横河川仪EJA讲稿最新版

1、YOKOGAWA SICHUAN欢迎欢迎重庆横河川仪有限公司（重庆横河川仪有限公司（CYS）YOKOGAWA SICHUAN重庆横河川仪有限公司重庆横河川仪有限公司CYSCYS创 立 1995年09月27日资 本 金 总资本US1420万元出资比例 日本 横河电机株式会社 60% 中国 川仪总厂有限公司 40%从业人员 385人、其中日本长驻人员5人 (总经理、付总经理、总工程师、付总工程师)所 在 地 重 庆 本部 重庆市北部新区黄山大道61号川仪工业园 上海分公司 上海市淮海中路1010号 嘉华中心29层 北京事务所 北京市东城区金宝街89号金宝大夏9层业务内容 EJAEJA变送器/DX/

2、AXDX/AX-无纸记录仪制造、销售/DCSDCS/分析仪销售和售后服务制造方式 CYSYHQ( (NYPSNYPS) ) 制造设备 CYSYHQ品质管理 ISO9002ISO90025M5M(Man Machine Material Method Measurement)同一品质 EJA/EJA/纪录仪纪录仪/DCS/DCS/分析仪分析仪全球同一技术/同一品质同/一管理和同一商标横河川仪 横河电机株式会社-变送器变送器/ /记录仪记录仪 海外生产基地YOKOGAWA SICHUAN 製造：日本最新設備製造：日本最新設備的引的引入入 横河川仪横河川仪JA-JA-生产场地生产场地YOKOGAWA

3、 SICHUAN净化间一角净化间一角YOKOGAWA SICHUANEJAEJA变送器变送器品質品質/ /质量质量管理体系管理体系n品質保証活動品質保証活動 GB/TI9002-1 (ISO9002-1) 97 97年年1212月月3131日取得日取得n质量质量改善活動改善活動QA会议会议(质量分析会质量分析会)制贩会制贩会(产产/质质/技技/销销)客户客户/生产质量分析生产质量分析质保体系质保体系YOKOGAWA SICHUANn有机化学物质削减有机化学物质削减节约资源、能源，预防污染节约资源、能源，预防污染 加强废弃物管理加强废弃物管理全员参与，持续改进全员参与，持续改进保护生态环境保护生

4、态环境 我们只有一个地球我们只有一个地球遵守环境保护法律、法规遵守环境保护法律、法规 nCYS环境方针环境方针n电力削减电力削减n节约水节约水n纸再利用纸再利用n排水噪音管理排水噪音管理n环保购买环保购买 横河川儀有限公司横河川儀有限公司YOKOGAWA SICHUANEJAEJA变送器生产基地变送器生产基地日本日本(横河電機甲府工場横河電機甲府工場) 美国【美国【美国横河公司美国横河公司】生产基地生产基地YOKOGAWA SICHUAN 世界最早的数字式传感器19801980年代年代19901990年代年代20002000年代年代日本日本国内国内其他公司其他公司海外海外其他公司其他公司Ana

5、logAnalog （电容电容式）式）AnalogAnalog （压阻式压阻式）YOKOGAWAYOKOGAWAAnalogAnalog （电容式电容式）UNIUNIDPharp EJDPharp EJDigital Digital （单晶硅谐振式单晶硅谐振式）EJAEJAEJXEJX世界世界上上有有120120万台万台在使用DPharp 单晶硅谐振式传感器YOKOGAWA SICHUANEJA-最新压力传感器技术最新压力传感器技术单单晶硅晶硅谐谐振式振式传传感器感器利用利用微微电电子机械加工技子机械加工技术术YOKOGAWA SICHUANSiSi谐振传感器制作工谐振传感器制作工程程P+ P

6、+P+ N+ 封注外延及退火 振動子(100)N型SiSio2(600nm) 切除氧化膜及HCL煤气腐蚀 选择性外延及去除氧化膜 选择性腐蚀YOKOGAWA SICHUAN2个个 Si谐振传感器谐振传感器H型型 谐振器谐振器H 型型Si谐振器谐振器Si 片片 硅片硅片YOKOGAWA SICHUAN永久磁铁永久磁铁激励电路激励电路电磁力方向电磁力方向频率输出频率输出Si H 型谐振传感器型谐振传感器Si片片磁场磁场SiSi传感器传感器YOKOGAWA SICHUAN压缩压缩拉伸拉伸过程压力过程压力隔离垫片隔离垫片H H 型谐振器型谐振器基体基体传感器传感器YOKOGAWA SICHUAN 40

7、 kHzu 被压缩的谐振梁频率降低u 被张紧的谐振梁频率升高压力频率 压力压力YOKOGAWA SICHUAN1101009080705,00010,000 差压差压 (mmH2O)频率频率 (kHz)传感器传感器YOKOGAWA SICHUAN.f1f2f1 - f2 = 与差压成正比与差压成正比f1 + f2 = 与静压成正比与静压成正比 R = 与温度成正比与温度成正比传感器传感器YOKOGAWA SICHUAN横河川儀有限公司横河川儀有限公司 振動子励振端子検出端子振動振動子子真空室振動子振動子中心膜片中心膜片（鋼）传感器传感器側側鍛造驱动板驱动板传感器传感器封入液信号鍛造側側18Cr

8、-12Ni-2.5Mo-低C密封膜片密封膜片（）Ni=BAL 60% Cr=15.5% Mo=16%W=3.5% Fe=5.5% etsYOKOGAWA SICHUAN 结构简单结构简单 历史悠久历史悠久 滞后小滞后小 复合传感复合传感 滞后小滞后小 温度影响小温度影响小 静压影响小静压影响小 复合传感复合传感 差压差压 静压静压 温度温度 滞后大滞后大 重复性差重复性差温度误差大温度误差大(未补偿前未补偿前)电极中心膜片传感器传感器YOKOGAWA SICHUAN谐振器谐振器基片基片压力压力真空罩真空罩y磁场磁场固定电极固定电极 可动电极可动电极固定电极固定电极DD 初始间距初始间距d 位移

9、位移C1C2 电容电容 C1 = 电容电容 C2 = SD+dSD-dC1 - C2C1 + C2 计算公式计算公式 c =dD=电极位移电极位移初始间距初始间距()感应膜片位移最大值感应膜片位移最大值 mm (100 m) 微小位移就能导致误差微小位移就能导致误差1 m形变形变= 1% 误差误差感器组件感器组件 硅硅 油油中心膜片中心膜片接液膜片接液膜片低压侧低压侧高压侧高压侧接液膜片接液膜片冲灌液冲灌液感应膜片感应膜片膜盒体膜盒体f L 传感器传感器YOKOGAWA SICHUAN差压引起的信号变化压阻式传感器温度变化所引起的信号变化0.25 %/ 50oC静压所引起的信号变化0.1% /

10、 100kgf cm24%15 %硅谐振传感器0.01 %4倍倍灵敏度高灵敏度高高精度量程宽高精度量程宽环境变化影响小环境变化影响小长期稳定性长期稳定性0.03 %传感器传感器YOKOGAWA SICHUAN 单晶硅谐振传感器性能单晶硅谐振传感器性能灵敏度高灵敏度高 量程比高量程比高滞后小滞后小 高精度高精度抗环境变化能力强抗环境变化能力强 温度影响小温度影响小 长期稳定性长期稳定性 静压影响小静压影响小复合传感器复合传感器 高精度高精度 差压差压 灵活多用灵活多用 静压静压 性价比高性价比高 温度温度 YOKOGAWA SICHUAN现场运行稳定性现场运行稳定性总精度总精度输入输入/输出特性

11、输出特性( 标准状态下标准状态下 )温度影响温度影响( 现场工作状态下现场工作状态下 )静压影响静压影响( 现场工作状态下现场工作状态下 )过压影响过压影响( 现场工作状态下现场工作状态下 ) YOKOGAWA SICHUAN型号型号 : EJA110-M量程量程 : 10000 mm H20型号型号 : EJA110-H量程量程 : 5 kgf/cm223(oC)No.223(oC)No.1 0.1 0.050-0.05-0.1误差误差 (%)23(oC)输入输入(%) -100 0 50 100 -50No.2 0.1 0.050-0.05-0.1误差误差 (%)输入输入 (%)No.1

12、0.1 0.050-0.05-0.1误差误差 (%)-100050100-50输入输入 (%)-100050100-5023(oC) 0.1 0.050-0.05-0.1误差误差(%)输入输入 (%)-100 0 50100-50EJAEJA变送器变送器YOKOGAWA SICHUAN型号型号 : EJA110-M量程量程 : 10000 mm H20型号型号 : EJA110-H量程量程 : 5 kgf/cm2No.2SPANZEROSPANZERONo.1No.2SPANZERO-0.2 0.2 0.1 0-0.1 误差误差 (%)No.1温度温度 0C-50050100SPANZERO

13、0.2 0.1 0-0.1 误差误差 (%)-0.2 0.2 0.1 0-0.1 误差误差 (%)-0.2温度温度0C-50050100温度温度 0C-50050100温度温度 0C-50050100 0.2 0.1 0-0.1 误差误差 (%)-0.2EJAEJA变送器变送器YOKOGAWA SICHUANEJA vs. 其它智能变送器其它智能变送器 (100mH2o)-6.00-6.00-5.00-5.00-4.00-4.00-3.00-3.00-2.00-2.00-1.00-1.000.000.001.001.002.002.003.003.004.004.005.005.006.006

14、.0023-40-25023508023-40-25023508023误差误差(%)其它-N o3其它-N o4EJA-N o4EJA-N o5EJA-N o6温度变化温度变化零点漂移零点漂移YOKOGAWA SICHUAN温度影响温度影响谐谐振振频频率率 输输入入压压力力室温室温 fc 室温室温 fr 高温高温 fr1 高温高温 fc1 Iout(0): 室温室温时输时输出出 Iout(p): 高温高温时输时输出出 Iout(0)=fr-fc Iout(p)=(fr- fr)-(fc- fc) =(fr-fc)-( fr- fc) =Iout(0)-( fr- fc) fr= fc Iout

15、(p)=Iout(0) 故：故：温度温度对输对输出没有影响出没有影响EJAEJA变送器变送器YOKOGAWA SICHUANS.P kg/cm2050100150-0.1 0.1 0.050-0.05 零点误差零点误差 %No.1No.2No.2No.1型号型号 : EJA110A-XM量程量程 : 10000 mm H20型号型号 : EJA110A-XH量程量程 : 5 kgf/cm2-0.1 0.1 0.050-0.05 零点误差零点误差 %-0.1 0.1 0.050-0.05 零点误差零点误差 %S.P kg/cm205010010S.P kg/cm2050100150-0.1 0.

16、1 0.050-0.05 零点误差零点误差 %S.P kg/cm2050100150EJAEJA变送器变送器YOKOGAWA SICHUAN性能对比性能对比EJA vs. EJA vs. 其它智能式变送器其它智能式变送器(1)(1)0.8 0.8 0.6 0.6 0.4 0.4 0.2 0.2 0 0 -0.2 -0.2 -0.4 -0.4 -0.6 -0.6 -0.8-0.8误差误差 (%)(%)0 35 70 105 1400 35 70 105 140静压静压 (Kgf/cm2)(Kgf/cm2)1.2 1.2 1.0 1.0 0.8 0.8 0.6 0.6 0.4 0.4 0.2 0.

17、2 0 0 - -0.20.2误差误差 (%)(%)0 35 70 105 1400 35 70 105 140静压静压 (Kgf/cm2)(Kgf/cm2) EJA110A-XEJA110A-XM 量程：量程：0 01000mmH2O1000mmH2O其它智能式变送器其它智能式变送器 量程：量程：0 01000mmH2O1000mmH2O静压变化静压变化零点漂移零点漂移YOKOGAWA SICHUANEJA vs. EJA vs. 其它智能式变送器其它智能式变送器(2)(2) 静压变化静压变化零点漂移零点漂移误差误差(%)(%)静压静压(Kgf/cm2)(Kgf/cm2)其它智能式变送器其它

18、智能式变送器 1/1001/100量程比量程比(100mmH2O)(100mmH2O) 0 20 40 60 80 100 120 140 0 20 40 60 80 100 120 1401010 5 5 0 0-5-5 -10-10误差误差(%)(%) 0 20 40 60 80 100 120 140 0 20 40 60 80 100 120 1401010 5 5 0 0-5-5 -10-10静压静压(Kgf/cm2)(Kgf/cm2)EJA110A-XEJA110A-XM 1/1001/100量程比量程比(100 mmH2O)(100 mmH2O)YOKOGAWA SICHUAN静

19、压影响静压影响谐谐振振频频率率输输入入压压力力大气大气压压 fc大气大气压压 fr高静高静压压 fr1 高静高静压压 fc1 Iout(0): 大气大气压时输压时输出出 Iout(p): 高静高静压时输压时输出出 Iout(0)=fr-fc Iout(p)=(fr- fr)-(fc- fc) =(fr-fc)-( fr- fc) =Iout(0)-( fr- fc) fr= fc Iout(p)=Iout(0) 故：故：静静压对输压对输出没有响出没有响EJAEJA变送器变送器YOKOGAWA SICHUAN型号型号 : EJA110A-XM量程量程 : 1000 mm H20 (1/10 of

20、 Max Span)压力压力 : 10 kgf/cm2型号型号 : EJA110A-XM量程量程 : 1000 mm H20 (1/10 of Max Span)压力压力 : 10 kgf/cm2Error (%)+0.1-0.1LLLLHHHHError (%)+0.1-0.120406080100120 x 1000 TimesEJAEJA变送器变送器YOKOGAWA SICHUAN圧力圧力传感器传感器中心膜片中心膜片密封膜片密封膜片通常通常圧力圧力过过大大压力压力保保护结构护结构过过大大压压高圧側高圧側封液封液通過通過時定数時定数YOKOGAWA SICHUAN性能对比性能对比EJA v

21、s. EJA vs. 其它智能式变送器其它智能式变送器2.0 2.0 1.5 1.5 1.0 1.0 0.5 0.5 0 0 -0.5 -0.5 -1.0 -1.0 -1.5 -1.5 -2.0-2.0误差误差 (%)(%)0 35 70 105 1400 35 70 105 140过压过压 (Kgf/cm2)(Kgf/cm2)2.0 2.0 1.5 1.5 1.0 1.0 0.5 0.5 0 0 -0.5 -0.5 -1.0 -1.0 -1.5 -1.5 -2.0 -2.0 误差误差 (%)(%)0 35 70 105 1400 35 70 105 140过压过压 (Kgf/cm2)(Kgf

22、/cm2)EJA110A-XMEJA110A-XM量程：量程：0 01000mmH2O1000mmH2O其它智能式变送器其它智能式变送器 量程：量程：0 01000mmH2O1000mmH2O过压滞后性过压滞后性YOKOGAWA SICHUAN性能对比性能对比EJA vs. EJA vs. 其它智能式变送器其它智能式变送器2.0 2.0 1.5 1.5 1.0 1.0 0.5 0.5 0 0 -0.5 -0.5 -1.0 -1.0 -1.5 -1.5 -2.0-2.0误差误差 (%)(%)0 35 70 105 1400 35 70 105 140过压过压 (Kgf/cm2)(Kgf/cm2)

23、0.5 0.5 0 0 -0.5 -0.5 -1.0 -1.0 -1.5 -1.5 -2.0 -2.0 -2.5 -2.5 -3.0 -3.0 -3.5-3.5误差误差 (%)(%)0 35 70 105 1400 35 70 105 140过压过压 (Kgf/cm2)(Kgf/cm2)EJA110A-XEJA110A-XM 量程：量程：0 01000mmH2O1000mmH2O 其它智能式变送器其它智能式变送器 量程：量程：0 01000mmH2O1000mmH2O过压滞后性过压滞后性YOKOGAWA SICHUAN横河川儀有限公司横河川儀有限公司 振動子励振端子検出端子振動振動子子真空室振

24、動子振動子中心膜片中心膜片（鋼）传感器传感器側側鍛造驱动板驱动板传感器传感器封入液信号鍛造側側18Cr-12Ni-2.5Mo-低C密封膜片密封膜片（）Ni=BAL 60% Cr=15.5% Mo=16%W=3.5% Fe=5.5% etsYOKOGAWA SICHUAN常规安装方式常规安装方式 EJA 其他其他无无3阀组安装方式阀组安装方式 用户为何需要用户为何需要3 3阀组？阀组？1. 1. 单向过压损坏变送器单向过压损坏变送器2. 2. 单向过压的零点飘移单向过压的零点飘移3. 3. 静压下的零点漂移静压下的零点漂移4. 4. 长期零点漂移长期零点漂移EJAEJA变送器变送器YOKOGAW

25、A SICHUAN3阀组阀组 其他其他常规安装常规安装 EJA无无3阀组安装阀组安装密封点密封点（7处）处）No Possibility of Leakage from 3 Valve Manifold无无3阀组阀组无操作无操作危危 险险 区区维护维护/维修减少维修减少EJAEJA变送器变送器YOKOGAWA SICHUAN常规安装常规安装EJA无无3 3阀组安装阀组安装安装成本降低安装成本降低1) 无需购买无需购买3阀组阀组2) 引压管直接安装引压管直接安装维护维护/维修成本低维修成本低1) 无需维护无需维护3阀组阀组2) 泄漏检查点减小泄漏检查点减小3阀组阀组 其他其他EJAEJA变送器变

26、送器YOKOGAWA SICHUAN EJA EJA-通讯协仪：通讯协仪： 420mmA-BRAIN 420mmA-HART FF-现场总线现场总线YOKOGAWA SICHUANBT200 通讯器通讯器 F1 F2 F3 F4BT200ENTERYOKOGAWALCD大屏幕显示大屏幕显示21个字符个字符 8行行打印机打印输出打印机打印输出 可控制所有可控制所有BRAIN仪表的仪表的BT200单线通讯单线通讯无需配电器无需配电器 安全性高安全性高 密码设置密码设置 电池更换报警电池更换报警 自动关闭电源自动关闭电源5节常规电池节常规电池YOKOGAWA SICHUAN BrainHartBT2

27、00仪表装置仪表装置BRAIN在新产品推出在新产品推出时无须对时无须对BT200手持终手持终端内部软件进行升级端内部软件进行升级协协 议议 协协 议议 结结 构构参数参数 菜单菜单 数量数量 数据数据选择选择 结构结构 类型类型HHT仪表装置仪表装置HART 在新产品推出在新产品推出时需要对手持终端时需要对手持终端内部软件进行升级内部软件进行升级YOKOGAWA SICHUAN18888%Atm Torr mm H20 mmHg Psi mbar MPa kPa kgf/cm2EJAEJA变送器变送器显示表头显示表头YOKOGAWA SICHUANEJAEJA外特性外特性低铜铸铝低铜铸铝SCS

28、14ASUS316L(本体本体)接液膜片接液膜片哈氏合金哈氏合金C-276高高/底压侧可互换底压侧可互换表头表头/上部上部YOKOGAWA SICHUAN 品质卓越品质卓越 始终如一始终如一 EJA-智能变送器智能变送器长期稳定性：长期稳定性：01 5年年平均无故障时间（平均无故障时间（MTBF）：）：1752万小时万小时YOKOGAWA SICHUAN平均故障間隔平均故障間隔MTBF台台变变送器送器使用使用年年后后只有只有1 1台出故障的概率台出故障的概率YOKOGAWA SICHUANEJA - EJA - 变送器的主要特点变送器的主要特点 世界首创单晶硅谐振式传感器：具有复合特性可同时测量差压、静压、介质温度及环境温度。全智能变送器：变送器性能