗海废气排放管理办法A/0页号：5/95.4.3有机废气处理流程图:5.5工艺尾气排放分析5.5.1工艺废气来源在电池芯

6、片的加工过程中，工艺尾气主要来自扩散、PECVD干法刻蚀等工序，尾气中含有微量硅烷等。应用工艺特殊气体的典型生产工艺为：(1)扩散：扩散是在硅片表面掺入纯杂质原子的过程。工艺生产过程中分为沉积源和驱赶两步，其化学反应为： 600 C5 POC133 PC15 + P2O5有机活悝炭吸附塔过渡捧风机拌入大气有鬟质厂家回收处理有责质厂家供应新过滤器废气排放管理办法A/0页号：6/9：5P2O5 + 5 Si = =5SiO2 + 4P(2)化学气相沉积(PECVD : PECV匪在硅片上沉积氧化硅、氮化硅和多晶硅等半导体器件材料，在 300900 C的温度下通过化学反应产生以上物质的过程，其化学反

7、应为：SiH4 + O2 SiO2 + 2H2OSiH4 + N2OSixO2 + N2 + H2SiH4 + NH3Si3N4 + H2在上述生产工艺中，使用硅烷等多种特殊气体，绝大多数特殊气体参与了反应，所排放的尾气中的主要成份为 HCl、HFo5.5.2工艺尾气处理措施1、对气源柜、注入机反应室、有毒气体间、腐蚀性气体间、氢氟酸配送间、酸液配送间的排风接入酸性废气洗涤系统进行处理后排放。2、 对于在硅片 PECV眺产工序中产生的工艺废气，本项目拟采用HWffi生产工艺废气燃烧加喷淋的处理系统进行处理。处理后产生的尾气由风机经排气筒高于地面18米排放。5.5.3废气排放统计酸性/碱性废气、

8、有机废气中主要污染物处理及排放情况见表3.1-6。从表中可见，经采取上述处理措施后，酸性废气、有机溶剂废气各排气筒主要污染物指标均能达到大气污染物综合排放标准GB16297-1996中二级标准(第二时段)；碱性废气各排气筒的氨也能达到恶臭污染物排放标准 GB14554-93的要求。表 3.1 - 6工艺废气主要污染物处理及排放情况废气种类排放参数污染物名称处理前处理后评价标准达标情况高度(m)排气总量(m3/h)排放速率(kg/h)排放浓度(mg/m3)排放速率(kg/h)排放浓度(mg/m3)排放速率(kg/h)排放浓度(mg/m3)酸性废气 18 18 1812000VOC(主要异是丙醇)

9、0.3863.30.0386.3排放速率0.6 kg/h或去除率90%达标注：1.除氨执行恶臭污染物排放标准GB 14554-93 夕卜，其余均执行大气污染物综合排放标准GB 16297-1996 中二级标准(第二时段)。2.氮氧化物以 NO2计，氟化物以 F计。5.6关于无组织排放5.6.1无组织排放是指排气筒高度小于15m不通过排气筒的废气排放。废气排放管理办法A/0页号：7/95.6.2洁净车间有较高的颗粒洁净等级要求，因此车间内各股废气量均为有组织排放，基本没有无组织排 放的废气。5.7权责区分5.7.1对于废气排放的各相关单位及工程师，应该担当各自系统制程，设备清洗等产生废气的管制，

10、要安 全有效的排放废气。动力工程部负责废气收集，废气处理，废气排放，废气系统设备，仪表的保养维护， 确保系统正常运转，保证处理完后废气达到排放标准。5.7.2 EHS 部门负责监督。5.8废气排放管理5.8.1废气收集系统，处理系统相关设备，仪表，管件由动力工程师及维修人员根据废气系统PM OI 进行定期保养维护，并记录各时期自主检查表，确保系统正常运行。5.8.2对于废气排放使用之风机，动力工程部应做定期的检修工作。5.8.3对于排放出的废气环保局会随时抽测，我们会针对不符合排放标准的废气做相应的改进措施。5.8.4定期委外监测5.8.4.1监测项目：氟化物、硫酸雾、氮氧化物、氯化氢、有机化

11、合物。5.8.4.2监测位置：酸/碱排气类型目前均有排放口，每年取样并作记录5.8.5处理设备参数设定5.8.5.1酸性排气洗涤塔的洗涤水PH值为 8.0115.8.5.2碱性排气洗涤塔的洗涤水PH值为 3.06.05.8.6废气系统异常情况分析与对策5.8.6.1 主要分为以下异常情况：生产设备异常造成废气排放，致使排放浓度增高；机台正常废气排 放，但处理后未能达标。5.8.6.2机台异常造成废气排放5.8.6.3从所有生产设备使用气体的情况来看，就钢瓶内储存气体量都不大，Exhaust都能满足抽风排气的需求，即生产设备端异常气体泄漏，主要有气体泄漏为酸、碱性气体，会被抽到酸、碱性洗涤塔，分

12、别用 NaOH HCl 溶液循环洗涤去除有害类气体，如果因为异常废气排放浓度增大，贝 U可以 通过调节洗涤塔内水的PH值（对于酸塔提高PH设定值，对于碱塔降低PH设定值），来提高洗涤塔的处理效率。5.9非正常工况废气排放处理办法5.9.1在车间开工时，首先运行所有的废气处理装置、除害装置和废水处理站，然后再开启车间的 工艺流程，使在生产中所使用的各类化学品所产生的废气都能得到处理、废水也能排到废水处理站。5.9.2车间停工时，所有的废气处理装置、除害装置和废水处理站继续运转，待工艺中的废气和废 水没有排出之后才废气排放管理办法A/0页号：8/9逐台关闭。这样，车间在开、停车时排出污染物均得到有

13、效处理，经排气筒排出 的污染物浓度和正常生产时基本一致。5.9.3废气处理系统和排风机均设有保安电源，系统设有备用风机（N+1 配置）。当废气处理设备出现故障时，工艺生产过程排放的废气将未经处理直接排入大气，造成非正常排放。故障一般能在2小时内修复。5.9.4排风系统均设有安全保护电源和报警系统，设备定期检修保养，基本上能保证无故障运行。5.9.5日常运行中，若出现故障，检修人员可立即到现场进行维修，一般操作在30分钟内基本上可以完成，预计最长不会超过60分钟。5.9.6废气处理系统出现故障，一般采取以下措施：5.9.6.1如果全厂停电，停止生产，无污染物产生。5.9.6.2为确保安全，风机仍然